深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

公司代码：688785公司简称：恒运昌

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

2026年半年度报告

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重要提示

一、本公司董事会及董事、高级管理人员保证半年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存

在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

二、重大风险提示

报告期内，不存在对公司生产经营构成实质性影响的重大风险。公司已于本报告中详细描述了存在的相关风险，详见“第三节管理层讨论与分析”之“四、风险因素”的相应内容，敬请投资者注意投资风险。

三、公司全体董事出席董事会会议。

四、本半年度报告未经审计。

五、公司负责人乐卫平、主管会计工作负责人郑悦佳及会计机构负责人（会计主管人员）张慧芳

声明：保证半年度报告中财务报告的真实、准确、完整。

六、董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案无

七、是否存在公司治理特殊安排等重要事项

□适用√不适用

八、前瞻性陈述的风险声明

√适用□不适用

本报告所涉及的未来计划、发展战略等前瞻性描述，不构成公司对投资者的实质性承诺，敬请投资者注意投资风险。

九、是否存在被控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况否

十、是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况否

十一、是否存在半数以上董事无法保证公司所披露半年度报告的真实性、准确性和完整性否

十二、其他

□适用√不适用

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目录

第一节释义.................................................4

第二节公司简介和主要财务指标........................................8

第三节管理层讨论与分析..........................................12

第四节公司治理、环境和社会........................................41

第五节重要事项..............................................42

第六节股份变动及股东情况.........................................66

第七节债券相关情况............................................74

第八节财务报告..............................................76载有公司负责人、主管会计工作负责人、会计机构负责人（会计主管人备查文件目录员）签名并盖章的财务报表报告期内公开披露过的所有公司文件的正本及公告的原稿

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第一节释义

在本报告书中，除非文义另有所指，下列词语具有如下含义：

常用词语释义

恒运昌/公司/本公司指深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

百世达指深圳市百世达半导体设备有限公司，恒运昌子公司沈阳恒运昌指恒运昌真空技术（沈阳）有限公司，恒运昌子公司北京恒运昌指恒运昌京昇半导体科技（北京）有限公司，恒运昌子公司德国恒运昌 指 CSLVacuum Science and Technology GmbH，恒运昌子公司上海恒运昌指恒运昌申昇半导体科技（上海）有限公司，恒运昌子公司武汉恒运昌指恒运昌汉昇半导体科技（武汉）有限公司，恒运昌子公司恒运昌投资/控股股东指深圳市恒运昌投资有限公司

深圳市恒运昌投资中心（有限合伙），系公司员工持股平投资中心指台及恒运昌股东

深圳市恒运昌投资发展中心（有限合伙），系公司员工持投资发展中心指股平台及恒运昌股东实际控制人指乐卫平国投（广东）科技成果转化创业投资基金合伙企业（有限国投大湾区基金指合伙），恒运昌股东江苏瑞芯通宁基金半导体产业投资基金合伙企业（有限合瑞芯基金指伙），恒运昌股东拓荆科技股份有限公司（688072.SH）及其子公司，恒运昌拓荆科技指

股东、客户

上海岩泉科技有限公司，为拓荆科技全资子公司，恒运昌上海岩泉指股东

北京光电指北京光电融合产业投资基金（有限合伙），恒运昌股东江苏疌泉君海荣芯投资合伙企业（有限合伙），曾用名“无君海荣芯指锡疌泉君海荣芯投资合伙企业（有限合伙）”，恒运昌股东

中电科核心技术研发股权投资基金（北京）合伙企业（有中电科指限合伙），恒运昌股东上海浦宸私募投资基金合伙企业（有限合伙），恒运昌股上海浦宸指东

深圳市鹏远基石私募股权投资基金合伙企业（有限合伙），鹏远基石指恒运昌股东

嘉兴恒祥指嘉兴恒祥创业投资合伙企业（有限合伙），恒运昌股东嘉兴小橡指嘉兴小橡股权投资合伙企业（有限合伙），恒运昌股东青岛鼎量粤恒创业投资基金合伙企业（有限合伙），恒运青岛鼎量指昌股东上海国策绿色科技制造私募投资基金合伙企业（有限合上海国策指伙），恒运昌股东上杭景行指上杭景行创业投资合伙企业（有限合伙），恒运昌股东上海道禾丰源私募投资基金合伙企业（有限合伙），曾用上海道禾指名“上海道禾产医私募投资基金合伙企业（有限合伙）”，恒运昌股东

