国泰海通证券股份有限公司

关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司

使用部分暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理的核

查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐人”）作为合

肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”、“公司”或“发行人”）2022年度向特定对象发行股票的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》（以下简称“《规范运作》”）等有关法律法规和规范性文件的要求，就芯碁微装使用暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理的事项进行了审慎核查，并发表如下核查意见：

一、募集资金基本情况经中国证券监督管理委员会《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2023〕563号）核准，公司向特定对象发行人民币普通股（A 股）10497245 股，每股发行价格为人民币 75.99 元，募集资金总额为人民币79768.56万元，扣除各项发行费用后实际募集资金净额为人民币78936.29万元。上述募集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并由其出具容诚验字[2023]230Z0198 号《验资报告》。

上述募集资金已全部存放于募集资金专户管理，公司及相关子公司与存放募集资金的商业银行、保荐人签订了募集资金监管协议。

二、募集资金投资项目的基本情况根据《2022 年度向特定对象发行 A 股股票募集说明书》（以下简称“《募集说明书》”），公司扣除发行费用后募集资金投资项目基本情况如下：

单位：万元序号项目名称项目总投资拟投入募集资金额

1直写光刻设备产业应用深

131756.1925765.73

化拓展项目

IC 载板、类载板直写光刻

223408.2717583.75

设备产业化项目

关键子系统、核心零部件

324758.2215172.00

自主研发项目

4补充流动资金项目30000.0020414.81

合计109922.6878936.29

由于募投项目建设需要一定的周期，根据募投项目建设进度，现阶段募集资金在短期内存在部分闲置的情况。在不影响募投项目建设和公司正常经营的前提下，公司将合理利用闲置募集资金进行现金管理，提高募集资金使用效率，保障股东利益。

三、本次使用暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理的基本情况

（一）投资目的

由于募集资金投资项目建设需要一定周期，公司的部分募集资金存在暂时闲置的情形。为提高募集资金使用效率，合理利用部分暂时闲置募集资金及自有资金，在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排，不变相改变募集资金用途且不影响公司正常业务开展的情况下，增加公司的收益并为公司、股东获取更多回报。

（二）额度及期限

公司拟使用最高不超过人民币25000万元（含本数）的闲置募集资金进行

现金管理，拟使用最高不超过人民币20000万元（含本数）的自有资金进行现金管理，使用期限自公司股东会审议通过之日起不超过12个月。在前述额度及期限范围内，资金可以循环滚动使用。

（三）投资产品品种

1、募集资金

公司将按照相关规定严格控制风险，拟使用暂时闲置募集资金用于购买安全性高、流动性好、产品期限不超过十二个月、具有合法经营资格的金融机构销售的保本型理财产品（包括但不限于结构性存款、定期存款、通知存款、大额存单

2等），且该等现金管理产品不得用于质押，不用于以证券投资为目的的投资行为。

2、自有资金

公司将按照相关规定严格控制风险，拟使用部分自有资金用于购买安全性高、流动性好、具有合法经营资格的金融机构销售的理财产品(包括但不限于结构性

存款、定期存款、通知存款、大额存单等)。

（四）决议有效期自公司股东会审议通过之日起12个月内有效。

（五）实施方式董事会授权公司管理层在上述额度及期限范围内行使该项决策权及签署相

关法律文件，包括但不限于：选择合适的专业金融机构、明确现金管理金额、期间、选择产品/业务品种、签署合同及协议等。具体事项由公司财务中心负责组织实施。

（六）信息披露

公司将按照《上市公司募集资金监管规则》《上市规则》《规范运作》等相关

法律、法规以及规范性文件的要求，及时披露公司使用部分暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理的具体情况。

（七）现金管理收益分配

1、闲置募集资金

公司使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理的所得收益归公司所有，将优先用于补足募投项目投资金额不足部分以及公司日常经营所需的流动资金，并严格按照中国证券监督管理委员会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求管理和使用。

2、闲置自有资金

通过对暂时闲置的自有资金进行适度、适时的现金管理，能减少资金闲置，所得收益归公司所有。

3四、对公司日常经营的影响

公司本次计划使用暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理是在确保公

司募集资金投资项目正常进行和保证募集资金安全的前提下进行的，不会影响公司日常资金正常周转需要和募集资金投资项目的正常运转，亦不会影响公司主营业务的正常发展，不存在损害公司和股东利益的情形。

同时，对暂时闲置的募集资金及自有资金适时进行适度、适时的现金管理，能获得一定的投资收益，有利于进一步提升公司整体业绩水平，为公司股东谋取更多的投资回报。

五、风险控制措施

（一）现金管理风险

尽管公司拟使用暂时闲置募集资金用于购买安全性高、流动性好、产品期限

不超过十二个月、具有合法经营资格的金融机构销售的保本型理财产品及拟使用

部分自有资金用于购买安全性高、流动性好、具有合法经营资格的金融机构销售

的理财产品，但金融市场受宏观经济的影响较大，并不排除该项投资收益受到市场波动的影响。

（二）风险控制措施

1、公司将严格按照《上市规则》等相关法律法规、《公司章程》以及公司《募集资金管理制度》等有关规定办理相关现金管理业务。

2、严格筛选合作对象，选择信誉好、规模大、经营效益好、资金运作能力

强的金融机构所发行的安全性高、流动性好的投资产品，并明确投资产品的金额、期限、投资品种、双方的权利义务及法律责任等。

3、公司财务中心建立台账管理，对资金运用情况建立健全完整的会计账目，

做好资金使用的账务核算工作。

4、独立董事有权对资金使用情况进行监督与检查，必要时可以聘请专业机构进行审计。

六、履行的审议程序及相关意见42026年3月13日，公司召开第三届董事会第四次会议，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排，不变相改变募集资金用途且不影响公司正常业务开展的情况下，使用额度不超过25000万元（含本数）的闲置募集资金和额度不超过20000万元（含本数）的自有资金进行现金管理，使用期限为自公司股东会审议通过之日起12个月内有效，在上述额度和期限范围内，资金可循环滚动使用。该事项仍需经股东会审议。

七、保荐人核查意见经核查，保荐人认为，公司本次使用暂时闲置募集资金进行现金管理事项已经公司董事会审议通过。公司本次使用暂时闲置募集资金进行现金管理事项符合《上市公司募集资金监管规则》《上市规则》《规范运作》等法律法规、规范性文

件以及公司《募集资金管理制度》等相关规定，不存在变相改变募集资金使用用途的情形，不影响募集资金投资计划的正常进行，并且能够提高资金使用效率，符合公司和全体股东的利益。

综上，保荐人对公司实施本次使用部分暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理的事项无异议。

（以下无正文）5（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司使用部分暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理的核查意见》之签章

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保荐代表人：

陈赛德汤文宇国泰海通证券股份有限公司年月日

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