证券代码：688630证券简称：芯碁微装公告编号：2025-014

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

2024年度募集资金存放与使用情况的专项报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、

误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

根据中国证券监督管理委员会(以下简称“证监会”)《上市公司监管指引第2号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》的规定，合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）董事会对2024年度募集资金存放与使用情况的专项报告

说明如下：

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金金额、资金到账时间根据中国证券监督管理委员会于2023年3月15日出具的《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2023]563号），同意公司向特定对象发行股票注册申请。公司向特定对象发行10497245股人民币普通股，募集资金总额为人民币797685647.55元，扣除相关发行费用（不含税）人民币8322726.38元，募集资金净额为人民币789362921.17元。

1上述资金已于2023年7月25日全部到位，并存放于公司开设的募集

资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股份有限公司验资报告》（容诚验字[2023]230Z0198 号）。

（二）本年度使用金额及年末余额

截至2024年12月31日，募集资金存放银行产生利息净额共计人民币9775688.26元（为活期利息扣除手续费净额）。截至2024年12月31日，已使用募集资金金额为人民币378214008.17元，本年度已使用募集资金金额为人民币301927652.57元，进行现金管理余额为人民币390000129.62元，募集资金存储账户余额为人民币30924471.64元。详见下表：

项目金额（万元）

实际收到的募集资金78970.88

减：支付发行费用34.59

减：直接投入募集项目金额27378.63

减：用于补充流动资金金额10442.77

加：利息收入及理财收益扣除银行手续费的净额977.57

募集资金余额42092.46

减：现金管理的闲置募集资金39000.01

募集资金专户余额3092.45

二、募集资金存放和管理情况

（一）募集资金管理情况为规范募集资金的管理和使用，提高募集资金使用效益，根据《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关法律法规的规定，切实保护投资者利益，公司根据实2际情况，制定了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司募集资金管理制度》。根据该制度，公司对募集资金实行专户存储，对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，保证了募集资金的规范使用。

（二）募集资金三方监管协议情况

经公司股东大会授权，公司于2023年7月6日召开第二届董事会第八次会议，审议通过了《关于公司设立2022年度向特定对象发行 A股股票募集资金专用账户的议案》。为规范公司募集资金管理，保护投资者权益，提高募集资金使用效率，根据《上市公司监管指引

第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022修订）》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引1号——规范运作》

及公司《募集资金管理制度》等有关规定，公司、海通证券股份有限公司与招商银行股份有限公司合肥分行、中信银行股份有限公司合肥

分行、中国光大银行股份有限公司合肥分行和徽商银行股份有限公司

合肥分行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。前述协议与上海证券交易所《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异。

（三）募集资金专户存储情况

截至2024年12月31日，募集资金存放情况如下表所示：

2024年12月31日

开户银行账号存款方式账户余额

(人民币元)招商银行合肥分行营

551906776410802活期余额4729678.42

业部

3徽商银行股份有限公

司安徽自贸试验区合522001541721000002活期余额2854719.81肥片区支行中信银行股份有限公

8112301012100947766活期余额693880.91

司合肥分行营业部中国光大银行合肥长

76670180803908811活期余额22646192.50

江西路支行

合计//30924471.64

三、2024年年度募集资金的实际使用情况

（一）募投项目的资金使用情况

报告期内，公司募集资金实际使用情况详见附表2024年年度募集资金使用情况对照表。募投项目实际投资进度与投资计划不存在显著差异，也不存在无法单独核算效益的情形。

（二）募投项目先期投入及置换情况报告期内公司不涉及对预先投入募投项目自筹资金置换的情形。

（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

截至2024年12月31日，公司不存在闲置募集资金暂时补充流动资金的情形。

（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况

2024年4月23日召开了第二届董事会第十五次会议和第二

届监事会第十三次会议，于2024年5月14日召开2023年年度股东大会，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排以及公司正常业务开展的前提下，使用不超过人民币

65000万元（含本数）的暂时闲置募集资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好，有保本约定的投资产品（包括但不限于协定

4存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等）。在上述额度范围内，资金可以滚动使用，使用期限不超过股东大会审议通过之日起12个月。