中证投资指中信证券投资有限公司，恒运昌股东湖南高创鑫阳创业投资基金合伙企业（有限合伙），恒运湖南高创指昌股东

扬州乾益指扬州乾益投资合伙企业（有限合伙），恒运昌股东

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MKS 指 MKS Instruments Inc.（NASDAQ：MKSI）

Advanced Energy Industries Inc.（NASDAQ：AEIS）。境内AE 子公司包含优仪半导体设备（深圳）有限公司和优仪半导指

体设备（上海）有限公司，分别简称 AE（深圳）、AE（上海）

霍廷格 指 TRUMPF Hüttinger，德国通快集团 Trumpf旗下企业DAIHEN 株式会社ダイヘン、DAIHEN Corporation，日本东京证券指交易所上市公司（TSE：6622）

DIGITIMES 指 DIGITIMES Inc.，一家专注于电子产业资讯的媒体公司中微半导体设备（上海）股份有限公司（688012.SH）及其中微公司指子公司

北方华创 指 北方华创科技集团股份有限公司（002371.SZ）及其子公司

微导纳米 指 江苏微导纳米科技股份有限公司（688147.SH）

盛美上海 指 盛美半导体设备（上海）股份有限公司（688082.SH）

屹唐股份 指 北京屹唐半导体科技股份有限公司（688729.SH）

菲沃泰 指 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司（688371.SH）

《公司章程》指《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程》

//除特别注明的币种外，指人民币元、人民币万元、人民币元万元亿元指亿元

报告期/报告期内指2026年1月1日至2026年6月30日报告期末指2026年6月30日

《公司法》指《中华人民共和国公司法》

《证券法》指《中华人民共和国证券法》

《科创板上市规则》指《上海证券交易所科创板股票上市规则》

中国证监会/证监会指中国证券监督管理委员会

上交所/证券交易所/交易所指上海证券交易所

保荐人/保荐机构/主承销商/中指中信证券股份有限公司信证券

审计机构/天健会计师/天健指天健会计师事务所（特殊普通合伙）

导电性能介于导体与绝缘体之间、通电后可实现单向导通

半导体 指 的材料。按照制造技术可分为集成电路（IC）、分立器件、光电器件和传感器

Integrated Circuit，指通过一系列加工工艺，将一定数目的IC 三极管、二极管、电阻、电容和电感等按一定的电路互联集成电路、 指

并集成在半导体晶片上，封装在一个外壳内，从而实现电路或者系统功能的电路或系统

半导体设备指用于制造半导体器件（主要为集成电路产品）的生产设备

通过氧化/扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、清洗

与抛光、金属化等特定工艺加工形成的具有特定电性功能晶圆指

的集成电路圆片，经切割、封装等工艺后可制作成集成电路成品

集成电路载体，是集成电路经设计、制造、封装、测试后芯片指的产品

晶体管中栅极的宽度（也称制程）。宽度越窄，晶体管就越小，电流通过时的损耗越低，性能也越高，制造工艺也先进制程指更复杂。先进制程指当下时点芯片制造最小的工艺制程，目前通常指14纳米及以下的工艺制程

Copy Exactly，系由英特尔的克瑞格·贝瑞特在上世纪八十精确复制指

年代提出并实施的建厂策略，用于全球快速扩大生产规模

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中的重复行为，如建厂、设备、技术、供应链管理、人员培训等，确保全球不同工厂生产产品的质量和成品率，缩短产品上市时间并有效控制成本

物质的状态之一，不同于固体、液体、气体的物质第四态，被称为“等离子态”“超气态”，又叫做“电浆体”。当等离子体指外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，由阳离子、中性粒子、自由电子等多种不同性质的粒子所组成的电中性物质，具有很强的导电性一种通过控制等离子体工艺过程中的等离子体参数，如等离子体密度、温度、成分和流量等，实现对材料表面和界等离子体工艺、等离子体技术指

面的处理和修饰的工艺，可以应用于半导体、光伏、显示面板、精密光学镀膜等众多领域

利用高频交流电信号产生并控制射频能量的电源设备，广泛应用于半导体制造、精密加工、无线通信、医疗设备等射频电源指领域。根据其应用领域，射频电源可分为等离子体射频电源和非等离子体射频电源

可以产生正弦波电压，工作频率范围一般处于 3kHz 至

300GHz 之间，具有一定功率的工艺电源。其核心作用是通

过产生高频电场，在晶圆反应腔体内将特定工艺气体电离，等离子体射频电源指

创造并维持高活性、高能量的等离子体，并利用等离子体的特殊性能实现薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等复杂半导体工艺

