证券代码：688785 证券简称：恒运昌

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

编号：2026-021

?特定对象调研□分析师会议

□媒体采访□业绩说明会

投资者关系活动 □新闻发布会□路演活动

类别 □现场参观

?其他 （券商策略会）

中信证券、国联民生、华福证券、开源证券、鹏华基金、融通基金

、宝盈基金、中邮证券、华安基金、长城基金、南方基金、华西基

金、天风证券、远信投资、彬元资本、中金众鑫、博时基金、信达

澳亚、前海人寿、万和证券、广发基金、国调基金、金田基金、上

参与机构名称 善如是基金、交银施罗德基金、先锋基金、金信基金、大成基金、

天演论投资、诺安基金、清善资本、正圆投资、溋沣资本、建信理

财、诺鼎基金、锐意资本、红杉中国、乾弘久盛、北京中港融鑫、

深大成投资、上海宝弘景基金、民沣基金、尚欣投资、辰禾投资、

瑞联私募、煉金聚信、沁闻投资、上海九益、正领咨询

2026.9.17 国联民生、华福证券、鹏华基金、融通基金、宝盈基金

2026.9.18 中邮证券、华西基金、长城基金、南方基金、信达澳亚

、博时基金、交银施罗德基金、先锋基金、金信基金、大成基金、

天演论投资、诺安基金、清善资本、正圆投资、溋沣资本、建信理

财、诺鼎基金、锐意资本、红杉中国、乾弘久盛、北京中港融鑫、

深大成投资、上海宝弘景基金、民沣基金、尚欣投资、辰禾投资、

时间 瑞联私募、煉金聚信、沁闻投资、正领咨询、上海九益

2026.9.20 天风证券、远信投资、彬元资本、中金众鑫、博时基金

、宝盈基金、信达澳亚、前海人寿、万和证券、广发基金、国调基

金、金田基金、上善如是基金

2026.9.22 中信证券、华安基金

2026.9.23 开源证券、长城基金

深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区、券商策略地点会

公司接待人员 董事会秘书 庄丽华

姓名 投资者关系专员 郝一骏

1. 请问公司2026半年度的业绩情况如何？

投资者关系活动 回答：报告期内，公司实现营业收入 27836.07 万元，主要系公司部分客户根据自身经营及生产节奏动态调整对公司的采购进度。公司作为主要内容介绍

半导体核心零部件企业，订单一般随客户验证及量产逐步释放，公司一方面根据市场需求释放速度及公司发展规划进行了适度的产能预增，另一方面积极推进新技术突破和重点客户新产品研发与验证导入。公司下半年产能布局也在持续推进中。2. 请介绍一下公司最新一代产品Cedar系列及其他新产品的研发进展

回答：Cedar系列将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能，可支撑更先进制程。公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列截至2026半年度已有部分机型小批量试产；公司在研项目之一“Jade系列匹配器”截至2026半年度处于样机设计中。公司新增在研项目“AI Model-Based RFImpedance Matching System”截至2026半年度已完成模型开发并在持续完善中。公司将采取双轮驱动策略持续丰富产品布局。通过内生研发，持续优化现有产品，提升性能与质量，并拓宽产品品类；同时，借助

外部并购等战略举措，公司致力于发展成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。

3. 请介绍一下射频电源和匹配器的功能作用及其关键程度

回答：射频电源的核心功能是高频电能转换与输出，通过产生高频电场，在晶圆反应腔体内将特定工艺气体电离，激发并维持高活性、高能量的等离子体，并利用等离子体的特殊性能实现薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等复杂半导体工艺。电源失效将导致工艺完全中断，属于系统级关键组件，其频率稳定性、功率精度直接影响等离子体状态；匹配器的核心功能是阻抗匹配，通过调节网络中的可变电容和电感，实现等离子体射频电源内部阻抗、传输线阻抗和负载阻抗三者的匹配，从而实现功率最大化输出。匹配失效会导致能量反射，引发电源过载损坏或工艺波动。

