中信证券股份有限公司

关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

使用部分暂时闲置募集资金和自有资金

进行现金管理的核查意见

中信证券股份有限公司（以下简称“中信证券”或“保荐人”）作为深圳市

恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”或“公司”）首次公开发行股票并在科创板上市持续督导阶段的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法规，对恒运昌使用部分暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的事项进行了审慎核查，发表意见如下：

一、投资情况概述

（一）投资目的

为提高公司募集资金和自有资金使用效率，合理利用部分暂时闲置募集资金和自有资金，在保证不影响公司募集资金投资项目正常实施、不影响公司正常生产经营以及确保募集资金安全的前提下，公司拟使用部分闲置募集资金和自有资金进行现金管理，增加公司现金资产收益，保障公司股东的利益。

（二）投资金额

1、闲置募集资金

公司拟使用不超过人民币138000万元（含本数）的部分暂时闲置募集资金

进行现金管理，使用期限自公司董事会审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及使用期限范围内，资金可以循环滚动使用。期限内任一时点的交易金额（含前述投资的收益进行再投资的相关金额）不应超过上述额度。

2、闲置自有资金

1公司拟使用不超过人民币38000万元（含本数）的部分暂时闲置自有资金

进行现金管理，使用期限自公司董事会审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及使用期限范围内，资金可以循环滚动使用。期限内任一时点的交易金额（含前述投资的收益进行再投资的相关金额）不应超过上述额度。

（三）资金来源

1、资金来源：部分闲置募集资金和部分闲置自有资金

2、募集资金基本情况

（1）募集资金基本情况根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕2671号），并经上海证券交易所审核同意，公司首次公开发行人民币普通股（A 股）1693.0559 万股，发行价格92.18元/股，募集资金总额为156065.89万元人民币，扣除本次发行费用（不含增值税）14690.13万元人民币后，募集资金净额为人民币141375.76万元。

上述资金已全部到位，经天健会计师事务所（特殊普通合伙）审验并于2026年1月22日出具了《验资报告》（天健验〔2026〕3-9号）。公司及子公司已根据相关法律法规、规范性文件的规定，与保荐人及存放募集资金的商业银行签署了募集资金专户监管协议，对募集资金采取专户储存管理。

（2）募集资金投资项目情况根据《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》，公司本次募集资金投资项目及募集资金使用计划如下：

单位：万元序拟使用募集资金项目内容项目投资总额号金额

1沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目16573.2414000.00

半导体与真空装备核心零部件智能化生产运

269696.9669000.00

营基地项目

3研发与前沿技术创新中心项目36267.0735000.00

4营销及技术支持中心项目12378.8612000.00

2序拟使用募集资金

项目内容项目投资总额号金额

5补充流动资金16900.0016900.00

合计151816.13146900.00

注：由于公司扣除发行费用后，公司本次募集资金净额为人民币141375.76万元，募集资金净额低于募集资金承诺投资总额，因此公司对补充流动资金项目的投资金额进行了相应的调整，补充流动资金项目调整后的投资总额为人民币11375.76万元，拟使用募集资金金额为人民币11375.76万元。

（四）投资方式

1、投资产品品种

公司将按照相关规定严格把控风险，拟投资安全性高、流动性好、满足保本要求的投资产品，包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、组合存款等，其中闲置募集资金投资产品期限不得超过十二个月。投资产品不得用于质押，公司不得使用上述资金从事以证券投资为目的的投资行为。

2、现金管理收益的分配

公司使用闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将优先用于补足募投项

目投资金额不足部分，自有资金进行现金管理所得收益归公司所有并用于公司日常经营所需的流动资金。公司将严格按照中国证券监督管理委员会及上海证券交易所关于募集资金监管的要求管理和使用资金，现金管理到期后将归还至募集资金专户，不得存在变相改变募集资金用途和影响募投项目正常进行的行为。

（五）实施方式

在董事会审议的投资额度和期限内，公司董事会授权董事长或董事长授权人士行使现金管理投资决策权并签署相关法律文件，具体事项由公司财务部负责组织实施。

（六）投资期限本次现金管理投资期限自董事会审议通过之日起12个月内有效。在上述额度及有效期内，资金可循环滚动使用。

（七）公司最近12个月内使用募集资金进行现金管理的情况

3公司最近12个月内不存在使用募集资金进行现金管理的情况。

二、审议程序

公司于2026年4月25日召开第一届董事会审计委员会第十三次会议、第一届董事会第十五次会议，审议通过了《关于使用部分暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》。

三、投资风险分析及风控措施

（一）投资风险

公司本次使用部分暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理，拟投资于安全性高、流动性好、满足保本要求的投资产品，但金融市场受宏观经济的影响较大，不排除该项投资可能受市场波动风险、利率风险、流动性风险、政策风险等影响，公司将根据经济形势以及金融市场的变化适时适量地介入，收益具有不确定性，存在一定的系统性风险。

（二）针对投资风险拟采取的措施

1、公司将严格按照《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规、规范性

文件以及《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程》《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司募集资金管理制度》等有关规定办理相关现金管理业务。

2、公司将严格遵守审慎投资原则筛选投资对象，主要选择信誉好、规模大、有能力保障资金安全的发行主体所发行的产品。

3、公司财务部相关人员将及时分析和跟踪投资产品的投向、项目进展情况，

如评估发现或判断有不利因素，将及时采取相应措施，严格控制投资风险。

4、公司内部审计部门进行日常监督，定期对相关投资产品进行检查。

5、董事会审计委员会、独立董事有权对理财资金使用情况进行监督与检查，

必要时可以聘请专业机构进行审计。

6、公司将严格根据中国证券监督管理委员会及上海证券交易所的有关规定，

4及时履行相关信息披露义务。

四、投资对公司的影响公司本次计划使用部分暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理是在确

保公司正常经营、募投项目正常实施和保证募集资金安全的前提下实施的，不会影响公司日常资金周转需要和募集资金投资项目的正常运转，亦不会影响公司主营业务的正常发展。与此同时，对部分暂时闲置的募集资金和自有资金进行适时的现金管理，能获得一定的投资收益，符合公司和全体股东的利益。

公司根据财政部《企业会计准则第22号——金融工具确认和计量》及其他

相关规定与指南，对拟开展的现金管理业务进行相应的核算处理，反映资产负债表及损益表相关项目。

五、保荐人意见经核查，本保荐人认为：公司本次使用部分暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的事项已经公司董事会审议通过，符合相关的法律法规并履行了必要法律程序。公司本次使用部分暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的事项符合《上市公司募集资金监管规则》等相关规定的要求。公司本次计划使用部分暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理是在确保公司正常经营、募投项目正

常实施和保证募集资金安全的前提下实施的，不会影响公司日常资金周转需要和募集资金投资项目的正常运转，亦不会影响公司主营业务的正常发展。与此同时，对部分暂时闲置的募集资金和自有资金进行适时的现金管理，能获得一定的投资收益，符合公司和全体股东的利益。

综上，保荐人对公司本次使用部分暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的事项无异议。

（以下无正文）

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