通过调节阻抗匹配网络，使等离子体射频电源内部阻抗、传输线阻抗、负载阻抗互相匹配，得到最大功率输出的一匹配器指种设备，通常由输入传感器、输出传感器、控制电路和匹配网络组成等离子体射频电源系统指由等离子体射频电源和匹配器组成的电源系统

为工业设备、系统和生产过程提供电力的设备或装置，它将电网输入的电能进行变换、调节和控制，以满足各种工工业电源指

业应用对电力的特定要求，确保工业设备稳定、可靠、高效地运行

产生、改善和（或）维持真空环境的装置，包括真空应用真空装备指设备和真空获得设备

远程等离子体源（Remote Plasma Source，RPS）是一种利用射频电源产生等离子体的装置，由射频电源、匹配网络远程等离子体源指和处理室组成，通常不直接接触要处理的表面，而是在一定距离之外产生等离子体，并将等离子体输送到目标表面，减少了对表面的热和化学损伤

离子源（Ion source），一种由一个或多个电源、匹配器及离子源指感应线圈等组成的用于激发等离子体的模块化装置用化学或物理方法有选择地在硅表面去除不需要的材料的

刻蚀指过程，是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺，是半导体制造工艺的关键步骤

是半导体制造过程中关键技术，沉积不同材料的薄膜能够薄膜沉积指

精确控制内部构造的成型，以实现不同的电气特性将离子束流射入半导体材料，离子束与材料中的原子或分离子注入指子发生一系列物理和化学作用，入射离子逐渐损失能量并停留在材料中，引起材料表面成分、结构和性能的变化清洗去胶指在半导体制造过程中，去除晶圆表面光刻胶的步骤键合指将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经

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表面清洗和活化处理，在一定条件下直接结合，通过范德华力、分子力甚至原子力使两片半导体材料成为一体的技术

在真空环境中，通过物理或化学手段，将金属、非金属或化合物材料转换成气态或等离子态，使其沉积于玻璃、金真空镀膜指

属、陶瓷、塑料或有机材料等固体材质表面形成薄膜的过程

Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积法。是指在各种CVD 能量条件下，镀料发生化学反应生成气态产物，输运到基、化学气相沉积 指体表面，沉积成固态薄膜或反应合成新的化合物固态薄膜。

是半导体工业中应用最为广泛地用于沉积多种材料的技术

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强PECVD 化学气相沉积法，即借助等离子体射频电源等使含有薄膜、等离子体增强化学气指组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，等离子体化相沉积

学活性很强，更加容易与晶圆硅片发生反应。可使化学反应能在较低的温度下进行

Physical Vapor Deposition，物理气相沉积法，通过物理手段PVD 将固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离、物理气相沉积 指子（等离子体），在真空空间输运到基体表面并沉积成薄膜的方法

Atomic Layer Deposition，原子层沉积法，是一种基于连续ALD 使用气相化学过程的薄膜沉积技术，通过将薄膜表面暴露、原子层沉积 指于交替的气态物质，由反应物以顺序的、自限性的方式一次一层地与材料表面反应，使薄膜缓慢沉积能够输出恒定直流电压和电流，通过直流电压产生和维持等离子体直流电源指等离子体的工艺电源

一种物理量，又称电阻抗，是描述电路对交流信号的阻碍阻抗指程度。它由电阻、电感和电容等元件组成，单位为欧姆（Ω），用于描述电路对信号的响应特性将一个电路或系统的输出阻抗与其负载的输入阻抗相匹配

阻抗匹配指的过程。目的是消除信号反射、最大限度地传递信号能量，并确保系统的性能优化

任何消耗功率的电子器件或电路上的装置、设备，即连接负载指在电路中电源两端的电路器件

一种电源功率技术，通过快速开关和脉冲成形网络，将能量在毫秒、微秒、甚至是纳秒时间内释放到负载上。对能脉冲指

量实现低功率的储存和高功率的释放，使能量在时间上压缩，提高释放能量的瞬时功率，满足不同负载的应用需求特定类型的 DRAM 产品，主要用于数据吞吐量大的高性能HBM 计算、AI 大模型训练等应用场景。产品结构方面，HBM将、高带宽内存 指多个 DRAM 芯片堆叠互联，再进一步与 GPU 内核封装集成为一个大芯片

