证券代码：688785 证券简称：恒运昌

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

编号：2026-019

?特定对象调研□分析师会议

□媒体采访□业绩说明会

投资者关系活动 □新闻发布会□路演活动

类别 □现场参观

□其他 （请文字说明其他活动内容）

中信建投、中信证券、华西基金、中银国际、长盛基金、华安基金、博

时基金、申万菱信、银华基金、中金公司、城堡投资(Citadel)、国源

信达、六妙星基金、润晖投资、观富资产、东方阿尔法、申万宏源、彼

得明奇基金、华能信托、天风证券、招商证券、兴业全球、嘉实基金、

参与机构名称 恒生前海、慧博云通、溪牛投资、先锋基金、证券日报、瑞昇证券、深

圳市可瑞生物科技有限公司、铭溪集团、深大成投资、中欧基金、国源

信达、新华基金、壁韧科技投资、景顺长城、国海证券、上海悦众基金

、杭州附加值投资、鸿道投资、国联安基金、个人投资者

2026年9月9日 上海悦众基金、杭州附加值投资、慧博云通、中信建投

、鸿道投资、中银国际、长盛基金、华安基金、博时基金、申万菱信、

中信建投、银华基金

2026年9月10日 中金公司、城堡投资(Citadel)、国源信达、六妙星基

金、润晖投资、观富资产、东方阿尔法、申万宏源、彼得明奇基金、华

能信托、天风证券、招商证券、兴业全球、嘉实基金、恒生前海、溪牛

时间 投资、华西基金、先锋基金、证券日报、瑞昇证券、深圳市可瑞生物科

技有限公司、铭溪集团、个人投资者、深大成投资、中欧基金、博时基金

2026年9月11日 国源信达、新华基金、嘉实基金、壁韧科技投资、景顺

长城、国海证券、国联安基金

2026年9月14日 中信证券、景顺长城

深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋及X2栋地点

、国联民生策略会

公司接待人员 董事会秘书 庄丽华

姓名 投资者关系专员 郝一骏

1. 请问公司2026半年度的业绩情况如何？

投资者关系活动 回答：报告期内，公司实现营业收入 27836.07 万元，主要系公司部分客户根据自身经营及生产节奏动态调整对公司的采购进度。公司作为主要内容介绍

半导体核心零部件企业，订单一般随客户验证及量产逐步释放，公司一方面根据市场需求释放速度及公司发展规划进行了适度的产能预增，另一方面积极推进新技术突破和重点客户新产品研发与验证导入。公司归属于上市公司股东的净利润及归属于上市公司股东的扣除非经常性损益

的净利润分别为5235.05万元、5033.52万元，除前述营业收入略有下降外，主要系公司全面提升运营管理水平，持续推进研发投入和各类型人才引进，导致相关人员费用有所增长；同时受政府补助较去年同期减少以及公司按照会计准则要求计提相应的资产减值损失增加所影响。结合公司截至报告期末的在手订单情况及下半年产能布局，公司2026年营收有望保持良好态势。

2. 请介绍一下公司最新一代产品Cedar系列及其他新产品的研发进

展

回答：Cedar系列将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能，可支撑更先进制程。截至2026上半年，公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列的部分机型已小批量试产；公司在研项目“MFC MEMS 传感器项目”已达到样品升级改造阶段；公司于报告期内新增一在研项目“AI Model-BasedRF Impedance Matching System”，截至报告期末处于完成模型开发并持续完善中的阶段。

报告期内，公司持续推进自研产品矩阵中等离子体射频电源系统（等离子体射频电源及匹配器）、远程等离子体源（其在自有的独立腔室中通过等离子体射频电源系统将气体电离形成等离子体，再将产生的等离子体传输到晶圆所在的反应腔）、射频离子源（一种由一个或多个等离子体射频电源、匹配器及感应线圈等组成的用于激发等离子体的模块化装置）、等离子体直流电源（通过产生直流电场以激发和维持等离子体的电源）、滤波器（应用在诸如加热盘、静电卡盘、热偶的供电线路中，用于射频隔离、稳定射频等离子体的阻抗）、阻抗调整器（大多应用在等离子体腔体内硅片托盘的阻抗调整，控制等离子体托盘的接地阻抗）等产品项目的进度。

公司将持续加大技术研发投入、积极拓展技术应用领域，探索更多行业场景，形成多元化产品矩阵，并致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。

3. 请介绍一下公司的核心技术及衡量公司主营产品技术水平的关键

指标

回答：历经十余年的持续研发、不断创新和积累，针对半导体设备尤其是先进制程中对高速、精准、稳定性能的严苛需求及技术瓶颈，公司构建了以‘基石技术+产品化支撑技术’为核心的技术架构，并基于‘等离子体电源全数字测量技术’、‘等离子体电源全数字环路控制技术