4. 请介绍一下公司的技术服务业务

回答：公司技术服务主要系为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务。等离子体射频电源系统在晶圆厂使用过程中会出现老化、故障等问题，需要及时进行更换或维修。国内主要晶圆厂被列入实体清单后，无法继续向原海外设备供应商采购备件或申请维修服务，公司为此承接了部分进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修业务。

5. 请介绍一下目前的行业发展情况

回答：根据SEMI数据，2026年第二季度全球半导体设备出货金额同比增长23%，达到405.3亿美元，环比增长11%。据弗若斯特沙利文数据统计，中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场从2020年到2024年，市场规模由42.7亿元增长至65.6亿元，年均复合增长率达到 11.3%。

中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场仍呈现海外巨头高度

垄断的竞争格局。等离子体射频电源系统技术壁垒高、研发投入大、研发周期长、生产的“精确复制”要求极高，因而国产化率低。根据弗若斯特沙利文统计，2024 年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%。

6. 请问公司的射频电源和匹配器都是成套出售的吗？

回答：半导体设备厂商在采购等离子体射频电源和匹配器时，会根据工艺路径和稳定性、供应链安全、库存、各家供应商技术水平及特点等情况，外购同一厂商的等离子体射频电源和匹配器或外购不同厂商的等离子体射频电源和匹配器，一般使用同一家供应商射频电源和匹配器的数量比例不固定。该情况主要基于供应链安全考虑，避免单一供应商依赖导致的断供风险；以及基于半导体保密性的考虑，为避免单一供应商通过长期合作而逐步掌握设备商完整的技术布局，设备厂商通常会选择多个供应商。因此，客户根据自身需求，可单独向公司采购等离子体射频电源或匹配器，亦可以同时采购等离子体射频电源和配套的匹配器。此外，公司等离子体射频电源无需与同系列的匹配器产品配套使用，同系列中的等离子体射频电源和匹配器亦不会有固定的配套关系。

7. 请介绍一下公司报告期内的研发进展

回答：公司一直以来高度重视研发工作，结合行业发展趋势和客户需求持续推进技术创新，不断加大研发投入。报告期内，公司研发费用

4575.24万元，同比增长5.64%，占营业收入比例达16.44%；截至报告期末，公司研发人员达164人。报告期内，公司新增一项产品化支撑技术“匹配器宽频扫频匹配技术”。公司不断通过内生研发优化现有产品并拓宽产品品类，不断完善研发管理机制和创新激励机制，优化研发环境；同时，密切追踪最新的技术及发展趋势，开展对先进技术、先进工艺的研究，为技术突破和产品升级提供重要的基础和保障。

8. 请介绍一下公司报告期内的产能情况及产能未来布局？

回答：公司2026半年度的产能利用率达到 102.46%。公司通过多个措施提升产能：截至2026年7月底，子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司已通过客户验厂，下半年将逐步释放产能，公司将持续助力其实现从试产到量产的转换；公司也在同时推进深圳产能建设，包括不断挖掘现有产能潜力、新增租赁场地以扩大产能建设。未来，公司将重点推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设，这些都将有助于后续产能的释放，为公司产能持续提升奠定基础。

9. 请介绍一下公司募投项目的最新进展？

回答：截至2026半年度报告披露日，沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目已通过客户验厂审核。营销及技术支持中心项目中的北京恒运昌已处于正式运营阶段，上海恒运昌、武汉恒运昌分别于2026年4月及7月注册成立。半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目和营销及技术支持中心项目的合肥中心处于前期准备阶段。

关于本次活动是

否涉及应披露重 本次活动不涉及应当披露的重大信息大信息的说明

以上如涉及公司所处行业发展趋势、公司发展规划等相关内容，不代表风险提示 公司或公司管理层对行业发展、公司发展或业绩的预测和承诺，不构成公司或公司管理层对投资者的实质性承诺，敬请广大投资者注意投资风险。

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