弗若斯特沙利文（北京）咨询有限公司，第三方市场调研弗若斯特沙利文指机构

SEMI Semiconductor Equipment and Materials International，国际指半导体设备材料产业协会

注：本年度报告除特别说明外若出现总数和各分项数值之和尾数不符的情况，均为四舍五入原因造成。

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第二节公司简介和主要财务指标

一、公司基本情况公司的中文名称深圳市恒运昌真空技术股份有限公司公司的中文简称恒运昌

公司的外文名称 Shenzhen CSL Vacuum Science and Technology Co. Ltd.公司的外文名称缩写 CSL公司的法定代表人乐卫平深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能公司注册地址

配套区B栋101，201，301公司注册地址的历史变更情况报告期内公司地址未发生变更深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能公司办公地址

配套区B栋101，201，301公司办公地址的邮政编码518101

公司网址 www.csl-vacuum.com

电子信箱 IR@csl-vacuum.com报告期内变更情况查询索引不适用

二、联系人和联系方式

董事会秘书（信息披露境内代表）证券事务代表姓名庄丽华孙天园深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花联系地址

源智创小镇功能配套区B栋 源智创小镇功能配套区B栋

电话0755-235960990755-23596099

传真0755-278130860755-27813086

电子信箱 IR@csl-vacuum.com IR@csl-vacuum.com

三、信息披露及备置地点变更情况简介

中国证券报（www.cs.com.cn）、上海证券报（www.cnstock.com）、证券时报（www.stcn.com）、证券公司选定的信息披露报纸名称日报（www.zqrb.cn）、经济参考报（www.jjckb.cn）

、金融时报（www.financialnews.com.cn）

登载半年度报告的网站地址 www.sse.com.cn公司半年度报告备置地点公司董事会办公室报告期内变更情况查询索引不适用

四、公司股票/存托凭证简况

(一)公司股票简况

√适用□不适用公司股票简况股票上市交易所股票种类股票简称股票代码变更前股票简称及板块

A 上海证券交易所股 恒运昌 688785 不适用科创板

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(二)公司存托凭证简况

□适用√不适用

五、其他有关资料

√适用□不适用

名称天健会计师事务所（特殊普通合伙）公司聘请的会计师事办公地址浙江省杭州市西湖区灵隐街道西溪路128号务所（境内）

签字会计师姓名康雪艳、孙惠名称中信证券股份有限公司广东省深圳市福田区中心三路8号卓越时代报告期内履行持续督办公地址

广场（二期）北座导职责的保荐机构

签字的保荐代表人姓名王纯然、曹阳

持续督导的期间2026年1月28日-2029年12月31日

六、公司主要会计数据和财务指标

(一)主要会计数据

单位：元币种：人民币本报告期本报告期比上年

主要会计数据16上年同期（－月）同期增减(%)

营业收入278360652.04304056343.03-8.45

利润总额54341552.4374180421.04-26.74

归属于上市公司股东的净利润52350514.0769347614.82-24.51

归属于上市公司股东的扣除非50335190.0264763128.15-22.28经常性损益的净利润

经营活动产生的现金流量净额33197184.51-9522442.99不适用本报告期末比上本报告期末上年度末

年度末增减(%)

归属于上市公司股东的净资产2213090966.01800252958.64176.55

总资产2338958674.85901088728.31159.57

(二)主要财务指标本报告期本报告期比上年同

主要财务指标16上年同期（－月）期增减(%)

基本每股收益（元／股）0.811.37-40.88

稀释每股收益（元／股）0.811.37-40.88

扣除非经常性损益后的基本每股收0.781.28-39.06益（元／股）

加权平均净资产收益率（%）2.629.70减少7.08个百分点扣除非经常性损益后的加权平均净

%2.529.06减少6.54个百分点资产收益率（）

研发投入占营业收入的比例（%）16.4414.24增加2.20个百分点公司主要会计数据和财务指标的说明

√适用□不适用

1.报告期内，公司实现营业收入27836.07万元，同比略降8.45%，主要原因系公司部分客户

根据自身经营及生产节奏动态调整对公司的采购进度。公司作为半导体核心零部件企业，订单一般随客户验证及量产逐步释放，公司一方面根据市场需求释放速度及公司发展规划进行了适度的

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产能预增，另一方面积极推进新技术突破和重点客户新产品研发与验证导入。公司利润总额、归属于上市公司股东的净利润、归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润分别同比下降