’及‘等离子体电源高效功放技术’三大基石技术，并衍生出九大产品化支撑技术。衡量公司主营产品或核心技术的关键指标包括但不限于：

调谐时间、调谐频率重复性、功率精度、开启响应时间、关闭响应时间

、功率重复性、脉冲上升时间、脉冲下降时间等。

4. 请问公司的射频电源和匹配器都是成套出售的吗？

回答：半导体设备厂商在采购等离子体射频电源和匹配器时，会根据工艺路径和稳定性、供应链安全、库存、各家供应商技术水平及特点等情况，外购同一厂商的等离子体射频电源和匹配器或外购不同厂商的等离子体射频电源和匹配器，一般使用同一家供应商射频电源和匹配器的数量比例不固定。该情况主要基于供应链安全的考虑，避免单一供应商依赖导致的断供风险；以及基于半导体保密性的考虑，为避免单一供应商通过长期合作而逐步掌握设备商完整的技术布局，设备厂商通常会选择多个供应商。因此，客户根据自身需求，可单独向公司采购等离子体射频电源或匹配器，亦可以同时采购等离子体射频电源和配套的匹配器。5. 请介绍一下公司报告期内的研发进展回答：公司一直以来高度重视研发工作，结合行业发展趋势和客户需求持续推进技术创新，不断加大研发投入。报告期内，公司研发费用

4575.24 万元，同比增长 5.64%，占营业收入比例达 16.44%；截至报告期末，公司研发人员达164人。截至报告期末，公司已授权专利共

345 项，包括发明专利 144 项，实用新型专利 98 项，外观设计专利

103 项。报告期内，公司新增一项产品化支撑技术“匹配器宽频扫频匹配技术”。公司不断通过内生研发优化现有产品并拓宽产品品类，不断完善研发管理机制和创新激励机制，优化研发环境；同时，密切追踪最新的技术及发展趋势，开展对先进技术、先进工艺的研究，为技术突破和产品升级提供重要的基础和保障。

6. 请介绍一下公司报告期内的客户拓展情况

回答：报告期内，公司实现营业收入 27836.07 万元，包括自研产品

24272.21 万元，公司营收结构以现有头部客户为主；同时，屹唐股份

、菲沃泰等新客户也在逐步导入放量中。报告期内，公司所承接的研发产品数量不断扩大。随着合作产品数量尤其是验证导入中的产品数量的不断增加，公司主要客户的新增定制需求均在不断增加。公司将持续加大研发投入力度，承接更多客户的需求。

7. 请介绍一下公司上游元器件国产化的最新进展？

回答：公司等离子体射频电源系统等自研产品所使用的主要原材料包

括电容、电阻、芯片等电子元器件、功率模块等电气件以及钣金件等结构件。自 2021 年起，公司先后实现真空电容、陶瓷电容等元器件的国产化应用。公司结合产品设计，在采购中积极推进国产化率的提升，注重使用本土元器件，以促进国产替代。

8. 请介绍一下公司报告期内的产能情况及产能未来布局？

回答：公司2024 年度、2025 年度、2026 半年度的产能利用率分别达

到 111.24%、98.51%、102.46%。公司通过多个措施提升产能：截至

2026年7月底，子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司已通过客户验厂，下半年将逐步释放产能。公司将持续助力其实现从试产到量产的转换；公司也在同时推进深圳产能建设，包括不断挖掘现有产能潜力、新增租赁场地以扩大产能建设。未来，公司将重点推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设，这些都将有助于后续产能的释放，为公司产能持续提升奠定基础。

9. 请介绍一下公司募投项目的最新进展？

回答：截至2026半年度报告披露日，沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目已通过客户验厂审核。 营销及技术支持中心项目中的北京恒运昌已处于正式运营阶段，上海恒运昌、武汉恒运昌分别于2026年4月及7月注册成立。半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目和营销及技术支持中心项目的合肥中

心处于前期准备阶段。公司将密切关注行业发展趋势及市场需求变化，在确保项目质量与预期效益的前提下，加快推进募投项目建设。

10. 请介绍一下公司的“2026年限制性股票激励计划”？

回答：为完善长效激励机制，吸引和留住优秀人才，充分调动核心员工工作积极性和创造性，公司制定了 2026 年限制性股票激励计划。本激励计划首次授予的激励对象人数为 82 人，占公司（含子公司）2025年员工总人数的20.25%，均为公司（含子公司）核心员工。本次激励计划设置公司层面业绩考核，首次授予的限制性股票归属对应的考核年度为2026年-2029年四个会计年度，业绩考核目标设置主要综合考虑公司所处行业发展趋势、当前在手订单情况、产能建设情况及供应链国产化

应用情况等因素。本期激励计划是公司上市后的首次激励，公司希望将激励作为常态化机制，通过长效激励实现股东、公司与员工利益深度绑定，吸引并留存核心人才，激发团队内生动力，共同推动公司长远发展。

11. 请问公司通过什么方式成为围绕等离子体工艺提供核心零部件

整体解决方案的平台型公司？

回答：公司在优化现有自研产品的基础上，不断丰富研发储备与产品类别和系列，持续加强薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等其他半导体设备的产品开发和客户拓展。公司积极参与各领域客户新应用机台、新技术的开发设计过程，满足多元化的市场需求。在泛半导体领域，公司进一步拓展深化核心技术在光伏、显示面板、精密光学等领域的应用。此外，随着公司资本实力的提升，公司未来将借助外部并购等战略举措，积极物色境内外优质的标的和技术，以进一步增强等离子体工艺核心零部件的供应能力，为客户提供一站式的产品和服务。综上所述，公司将采取双轮驱动策略持续丰富产品布局。通过内生研发，持续优化现有产品，提升性能与质量，并拓宽产品品类；同时，借助外部并购等战略举措，公司致力于发展成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。

以上如涉及公司所处行业发展趋势、公司发展规划等相关内容，不代表公司或公司管理层对行业发展、公司发展或业绩的预测和承诺，不构成公司或公司管理层对投资者的实质性承诺，敬请广大投资者注意投资风险。