证券代码：688630证券简称：芯碁微装公告编号：2025-036

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

2025年半年度募集资金存放与使用情况的专项报告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、

误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

根据中国证券监督管理委员会(以下简称“证监会”)《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》的规定，合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）董事会对2025年半年度募集资金存放与使用情况

的专项报告说明如下：

一、募集资金基本情况根据中国证券监督管理委员会于2023年3月15日出具的《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2023]563号），同意公司向特定对象发行股票注册申请。公司向特定对象发行10497245股人民币普通股，募集资金总额为人民币797685647.55元，扣除相关发行费用（不含税）人民币8322726.38元，募集资金净额为人民币789362921.17元。

上述资金已于2023年7月25日全部到位，并存放于公司开设的募集

1资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股份有限公司验资报告》（容诚验字[2023]230Z0198 号）。

截至2025年6月30日，募集资金存放银行产生利息扣除手续费后的净额为14172087.22（含活期利息）元。截至2025年6月30日，已使用募集资金金额为人民币481327125.60元，本年度已使用募集资金金额为人民币103113117.43元，进行现金管理余额为人民币310000083.63元，募集资金存储账户余额为人民币

12207799.16元。

二、募集资金存放和管理情况

公司根据有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，制定了《募集资金管理制度》，对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，在制度上保证了募集资金的规范使用。

经公司股东大会授权，公司于2023年7月6日召开第二届董事会第八次会议，审议通过了《关于公司设立2022年度向特定对象发行 A股股票募集资金专用账户的议案》。为规范公司募集资金管理，保护投资者权益，提高募集资金使用效率，根据《上市公司监管指引

第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022修订）》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引1号——规范运作》

及公司《募集资金管理制度》等有关规定，公司、海通证券股份有限公司与招商银行股份有限公司合肥分行、中信银行股份有限公司合肥

分行、中国光大银行股份有限公司合肥分行和徽商银行股份有限公司

2合肥分行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。前述协议与上

海证券交易所《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异。

截至2025年6月30日，募集资金存放情况如下表所示：

2025年6月30日

开户银行账号存款方式账户余额

(人民币元)招商银行合肥分行营

551906776410802活期余额874302.89

业部徽商银行股份有限公

司安徽自贸试验区合522001541721000002活期余额2911581.74肥片区支行中信银行股份有限公

8112301012100947766活期余额765010.30

司合肥分行营业部中国光大银行合肥长

76670180803908811活期余额7656904.23

江西路支行

合计//12207799.16

三、2025年半年度募集资金的实际使用情况

（一）募投项目的资金使用情况

报告期内，公司实际使用募集资金103113117.43元，具体募集资金使用情况见附表。

（二）募投项目先期投入及置换情况

报告期内，公司不涉及募投项目先期投入及置换情况。

（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

报告期内，公司不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况

为了提高资金使用效率，合理利用闲置募集资金，公司于2025年4月24日召开了第二届董事会第十九次会议和第二届监事会第十

3七次会议，于2025年5月15日召开2024年年度股东大会，审议通

过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排以及公司正常业务开展的前提下，使用不超过人民币40000万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过30000万元（含本数）的暂时

闲置自有资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好，有保本约定的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等）。在上述额度范围内，资金可以滚动使用，使用期限不超过股东大会审议通过之日起12个月。