26.74%、24.51%、22.28%，除前述营业收入略有下降外，公司全面提升运营管理水平，持续推进

研发投入和各类型人才引进，导致相关人员费用有所增长；同时受政府补助较去年同期减少以及公司按照会计准则要求计提相应的资产减值损失增加所影响。

2.报告期内，公司经营活动产生的现金流量净额相比上年同期转正且大幅增长，主要系报告

期内公司增加以银行承兑汇票背书转让的方式向供应商支付货款，公司购买商品支付的现金减少。

2025年同期公司为保证安全库存、降低成本上涨风险，实施集中前置采购策略，购买商品支付的现金流出较多。

3.报告期内，公司归属于上市公司股东的净资产和总资产较上年末均大幅增加，主要系报告

期内公司首次公开发行股票并上市募集资金，股本和资本公积较去年同期相应增加所致。

4.报告期内，公司基本每股收益、稀释每股收益、扣除非经常性损益后的基本每股收益较上年

同期均有所下降，主要系报告期内公司首次公开发行股票并上市，股本增加，以及净利润下降所致。加权平均净资产收益率、扣除非经常性损益后的加权平均净资产收益率下降主要系报告期内公司首次公开发行股票并上市、实施2025年度权益分派，以及净利润下降综合所致。

七、境内外会计准则下会计数据差异

□适用√不适用

八、非经常性损益项目和金额

√适用□不适用

单位：元币种：人民币

非经常性损益项目金额附注（如适用）

非流动性资产处置损益，包括已计提资产减值准备的冲-132240.52销部分

计入当期损益的政府补助，但与公司正常经营业务密切相关、符合国家政策规定、按照确定的标准享有、对公1537307.91司损益产生持续影响的政府补助除外

除同公司正常经营业务相关的有效套期保值业务外，非金融企业持有金融资产和金融负债产生的公允价值变动982260.93损益以及处置金融资产和金融负债产生的损益计入当期损益的对非金融企业收取的资金占用费委托他人投资或管理资产的损益对外委托贷款取得的损益

因不可抗力因素，如遭受自然灾害而产生的各项资产损失单独进行减值测试的应收款项减值准备转回

企业取得子公司、联营企业及合营企业的投资成本小于取得投资时应享有被投资单位可辨认净资产公允价值产生的收益同一控制下企业合并产生的子公司期初至合并日的当期净损益非货币性资产交换损益债务重组损益

企业因相关经营活动不再持续而发生的一次性费用，如安置职工的支出等

因税收、会计等法律、法规的调整对当期损益产生的一次性影响

因取消、修改股权激励计划一次性确认的股份支付费用

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非经常性损益项目金额附注（如适用）

对于现金结算的股份支付，在可行权日之后，应付职工薪酬的公允价值变动产生的损益采用公允价值模式进行后续计量的投资性房地产公允价值变动产生的损益交易价格显失公允的交易产生的收益与公司正常经营业务无关的或有事项产生的损益受托经营取得的托管费收入

除上述各项之外的其他营业外收入和支出305.13其他符合非经常性损益定义的损益项目

减：所得税影响额372309.40

少数股东权益影响额（税后）

合计2015324.05

对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因□适用√不适用

九、存在股权激励、员工持股计划的公司可选择披露扣除股份支付影响后的净利润

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本报告期本期比上年同期

主要会计数据16上年同期（－月）增减(%)

扣除股份支付影响后的净利润53380711.6670284774.65-24.05

十、非企业会计准则业绩指标说明

□适用√不适用

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第三节管理层讨论与分析

一、报告期内公司所属行业及主营业务情况说明

（一）所属行业情况

公司致力于为国产半导体设备提供优质核心零部件，主要产品为等离子体射频电源系统，主要应用于半导体设备领域。

（1）等离子体射频电源系统行业的基本特点

等离子体射频电源系统的性能直接影响薄膜沉积、刻蚀等环节中等离子体的浓度、均匀性和

稳定性等，对于薄膜沉积的厚度、密度、应力、速率，以及刻蚀的选择性、方向性、速率、质量等至关重要，进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率，等离子体射频电源系统在核心半导体设备中占据着关键位置。等离子体射频电源系统作为薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等设备实现核心工艺功能的关键零部件，可广泛应用于半导体、光伏、显示面板、精密光学、等离子体清洗等领域，是推动工艺和技术进步的重要载体。产业链具体情况如下：

