证券代码：688785证券简称：恒运昌

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

投资者关系活动记录表

编号：2026-002

?特定对象调研□分析师会议

□媒体采访□业绩说明会

投资者关系活动□新闻发布会□路演活动

类别□现场参观

□其他（请文字说明其他活动内容）

易方达基金、工银瑞信基金、嘉实基金、淡水泉基金、硕和资产、参与机构名称中信证券

时间2026年3月5日—2026年3月6日

地点 深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋

公司接待人员董事长、总经理乐卫平董事会秘书庄丽华姓名投资者关系专员郝一骏

1.请介绍一下公司主营业务及产品情况

回答：公司始终致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体投资者关系活动解决方案的平台型公司。公司的等离子体射频电源系统（等离子体主要内容介绍射频电源及匹配器）被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀

、离子注入、清洗去胶、键合等环节，以及光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节，直接决定设备工艺能力、产品良率。历经十年，公司先后推出CSL、Bestda、Aspen 三代产品系列等离子体射频电源系统，成功打破了美系两大巨头在国内长达数十年的垄断格局，填补国内空白。

公司研发的最新一代等离子体射频电源系统Cedar系列产品，锚定更先进制程前沿领域，目前处于验证阶段。

2.公司主营产品的验证周期是怎么样的？

回答：半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，等离子体射频电源系统等核心部件需要得到半导体设备商及晶圆厂的双重验证，需要经历功能验证、上机验证、工艺验证、晶圆厂生产验证等多个验证环节，验证程序复杂、验证难度大、验证周期长。公司早在2018年与拓荆科技率先开展等离子体射频电源系统的国产化开发及验证工作，历经2年多的合作验证，产品于2020年下半年开始逐步批量交付。近年来，国内晶圆厂及半导体装备商均加速核心零部件国产化，所有半导体装备商的验证周期都在同步压缩，同一客户其他系列产品的验证时间也相应减少，公司产品的整体认证周期也逐步缩短。3.公司的研发投入及研发人员情况是怎样的？回答：公司一直以来高度重视研发工作，结合行业发展趋势和客户需求，不断加大研发投入。2022年至2025年上半年，公司研发费用占营业收入的比例分别为13.62%、11.36%、10.22%和14.24%。

2022年至2025年上半年，公司研发人员占比分别为35.90%、33.02%

、41.64%、42.13%。

4.公司产品的国产化进程如何了？

回答：历经十年，公司先后推出 CSL、Bestda、Aspen 三代产品系列等离子体射频电源系统，成功打破了美系两大巨头在国内长达数十年的垄断格局，填补国内空白。公司目前也启动了包括质量流量计在内的其他半导体设备核心零部件国产化研发工作。与此同时，公司持续加强供应链的国产化，自2021年开始，公司先后在上游采购中实现了真空电容、陶瓷电容、MCU 以及 SiC MOS、LDMOS、部

分 ADC 和 FPGA 等元器件的国产化应用。公司目前已确定上游元器件的全国产化方案，将持续推进元器件的全面国产化验证工作。

5.公司与主要客户的合作情况如何？

回答：公司目前已与拓荆科技、中微公司、微导纳米、北方华创、

盛美上海等诸多国产半导体设备龙头开展持续稳定的合作，公司已成为薄膜沉积、刻蚀环节等国内头部设备商的战略级供应商，并为国内多家晶圆厂开发多款原位替换等离子体射频电源及匹配器并提

供维修等技术服务。公司自2018年开始与拓荆科技在薄膜沉积、键合等领域开展深度合作，已验证导入多款产品。公司自2022年与中微公司在刻蚀等领域合作，持续配合客户新机台开发先进产品。

2025年上半年，公司还实现对屹唐股份、思锐智能和无锡邑文等细

分领域头部客户的销售收入突破，客户结构持续多元化。

6.公司针对目前的产能瓶颈有什么应对措施？

回答：公司将在现有生产模式的基础上，在沈阳新建半导体射频电源产业化中心，在深圳扩建半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地，提高产品生产效率，扩大公司产销规模，满足不断增长的市场需求并解决公司产能瓶颈问题，提升公司整体运营效率，促进公司业绩增长，稳定公司的行业地位以及进一步提升核心竞争力。

7.近年来，中国大陆等离子体射频电源系统市场总规模是多少？半

导体行业射频电源系统市场总规模是多少？

回答：根据弗若斯特沙利文统计，2024年，中国大陆等离子体射频电源系统市场规模达120.4亿元，过去五年复合增速达9.9%。

2025-2029年复合增长率预计为12.3%。中国大陆半导体行业等离

子体射频电源系统市场从2020年到2024年，市场规模由42.7亿元增长至65.6亿元，年均复合增长率达到11.3%，2025-2029年复合增长率预计为15.6%。

8.公司的未来发展规划是怎样的？

回答：在技术研发方面，公司将始终以客户需求作为技术研发导向，密切追踪最新的技术及发展趋势，持续增加研发投入，不断完善

研发管理机制和创新激励机制，为技术突破和产品升级提供重要的基础和保障。此外，公司将持续推动主营业务产品向光伏、显示面板、精密光学等领域的拓展；在产品布局方面，公司将持续优化现有产品，提升性能与质量，并拓宽产品品类，形成新的利润增长点，不断增强公司持续盈利能力、核心竞争力和抗风险能力。

在市场开拓方面，公司始终以客户为中心，密切关注客户需求，强化与客户设计研发的沟通合作，持续收集下游行业市场与技术动态信息，同时进一步加强公司技术销售与技术服务，提供在产品及技术应用、销售专业技能、产品技术服务等全方位的培训，确保公司在产品技术路线交流、销售、服务、信息反馈等环节为客户提供专业化的技术支持服务和解决方案。

在人才培养方面，公司还将招募更多具备前瞻性、共性基础技术研究能力的技术人才，注重国内外高端专业技术人才、各领域高端管理人才的引进，优化人才结构。此外，公司还将进一步扩大与有关高校科研院所的合作，以实训基地、校外实验室、联合实验室、研究生联合培养站点等为载体，实现公司未来可持续发展。

9.公司2025年及2026年一季度的业绩情况如何？

回答：根据已披露2025年度业绩快报公告，公司2025年度营收预计达5.30亿元，归母净利润预计达1.14亿元。公司2025年及2026年一季度的业绩情况以公司最终披露的2025年年度报告和2026年一季报为准。