截至2024年12月31日，公司对募集资金进行现金管理情况详见下表：

单位：人民币元实际投序号受托方产品类型批准投资金额入金额投资期限期末余额利息金额

1光大银行保本理财10000000.0010000000.00

2024.1.1-2024020416.67.1.31

2024.3.29-202

2光大银行大额存单70000000.0070000000.0010000000.00977166.677.3.29

2023.8.31/202

3海通证券保本理财90000000.0090000000.003.9.1-2024.3.0448767.00

2023.8.28-202

4徽商银行大额存单50000000.0050000000.0030000000.00392600.006.8.28

52023.8.29-2026徽商银行大额存单100000000.00100000000.0070000000.00928200.00.8.29

67天通知存徽商银行20000000.0020000000.002023.8.28-到期0167055.56

款

7民生银行大额存单40000000.0040000000.00

2024.5.20-202730000000.00134166.67.5.20

8大额存单

2905614.2

南洋银行250000000.00250000000.00

2023.8.29-2026110000129.62

及利息.8.299

9兴业银行大额存单150000000.00150000000.00

2023.8.29-2026120000000.00893479.46.8.29

102024.3.27-202招商银行保本理财60000000.0060000000.000137786.30

4.4.29

117天通知存60000000.0060000000.002024.4.30-无招商银行040500.00

款期限

122023.11.16-202申万证券保本理财20000000.0020000000.000320547.95

4.11.12

51320000000.0020000000.002024.3.14-2025申万证券保本理财063287.67.3.11

1420000000.0020000000.002024.3.11-2024申万证券保本理财044109.59.4.15

15申万证券保本理财20000000.0020000000.00

2024.4.17-2024092219.18.10.15

16申万证券保本理财20000000.0020000000.00

2024.4.18-20240108493.15.10.15

172024.5.27-2025申万证券保本理财20000000.0020000000.000124493.15.5.27

1820000000.0020000000.002024.5.30-2025申万证券保本理财0173123.29.5.27

19申万证券保本理财20000000.0020000000.00

2024.8.7-2025.0278575.34

8.5

20申万证券保本理财20000000.0020000000.00

2024.8.29-20250103013.70.8.26

21申万证券保本理财20000000.0020000000.00

2024.10.17-20220000000.000

5.10.14

合计1100000000.001100000000.00-390000129.628353615.64

注：南洋商业银行（中国）有限公司合肥分行募集资金理财专户期末

存在129.62元利息尚未转回至募集资金专户。

（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

截至2024年12月31日，公司无此种情形。

（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况

截至2024年12月31日，公司无此种情形。

（七）节余募集资金使用情况

因募投项目均尚未实施完毕，报告期内，公司不存在将募集资金投资项目节余资金用于非募集资金投资项目的情况。

四、变更募集资金投资项目的资金使用情况

6（一）变更募集资金投资项目情况

报告期内公司募集资金投资项目未发生变更。

（二）募集资金投资项目对外转让或置换情况报告期内公司募集资金投资项目不存在对外转让或置换的情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司已按《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》和

《管理办法》等相关规定及时、真实、准确、完整地披露了公司募集

资金的存放及实际使用情况，不存在募集资金管理违规的情况。

六、会计师事务所对公司2024年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的结论性意见容诚会计师事务所（特殊普通合伙）认为：公司《2024年度募集资金存放与使用情况的专项报告》在所有重大方面按照《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及

交易所的相关规定编制，公允反映了公司2024年度募集资金实际存放与使用情况。

七、保荐机构对公司2024年度募集资金存放与使用情况所出具的专项核查报告的结论性意见经核查，保荐机构认为：公司2024年度募集资金的存放与使用符合《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度，

7对募集资金进行了专户存储和使用，截至2024年12月31日，公司

不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形，公司募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。保荐机构对公司2024年度募集资金存放与使用情况无异议。

特此公告。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

2025年4月24日

8附表：2024年年度募集资金使用情况对照表（2022年度向特定对象发行股票募集资金）

单位：元

募集资金总额789362921.17本年度投入募集资金总额301927652.57变更用途的募集资金总额不适用

已累计投入募集资金总额378214008.17

变更用途的募集资金总额比例（%）不适用项目可是项目行截至期末否已变更达到性累计投入截至期末达项目，含截至期末承截至期末预定是募集资金承调整后投资本年度投金额与承投入进度本年度实现到承诺投资项目部分变诺投入金额累计投入可使否

诺投资额总额入金额诺投入金（%）的效益预

更（如*金额*用状发额的差额*=*/*计

有）态日生

*=*-*效期重益大变化已完成现代化直写光刻直写光刻设备2026不

265980002576572725765727941179116049-141608设备生产车

产业应用深化无45.04%年7适否

0.003.623.6253.90061.74211.88间及配套设

拓展项目月用施的建设与施工；NEX

9系列机型多台出货，首台应用于

IC 载板防焊机型

NEX30T 完成客户端验证；G8.5 打码曝边机客户端验证中已完成直写光刻设备生产车间及配套设施的建设与施工；

MAS6 等应

用于 IC 载

IC 载板、类载 2026 不

175837501758375017583750703128746882-10114942.48%板领域的直

板直写光刻设无年7适否

0.000.000.0075.3458.93241.07写光刻设备

备产业化项目月用

多台出货，MAS12、

MAS15 等应用于类载板领域的直写光刻设备完成多台验收

10各子系统、核心零部件自主研发项目均正常推进，基于深度学习算法的智能化直写光刻系统开发已基本完成，并在客户端试运行；超大幅

关键子系统、2026不

151720001517200015172000433934830489-68671面高解析度

核心零部件自无54.74%年7适否

0.000.000.0030.9749.50050.50曝光引擎研

主研发项目月用发项目已基本完成，实现超大幅面下高解析高速曝光；高精度动态环控系统第二阶段正常进行中；先进激光光源研发项目已达预期，出货

11多台整机。

2026不

补充流动资金204148142041481420414814941033104427-99720

无51.15%年7不适用适否

项目7.557.557.5592.36738.00409.55月用

79768564789362978936292301927378214-411148

合计-----

7.5521.171.17652.57008.17913.00

未达到计划进度原因（分具体募投项目）不适用项目可行性发生重大变化的情况说明不适用募集资金投资项目先期投入及置换情况不适用用闲置募集资金暂时补充流动资金情况不适用截至报告期末，公司进行现金管理的募集资金余额为39000.01万元。具体详见本报告“三、2024对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况年年度募集资金的实际使用情况”之“（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况”。

用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况不适用募集资金结余的金额及形成原因不适用募集资金其他使用情况不适用

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