国泰海通证券股份有限公司

关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司

2024年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐机构”）作为

合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）的持续

督导机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》

等相关规定，对芯碁微装2024年度募集资金存放与使用情况进行了审慎核查，具体情况如下：

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金金额、资金到位时间根据中国证券监督管理委员会于2023年3月15日出具的《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2023〕

563号），同意公司向特定对象发行股票注册申请。公司向特定对象发行人民币

普通股（A股）10497245 股，每股发行价格为人民币 75.99元，募集资金总额为79768.56万元，扣除各项发行费用832.27万元，实际募集资金净额为78936.29万元。由于存在尚未支付的发行费用，公司实际收到募集资金金额为78970.88万元。上述募集资金到位情况经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并出具了容诚验字[2023]230Z0198号《验资报告》。

（二）募集资金以前年度使用金额

截至2023年12月31日，公司累计已使用募集资金人民币7628.63万元，利息收入及理财收益111.49万元，手续费用0.26万元，剩余募集资金余额人民币71416.12万元。

1（三）募集资金本年度使用金额及年末余额

2024年，公司已使用募集资金30192.77万元。截至2024年12月31日，

公司累计已使用募集资金投入项目37821.40万元，尚未使用募集资金余额人民币41114.89万元。截至2024年12月31日，募集资金使用情况如下：

单位：人民币万元项目金额

募集资金净额78936.29

经批准置换先期投入金额-

以前年度投入金额7628.63

本年度投入金额30192.77

累计使用募集资金金额37821.40

尚未使用金额41114.89

减：闲置募集资金临时补充流动资金-

减：购买理财产品未到期的39000.01

累计利息收入、理财收益及手续费净额977.57

减：其他转出-

截至2024年12月31日募集资金专户余额3092.45

二、募集资金管理情况

（一）募集资金的管理情况根据有关法律法规及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，公司制定了《募集资金管理办法》，对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，以在制度上保证募集资金的规范使用。

根据管理制度并结合经营需要，经公司股东大会授权，公司于2023年7月6日召开第二届董事会第八次会议，审议通过了《关于公司设立2022年度向特定对象发行 A股股票募集资金专用账户的议案》。公司对 2022 年度向特定对象发行股票的募集资金实行专户存储，在银行设立募集资金使用专户，并与开户银行、保荐机构签订了《募集资金三方监管协议》，对募集资金的使用实施严格审批，以保证专款专用。前述协议与上海证券交易所《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异。截至2024年12月31日，公司均严格按照该《募

2集资金监管协议》的规定，存放和使用募集资金。

（二）募集资金专户存储情况

截至2024年12月31日，募集资金具体存放情况如下：

单位：人民币元开户银行银行账号账户类别募集资金余额

招商银行合肥分行营业部551906776410802活期余额4729678.42

徽商银行股份有限公司安徽522001541721000002活期余额2854719.81自贸试验区合肥片区支行

中信银行股份有限公司合肥8112301012100947766活期余额693880.91分行营业部

中国光大银行合肥长江西路76670180803908811活期余额22646192.50支行

合计30924471.64

三、本年度募集资金实际使用情况

（一）募集资金投资项目（以下简称“募投项目”）的资金使用情况募集资金实际使用情况详见附表1《2024年度募集资金使用情况对照表

（2022年度向特定对象发行股票募集资金）》。

（二）募投项目先期投入及置换情况本年度，公司不存在募投项目先期投入及置换的情况。

（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况本年度，公司不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

2024年4月23日公司召开了第二届董事会第十五次会议和第二届监事会第

十三次会议，2024年5月14日公司召开了2023年年度股东大会，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排，不变相改变募集资金用途且不影响公司正常业务开展的情况下，使用不超过人民币65000万元（含本数）的暂时闲置募集资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好，有保本约定的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭

3证等）。在上述额度范围内，资金可以滚动使用，使用期限不超过股东大会审议

通过之日起12个月。

截至2024年12月31日，公司对募集资金进行现金管理情况详见下表：

单位：人民币元序号受托方产品类型批准投资金额实际投入金额投资期限期末余额利息金额

2024.1.1-2024

1光大银行保本理财10000000.0010000000.00-20416.67.1.31

2024.3.29-202

2光大银行大额存单70000000.0070000000.0010000000.00977166.67

7.3.29

2023.8.31/202

3海通证券保本理财90000000.0090000000.00-448767.00

3.9.1-2024.3.1

2023.8.28-202

4徽商银行大额存单50000000.0050000000.0030000000.00392600.00

6.8.28

2023.8.29-202

5徽商银行大额存单100000000.00100000000.0070000000.00928200.00

6.8.29

7天通知2023.8.28-到

6徽商银行20000000.0020000000.00-167055.56

存款期

2024.5.20-202

7民生银行大额存单40000000.0040000000.0030000000.00134166.67

7.5.20

大额存单2023.8.29-202

8南洋银行250000000.00250000000.00110000129.622905614.29

及利息6.8.29

2023.8.29-202

9兴业银行大额存单150000000.00150000000.00120000000.00893479.46

6.8.29

2024.3.27-202

10招商银行保本理财60000000.0060000000.00-137786.30

4.4.29

7天通知2024.4.30-无

11招商银行60000000.0060000000.00-40500.00

存款期限

2023.11.16-20

12申万证券保本理财20000000.0020000000.00-320547.95

24.11.12

2024.3.14-202

13申万证券保本理财20000000.0020000000.00-63287.67

5.3.11

2024.3.11-202

14申万证券保本理财20000000.0020000000.00-44109.59

4.4.15

2024.4.17-202

15申万证券保本理财20000000.0020000000.00-92219.18

4.10.15

2024.4.18-202

16申万证券保本理财20000000.0020000000.00-108493.15

4.10.15

2024.5.27-202

17申万证券保本理财20000000.0020000000.00-124493.15

5.5.27

2024.5.30-202

18申万证券保本理财20000000.0020000000.00-173123.29

5.5.27

4序号受托方产品类型批准投资金额实际投入金额投资期限期末余额利息金额

2024.8.7-2025

19申万证券保本理财20000000.0020000000.00-278575.34.8.5

2024.8.29-202

20申万证券保本理财20000000.0020000000.00-103013.70

5.8.26

2024.10.17-20

21申万证券保本理财20000000.0020000000.0020000000.00-

25.10.14

合计1100000000.001100000000.00390000129.628353615.64

（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

2024年度，公司不存在用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款的情况。

（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况

2024年度，公司不存在超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况。

（七）节余募集资金使用情况

因募投项目实施尚未完毕，2024年度公司不存在将募投项目节余资金用于其他募投项目或非募投项目的情况。

（八）募集资金使用的其他情况

2024年度，公司不存在募集资金使用的其他情况。

四、变更募集资金投资项目的资金使用情况

2024年度，公司不存在变更募集资金投资项目的情况，不存在募集资金投

资项目对外转让或置换的情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题及整改措施

2024年度，公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并及时、真实、准确、完整地披露了募集资金的相关信息，不存在募集资金管理违规情形。

5六、保荐机构的核查意见经核查，保荐机构认为，公司2024年度募集资金存放和使用情况符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》《合肥芯碁微电子装备股份有限公司募集资金管理办法》等法律法规和制度文件的规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形，公司募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。

综上，保荐机构对公司2024年度募集资金存放和使用情况无异议。

（以下无正文）6（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司2024年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见》之签章页）

保荐代表人：

林剑辉周磊国泰海通证券股份有限公司年月日

7附表1：2024年度募集资金使用情况对照表（2022年度向特定对象发行股票募集资金）

编制单位：合肥芯碁微电子装备股份有限公司

单位：人民币万元

募集资金总额78936.29本年度投入募集资金总额30192.77变更用途的募集资金总额不适用

已累计投入募集资金总额37821.40变更用途的募集资金总额比例不适用截至期末累计项目达是否已变投入金额与承截至期末投项目可行募集资金截至期末承截至期末累到预定是否达

承诺投资更项目调整后投资本年度投入诺投入金额的入进度（%）性是否发承诺投资诺投入金额计投入金额可使用本年度实现的效益到预计

项目（含部分总额1金额2差额（4）=（2）/生重大变总额（）（）3=2-1状态日效益变更）（）（）（）化期

（1）已完成现代化直写光刻设备生产车间及配套设施的建设与施直写光刻工；NEX系列机型多设备产业

无26598.0025765.7325765.739411.8011604.91-14160.8245.04%2026年台出货，首台应用于不适用否应用深化 7月 IC 载 板 防 焊 机 型

拓展项目 NEX30T 完成客户端验证；G8.5打码曝边机客户端验证中

IC 已完成直写光刻设备载板、生产车间及配套设施类载板直

写光刻设无17583.7517583.7517583.757031.297468.83-10114.9242.48%

2026年 的建设与施工；MAS6

7 不适用 否月 等应用于 IC 载板领

备产业化域的直写光刻设备多项目台出货，MAS12、

8MAS15 等应用于类

载板领域的直写光刻设备完成多台验收

各子系统、核心词零部件自主研发项目均

正常推进，基于深度学习算法的智能化直写光刻系统开发已基

关键子系本完成，并在客户端统、核心试运行；超大幅面高

零部件自无15172.0015172.0015172.004339.348304.89-6867.1154.74%2026年7解析度曝光引擎研发不适用否月

主研发项项目已基本完成，实目现超大幅面下高解析高速曝光；高精度动态环控系统第二阶段正常进行中；先进激光光源研发项目已达预期，出货多台整机补充流动

无20414.8120414.8120414.819410.3410442.77-9972.0451.15%2026年7不适用不适用否资金项目月

合计79768.5678936.2978936.2930192.7737821.40-41114.89

未达到计划进度原因（分具体募投项目）不适用项目可行性发生重大变化的情况说明不适用募集资金投资项目先期投入及置换情况不适用用闲置募集资金暂时补充流动资金情况不适用截至2024年12月31日，公司进行现金管理的募集资金余额为39000.01万元。详见本核查意见“三、本年度对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况募集资金实际使用情况”之“（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况”。

用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况不适用募集资金结余的金额及形成原因不适用

9募集资金其他使用情况不适用

10