证券代码：688785证券简称：恒运昌

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

编号：2026-016

?特定对象调研□分析师会议

□媒体采访□业绩说明会

投资者关系活动□新闻发布会□路演活动

类别□现场参观

□其他（请文字说明其他活动内容）参与机构名称安联投资

2026.8.415:00-16:00安联投资

时间

地点 深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋公司接待人员董事会秘书庄丽华姓名投资者关系专员郝一骏

1.请问从技术上看，公司的产品有什么优势？

投资者关系活动回答：经过十多年的持续研发、不断创新和积累，公司以技术发展主要内容介绍、行业需求为双导向，建立了“基石技术+产品化支撑技术”的技术体系，一方面从测量、控制及架构构建的底层通用的3大基石技术，并基于基石技术，结合半导体设备中应用，特别是先进制程中更快速、更精准、更稳定的应用诉求和实现难点，发展出8大产品化支撑技术，实现了突破高端等离子体射频电源系统的先进设计、测量和控制等难题，掌握了信号采样及处理、相位同步锁定、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。截至2025年年底，公司已授权专利共296项，包括发明专利123项，实用新型专利72项，外观设计专利101项。截至2025年年底，公司已累计申请490项专利，其中发明专利262项，占比53.47%。

2.请问公司产品的验证周期大概需要多久时间？

回答：半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，等离子体射频电源系统等核心部件需要得到半导体设备商及晶圆厂的双重验证，需要经历功能验证、上机验证、工艺验证、晶圆厂生产验证等多个验证环节，验证程序复杂、验证难度大、验证周期长。公司早在2018年与拓荆科技率先开展等离子体射频电源系统的国产化开发及验证工作，历经2年多的合作验证，产品于2020年下半年开始逐步批量交付拓荆科技。近年来，国内晶圆厂及半导体装备商均加速核心零部件国产化，所有半导体装备商的验证周期都在同步压缩，同一客户其他系列产品的验证时间也相应减少，公司产品的整体认证周期也逐步缩短。

截至2025年年底，公司第四代等离子体射频电源系统 Cedar 系列处于验证状态，该产品将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能，可支撑更先进制程。

3.请问公司的射频电源和匹配器都是配套出售的吗？

回答：客户可根据自身需求，单独向公司采购等离子体射频电源或匹配器，亦可以同时采购等离子体射频电源和配套的匹配器。此外，公司等离子体射频电源无需与同系列的匹配器产品配套使用，同系列中的等离子体射频电源和匹配器亦不会有固定的配套关系。

4.请问2026年一季度营收下降原因？

回答：2026年一季度，公司实现营业收入1.24亿元，同比下滑的主要原因是半导体行业具有周期波动的特性，下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度及交

付验收节奏动态调整，进而导致对公司的采购呈现波动；公司实现归属于上市公司股东的净利润1758.28万元，同比下滑的主要原因是公司全面提升公司运营管理，并持续推进研发投入和各类型人才引进，同时政府补助相对去年同期减少，且公司按照会计准则要求计提相应的资产减值损失。截至公司2026年第一季度报告披露日，公司在手订单共约1.57亿元。公司将充分发挥研发和技术优势，结合市场发展前景和客户需求，加快推动更先进工艺制程等离子体射频电源系统的产业化应用，为客户提供性能更优、可靠性更高的产品，推进公司长期稳定发展。

5.请问2025年研发投入增长的原因？

回答：2025年，公司研发费用较上年同期增长45.01%，研发投入金额达到8015.92万元，主要是因为研发费用中的人工费同比增长

61.43%，公司持续加大研发投入力度，提高技术指标要求，推进新

产品开发、产品持续升级迭代等，不断加强产品竞争力。

6.请介绍一下公司目前的产能情况及产能未来布局

回答：2025年公司产能利用率达98.51%。公司通过多个措施提升产能，包括积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设与正式运营，助力其实现从试产到量产的跨越；同时推进深圳产能建设，加速产能落地；公司未来将逐步推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设，这些都将有助于后续产能的释放，为公司产能持续提升奠定基础。

以上如涉及公司所处行业发展趋势、公司发展规划等相关内容，不代表公司或公司管理层对行业发展、公司发展或业绩的预测和承诺，不构成公司或公司管理层对投资者的实质性承诺，敬请广大投资者注意投资风险。