投资要点

国产半导体温控、废气处理设备龙头，产品大规模应用于先进制程

公司是半导体温控设备、废气处理设备龙头，产品已规模应用于国内长存、长鑫、华虹、中芯国际等晶圆厂和北方华创、中微、屹唐等设备厂，覆盖 90nm 到14nm 逻辑芯片、64 到 192 层 3D NAND 存储芯片等工艺。2022 年公司实现营收6.6 亿元，同比+32%，2020-2022 年复合增长率37%；实现归母净利润0.91 亿元，同比+55%，2020-2022 年复合增长率289%。2022 年公司主营产品半导体温控、废气处理、晶圆传片设备营收占比分别为49%、35%、3%。公司温控、废气处理技术国内领先、国际先进，深度受益于先进制程扩产、国产替代加速。

半导体温控设备国内市场规模11 亿元，先进制程扩产驱动市场扩容

半导体温控设备主要为工艺制程提供反应温度，直接影响晶圆良率及产线产能利用率，技术壁垒较高。根据QY Reaearch， 2022 年全球半导体温控设备市场规模约47 亿元，CR5 市占率为64%，公司市占率全球第六；我国市场规模11 亿元，CR3 市占率为65%，公司市占率36%居第一。公司半导体温控设备在温控范围、温控精度和冷却能力等关键技术指标处于国内领先、国际先进水平，2018-2022 年我国半导体温控设备市场规模复合增长率达10%，预计未来先进制程扩产下市场规模继续增长，龙头市占率有望继续提升。

废气处理设备国内市场规模15 亿元，公司市占率有望继续提升

半导体废气处理设备用于处理工艺制程产生的工艺废气，保障产线安全。根据QY Reaearch，2022 年全球半导体废气处理设备设备市场规模约85 亿元，我国市场规模15 亿元，CR6 市占率90%左右，公司市占率15.6%居国内第四，4 年市占率+12.5pct。随着国内半导体设备国产化加速，叠加公司优秀的客户资源，未来公司尾气处理设备的市占率有望继续提升。

客户资源优秀、技术研发领先，公司护城河深厚

半导体设备验证周期长，客户及技术是核心壁垒。2016 年起，公司与国内外头部晶圆厂和设备厂逐步开展合作，2022 年长江存储、华虹集团、中芯国际在公司营收占比分别为28.4%、14.3%、13.8%。半导体专用设备技术壁垒高，产品迭代快，公司凭借客户+技术优势充分构建公司护城河。

盈利预测：预计公司2023-2025 年实现营业收入7.93、10.93、14.45 亿元，同比增长20%、38%、32%，复合增长率35%；归母净利润1.30、1.83、2.49 亿元，同比增长42%、41%、36%，复合增长率39%。当前市值分别对应PE 为73、52、38 倍。首次覆盖，给予“买入”评级。

风险提示

外部制裁加剧风险、下游扩产不及预期风险、市场竞争加剧风险