投资要点

业绩高增：2026 前三季度公司营收35.83 亿元，同比-5.61%；归母净利润为10.73 亿元，同比+108.04%，扣非归母净利润4.27 亿元，同比+3.38%。Q3 单季营收14.52 亿元，同比+10.46%，环比+32.68%；归母净利润为6.77 亿元，同比+303.40%，环比+186.47%，扣非归母净利润为1.84 亿元，同比+16.01%，环比+33.40%。归母净利润增长主要系公允价值变动收益增加、主营业务毛利率持续改善。

盈利能力稳步提升：2026 前三季度毛利率为39.21%，同比+1.84pct；销售净利率为29.94%，同比+16.36pct。期间费用率为26.56%，同比+0.15pct，其中销售费用率为7.25%，同比+0.78pct，管理费用率为5.37%，同比+0.49pct，研发费用率为13.06%，同比-1.42pct，财务费用率为0.88%，同比+0.31pct。Q3 单季度毛利率为37.23%，同比-2.91pct，环比-3.83pct；销售净利率为46.63%，同比+33.86pct，环比+25.04pct。

前三季度经营性现金流同比改善，研发投入稳步增长：截至2026Q3 末，公司合同负债为4.81 亿元，较年初-30.86%；存货为32.26 亿元，较年初-6.11%。2026 前三季度公司经营活动净现金流为5.99 亿元，同比转正，主要系公司25 年同期提前储备关键存货；Q3 单季度为-0.05 亿元，同比净流出扩大，环比转负，主要系公司为满足业务需求增加相关现金支出。2026 年前三季度研发投入5.69 亿元，同比+3.46%，研发投入占比15.87%，同比+1.39pct，其中Q3 研发投入1.93 亿元，同比+5.69%，环比+0.58%，研发投入占比13.31%，同比-0.60pct，环比-4.25pct。

三大设备平台协同放量，拟投资18 亿元扩产：公司已形成干法去胶、快速热处理、干法刻蚀及等离子体表面处理三大类具有国际竞争力的成熟设备产品线。同时，公司拟投资约18 亿元建设半导体装备制造基地，扩大核心设备产能，提升规模化生产及产业化能力。（1）干法去胶设备：

新一代先进干法去胶设备Optima系列已成功导入前道晶圆制造以及先进封装领域的多家客户形成量产。（2）快速热处理设备：公司已开展新一代常压快速热处理设备以及快速热处理一体化设备等研发工作，各项目均取得关键进展。（3）干法刻蚀及等离子体表面处理设备：新一代先进干法刻蚀设备RENA-E已成功导入多家前道晶圆制造客户形成量产，新签订单层面开始放量；先进等离子体表面处理和材料改性设备已导入海外先进存储器、先进逻辑领域多家客户并持续获得重复订单。

盈利预测与投资评级：考虑到公司持续受益于下游扩产，我们上调公司2026-2027 年归母净利润预测分别为13.2/17.1 亿元（原值为8.5/12.2 亿元），预测2028 年归母净利润为23.1 亿元，对应当前股价PE 为41/32/23倍，维持“增持”评级。

风险提示：下游扩产不及预期，新业务拓展不及预期。