国泰海通证券股份有限公司

关于北京屹唐半导体科技股份有限公司

调整核心技术人员的核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）作为北京屹唐半导体

科技股份有限公司（以下简称“公司”或“屹唐股份”）首次公开发行股票并在

科创板上市及持续督导阶段的保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法规、规范性文件的规定，对公司调整核心技术人员的事项进行了审慎核查，具体情况如下：

一、核心技术人员调整的具体情况

（一）调整原因

公司从长期战略发展的角度考虑，Hao Allen Lu（陆郝安）先生将专注于公司战略、经营决策及运营管理，公司不再认定其为公司核心技术人员，其仍将在公司任职。

（二）核心技术人员的情况

Hao Allen Lu（陆郝安），男，1956 年出生，美国弗吉尼亚大学固态物理学博士。1994年2月至1997年7月，任应用材料高级工艺工程师及项目主管；1997年7月至2009年8月，历任英特尔加州技术制造部主任工程师、技术制造部资深主任工程师、掩膜刻蚀部门负责人、中国区公共事务部总监、技术制造工程部

中国芯片厂项目主管等职务；2009年 8月至 2016年 5月，任 SEMI全球副总裁和中国区总裁；2016 年 6月至 2017 年 8 月，历任Mattson Technology Inc.（以下简称“MTI”）执行董事兼副董事长、总裁兼首席执行官；2017年 9月至 2020年 12月，任北京屹唐半导体科技有限公司及MTI董事、总裁兼首席执行官；2020年 12月至今，任屹唐股份及MTI董事、总裁兼首席执行官。

（三）知识产权情况

1Hao Allen Lu（陆郝安）先生与公司不存在涉及职务发明、知识产权的权属

纠纷或潜在纠纷，也不存在影响公司知识产权完整性的情况。

（四）履行保密及竞业限制情况公司与 Hao Allen Lu（陆郝安）先生签署了《专有信息和职务发明创造转让协议》，对双方的权利义务进行了约定。截至本核查意见出具日，公司未发现其有违反上述相关协议的情形。

二、核心技术人员调整对公司的影响

公司主要从事高端半导体工艺设备的研发、生产和销售，主要产品包括干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀及等离子体表面处理设备。公司一直高度重视研发投入，通过长期的技术积累和发展，已建立了完整的研发体系，培养了具有协同创新能力的研发团队。截至2023年末、2024年末和2025年末，公司研发人员数量分别为288人、349人和397人，占当期员工总人数比例分别为

26.57%、29.28%和31.26%，公司研发人员数量整体呈增长趋势。本次核心技术

人员调整属于公司管理层正常的工作职责调整，公司现有研发团队及核心技术人员能够充分支持未来核心技术的持续研发和创新，不存在对特定技术人员的重大依赖。

本次核心技术人员的调整不存在涉及职务发明、知识产权的纠纷或潜在纠纷，不会影响公司拥有的核心技术及其专利权属完整性，不会对公司的技术优势、核心竞争力及持续经营能力产生重大不利影响，也不会影响公司产品研发和市场拓展进度。

三、公司采取的措施

截至本核查意见出具日，公司生产经营及研发工作均有序开展。公司高度重视新技术和新产品的持续创新，始终将技术和研发视为公司保持核心竞争力并在全球半导体市场充分参与竞争的重要保障，公司在未来的业务发展中将持续加大研发投入，不断完善公司研发体系和研发队伍的建设，持续提升公司的技术创新能力。

四、保荐机构核查意见

2经核查，保荐机构认为：

公司不再认定 Hao Allen Lu（陆郝安）先生为核心技术人员，系公司基于长期战略发展角度考虑进行的管理层职责调整，本次核心技术人员的调整不会对公司相关工作的正常开展和日常经营产生重大不利影响。

公司现有研发团队总体相对稳定，本次核心技术人员的调整不存在涉及职务发明、知识产权的纠纷或潜在纠纷，不会影响公司拥有的核心技术及其专利权属完整性，不会对公司的技术优势、核心竞争力及持续经营能力产生重大不利影响，也不会影响公司产品研发和市场拓展进度。

（以下无正文）3（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于北京屹唐半导体科技股份有限公司调整核心技术人员的核查意见》之签章页）

保荐代表人：

魏鹏吴同欣国泰海通证券股份有限公司

2026年4月日

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