截至2025年6月30日，公司对募集资金进行现金管理情况详见下表：

单位：元实际投序号受托方产品类型批准投资金额入金额投资期限期末余额利息金额

2024.3.29-202

1光大银行大额存单70000000.0070000000.000273000.007.3.29

2023.8.28-202

2徽商银行大额存单50000000.0050000000.0030000000.0006.8.28

3100000000.00100000000.002023.8.29-2026徽商银行大额存单40000000.001429999.99.8.29

4民生银行大额存单40000000.0040000000.00

2024.5.20-202720000000.00176972.22.5.20

52023.8.29-2026南洋银行大额存单250000000.00250000000.00110000000.000.8.29

6150000000.00150000000.002023.8.29-2026兴业银行大额存单80000000.001984000.00.8.29

7申万证券保本理财20000000.0020000000.00

2024.10.17-2020190191.78

5.10.14

82025.1.16-2026申万证券保本理财20000000.0020000000.00063287.67.1.13

49申万证券保本理财20000000.0020000000.00

2025.2.20-2026062495.38.2.9

10申万证券保本理财20000000.0020000000.00

2025.3.27-2026092712.33.3.24

11申万证券保本理财20000000.0020000000.00

2025.5.15-2026059671.23.5.12

12申万证券保本理财20000000.0020000000.00

2025.6.19-202620000083.630.6.15

13申万证券保本理财10000000.0010000000.00

2025.1.2-2025.10000000.000

12.23

合计790000000.00790000000.00310000083.634332330.60

注：批准投资金额及实际投入金额为滚动循环金额，利息金额为理财利息。

（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

截至2025年6月30日，公司无此种情形。

（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况

截至2025年6月30日，公司无此种情形。

（七）节余募集资金使用情况不适用。

四、变更募集资金投资项目的资金使用情况

截至2025年6月30日，公司无此种情形。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司及时、真实、准确、完整的披露了相关信息，不存在募集资金管理的违规情形。

特此公告。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

2025年8月28日

5附表：2025年半年度募集资金使用情况对照表

单位：元

募集资金总额789362921.17本年度投入募集资金总额103113117.43变更用途的募集资金总额不适用

变更用途的募集资金总额比不适用已累计投入募集资金总额481327125.60例（%）已项项变目目更达可项截至到是承行目，期末预否诺截至期末累计投性含投入定本年度达投募集资金承诺调整后投资总截至期末承诺本年度投入金截至期末累计入金额与承诺投是部进度可实现的到

资投资额额投入金额*额投入金额*入金额的差额否分（%）使效益预

项*=*-*发

变*=*用计目生

更/*状效重

（态益大如日变

有）期化直直写光

202不

写265980000.0257657273.6257657273.6130101863.3-127555410.350.49刻设备

无14052801.576年适

光02211%在新型否

7月用

刻显示、

6设 PCB 阻

备焊层、产引线框业架等领应域不断用深化应拓用，在展 NEX 系深列已有化机型的项基础目上，继续开发

NEX30、

NEX40多款机型，并逐步向量产阶段过渡。

IC 持续对

载 60.33 202 IC 载 不

175837500.0175837500.0175837500.0

板、无31391165.37106079424.3-69758075.70%6年板、类适

000否

类07月载板直用载写光刻

7板设备进

直行研发写投入，光正在研刻究开发设更高精备度解析产设备，业 MAS 系化列机型项研究取目得进一步突破，多款设备正在向量产阶段过渡。

关各子系

键统、核子202心零部不

151720000.0151720000.0151720000.055.00

系无398625.3483447574.84-68272425.166年件自主适

000%否

统、7月研发项用核目均正心常推

8零进，基

部于深度件学习算自法的智主能化直研写光刻发系统开项发在客目户端试运行良好；超大幅面高解析度曝光引擎研发项目已基本完成，实现超大幅面下高解析高速曝光；

高精度动态环控系统

9研发基

本完成，完成 WLP机型上机测试；先进激光光源研发项目重点解决空间光耦

合、合束等技术，提升了

405nm

紫外激光器国产化率。

补

202不

充204148147.5204148147.5204148147.5161698263.179.21

无57270525.15-42449884.406年不适用适

流5555%否

7月用

动

10资

金项目

合797685647.5789362921.1789362921.1103113117.4481327125.6-308035795.560.98

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计577307%

未达到计划进度原因（分具体募投项目）不适用项目可行性发生重大变化的情况说明不适用募集资金投资项目先期投入及置换情况不适用用闲置募集资金暂时补充流动资金情况不使用对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品截至报告期末，公司进行现金管理的募集资金余额为31000.01万元。具体详见本报告“三、2025年半情况年度募集资金的实际使用情况”之“（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况”。

用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款不适用情况募集资金结余的金额及形成原因不适用募集资金其他使用情况不适用

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