国泰海通证券股份有限公司

关于北京屹唐半导体科技股份有限公司

调整部分高级管理人员、核心技术人员的核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）作为北京屹唐半导体

科技股份有限公司（以下简称“公司”）首次公开发行股票并在科创板上市及持

续督导阶段的保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第

1号——规范运作》等法律法规、规范性文件的规定，对公司调整部分高级管理

人员、核心技术人员的事项进行了审慎核查，具体情况如下：

一、高级管理人员、核心技术人员调整的具体情况

（一）调整副总经理（副总裁）的情况

从公司长期战略发展的角度考虑，经公司第二届董事会第十九次会议审议通过，公司对组织管理架构和高级管理人员职责进行调整，同意对 SubhashDeshmukh 先生和 Schubert S. Chu 先生的职务进行调整，本次职务调整后，上述人员不再担任公司副总经理（副总裁），但仍在公司全资子公司 MattsonTechnology Inc.任职，本次调整不会对公司相关工作的正常开展和日常经营造成不利影响。

本次职务调整后，上述人员仍将遵守《上市公司股东减持股份管理暂行办法》《上市公司董事和高级管理人员所持本公司股份及其变动管理规则》等相关法律

法规的规定，以及在公司首次公开发行股票时所作的相关承诺。

（二）调整核心技术人员的情况

因 Schubert S. Chu 先生职务调整，公司不再认定其为核心技术人员，但其仍在公司全资子公司 Mattson Technology Inc.任职。

1、原核心技术人员的情况

Schubert S. Chu，男，1973 年出生，1991 年 9 月至 1999 年 5 月，就读于1University of California at Berkeley（加利福尼亚大学伯克利分校）机械工程专业，

取得理学学士、硕士及博士学位。1999年至2007年，任应用材料多个技术与支持岗位；2007年至2012年，任应用材料产品管理总监；2012年至2017年，任应用材料 EPI 产品总监；2017 年至 2021 年 1 月，任应用材料 EPI 产品部门副总裁兼业务发展副总裁；2021年1月至本次职务调整前，任公司副总经理（副总裁）。

2、参与研发情况

Schubert S. Chu 先生在公司参与研发的知识产权所有权均归属于公司，不存在涉及职务发明、知识产权的权属纠纷或潜在纠纷，也不存在影响公司知识产权完整性的情况。

3、履行保密及竞业限制情况公司全资子公司 Mattson Technology Inc.与 Schubert S. Chu 签署了《专有信息和职务发明创造转让协议》，对双方的权利义务进行了约定。截至本核查意见出具日，公司未发现其有违反上述相关协议的情形。

（三）新增认定核心技术人员的情况综合考虑相关人员未来对核心技术研发的参与情况与对业务发展贡献等实际情况，经公司管理层研究，新增认定范强为公司核心技术人员。其个人简历及持股情况如下：

范强，男，1977年出生，1996年至2000年就读于西安建筑科技大学无机非金属材料专业，获得学士学位；2000年至2003年就读于西安建筑科技大学材料学专业，获得硕士学位；2011 年至 2013 年就读于国家发展研究院北大国际 MBA

（BiMBA）专业，获得工商管理硕士学位。2004 年至 2021 年，历任泛林半导体

设备技术（上海）有限公司高级工艺工程师、主任工艺工程师和高级工艺经理等职务；2021年至今，任公司中国产品研发事业部等离子体产品技术部中国产品助理副总裁。

截至本核查意见出具日，范强先生未直接持有公司股份，其通过宁波义方企业管理合伙企业（有限合伙）及国泰君安君享科创板屹唐股份1号战略配售集合

2资产管理计划间接持有公司股份。

（四）调整后核心技术人员的情况

截至核查意见出具日，公司核心技术人员共3人。本次调整前后核心技术人员具体如下：

时间核心技术人员姓名

本次调整前 Hao Allen Lu（陆郝安）、Schubert S. Chu、Lee Fook Hong（李福洪）

本次调整后 Hao Allen Lu（陆郝安）、范强、Lee Fook Hong（李福洪）

二、核心技术人员调整对公司的影响

公司主要从事高端半导体工艺设备的研发、生产和销售，主要产品包括干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备。公司一直高度重视研发投入，通过长期的技术积累和发展，已建立了完整的研发体系，培养了具有协同创新能力的研发团队。截至2022年末、2023年末和2024年末，公司研发人员数量分别为247人、288人和349人，占当期员工总人数比例分别为25.49%、26.57%和29.28%，

公司研发人员数量整体呈增长趋势。本次核心技术人员调整属于公司正常的人员结构优化，公司现有研发团队及核心技术人员能够充分支持未来核心技术的持续研发和创新，不存在对特定技术人员的重大依赖。

本次核心技术人员的调整不存在涉及职务发明、知识产权的纠纷或潜在纠纷，不会影响公司拥有的核心技术及其专利权属完整性，不会对公司的技术优势、核心竞争力及持续经营能力产生重大不利影响，也不会影响公司产品研发和市场拓展进度。

公司本次新增认定核心技术人员，有助于公司各项研发项目有序高效推进，并支持公司未来核心产品的技术升级，推动公司多产品系列布局的战略实现。

三、公司采取的措施

截至本核查意见出具日，公司生产经营及研发工作均有序开展。公司高度重视新技术和新产品的持续创新，始终将技术和研发视为公司保持核心竞争力并在全球半导体市场充分参与竞争的重要保障，公司在未来的业务发展中将持续加大

3研发投入，不断完善公司研发体系和研发队伍的建设，持续提升公司的技术创新能力。

四、保荐机构核查意见经核查，保荐机构认为：

Subhash Deshmukh 先生和 Schubert S. Chu 先生不再担任公司副总经理（副总裁），系公司基于长期战略发展角度考虑进行的管理层调整，本次高级管理人员的调整不会对公司相关工作的正常开展和日常经营产生重大不利影响。

公司现有研发团队总体相对稳定，本次核心技术人员的调整不存在涉及职务发明、知识产权的纠纷或潜在纠纷，不会影响公司拥有的核心技术及其专利权属完整性，不会对公司的技术优势、核心竞争力及持续经营能力产生重大不利影响，也不会影响公司产品研发和市场拓展进度。

公司本次新增认定核心技术人员，有助于公司各项研发项目有序高效推进，并支持公司未来核心产品的技术升级，推动公司多产品系列布局的战略实现。

（以下无正文）4（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于北京屹唐半导体科技股份有限公司调整部分高级管理人员、核心技术人员的核查意见》之签章页）

保荐代表人：

魏鹏吴同欣国泰海通证券股份有限公司

2025年7月日

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