（2）等离子体射频电源系统行业的发展阶段

零部件是半导体设备制造的基石。半导体设备由数以万计的零部件组成，零部件的性能、质量和精度直接决定着设备的可靠性和稳定性，制程升级很大程度依赖于精密零部件的技术突破。

等离子体射频电源系统是半导体制造中极其关键的专用电源系统，是薄膜沉积设备、刻蚀设备等多种半导体工艺设备的核心零部件，是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，技术壁垒高、研发投入大、研发周期长、生产的“精确复制”要求极高，因而国产化率极低。目前，全球等离子体射频电源系统市场呈现高度垄断的竞争格局，目前主要被美系巨头垄断，其余为日德企业占据少量份额；中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场仍呈现海外巨头高度垄断的竞争格局。

在当前复杂的国际地缘政治形势下，半导体设备厂商对于零部件自主可控的要求愈发紧迫，伴随国产替代的整体趋势，国产等离子体射频电源系统市场快速发展。

（3）等离子体射频电源系统行业的主要壁垒

*技术壁垒

半导体设备核心零部件是半导体设备技术更迭和制程演进的重要承载，在半导体工艺和芯片结构日趋复杂的背景下，半导体设备商对核心零部件厂商的要求更为严苛，包括对产品的可靠性、稳定性和一致性及核心零部件厂商的研发能力、技术实力。因此，半导体设备核心零部件行业的技术壁垒很高。等离子体射频电源系统作为薄膜沉积设备、刻蚀设备等半导体设备的核心零部件，技术要求极高，包括在纳米尺寸级别上精准控制等离子体的刻蚀过程、在纳秒时间级别上和复杂环境中精准且稳定的控制等离子体的变化。技术要求极高主要由于其直接关系到薄膜沉积、刻蚀等环节中等离子体的浓度、均匀性和稳定性等，进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率。等离子体射频电源系统生产的一致性和稳定性要求极高，量产难度大。半导体设备及零部件行业具有“精确复制”的要求，以保障晶圆厂在产能快速扩张下的芯片品质，因此等离子体射频电源系统

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的量产必须确保高度稳定和可重复的生产工艺，且需经过精密的校准和严格的测试流程，以确保性能的一致性和长期稳定性。

*客户及认证壁垒

半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，等离子体射频电源系统等核心部件需要得到半导体设备商及晶圆厂的双重验证，需要经历功能验证、上机验证、工艺验证、晶圆厂生产验证等多个验证环节，验证程序复杂、验证难度大、验证周期长。由于半导体设备和产线结构的复杂性，各设备的良率、稳定性会对整个制造体系产生累积效应，设备零部件的瑕疵或问题可能引起巨额的潜在损失，因此半导体设备商及晶圆厂对于零部件的验证、验收有严苛的标准和流程，且在设备定型后，不会轻易更换机台上所使用的等离子体射频电源系统，以此满足半导体“精确复制”的管理模式。因此，半导体设备商及晶圆厂往往会选择长期合作的核心零部件供应商。零部件供应商在与半导体设备商及晶圆厂长期合作过程中，形成了大量的技术及生产经验积累，并与客户建立长期、深入的合作关系。在产品迭代过程中，具有先发优势的零部件供应商，能深入理解客户需求以及产品改进和创新的方向。

*运营管理壁垒

半导体级等离子体射频电源系统定制化程度较高，具有多品种、小批量等特点，应用动态计划排产模式，对主计划、预排产、排产等精细化管理，实现优先级别计划的动态切换，这需要销售、研发、采购、生产等各部门高效协调配合，对企业的运营管理能力提出了很高的要求。半导体设备产业具有工序复杂、环境多样、精准度高、容错率低等特点。为满足半导体行业“精确复制”的要求，设备一旦定型不得随意更换内部的零部件，这要求半导体零部件企业在元器件采购和供应链的稳定性等方面进行严格管控，才能保证产品的持续供应。

（4）等离子体射频电源系统行业面临的机遇

*半导体工艺和芯片结构日趋复杂，对等离子体射频电源系统的技术要求显著提升随着半导体制程的持续演进，薄膜沉积、刻蚀等半导体工艺的复杂度和精细度日益提高，对等离子体射频电源系统也在不断提出更高、更复杂的要求。经过几十年的演进，等离子体射频电源系统从早期的基于变压器和电子管的射频电源及固定匹配网络演变成开关模式电源和自动调谐

匹配网络，实现可靠、稳定、高效的功率输送，并极大地减小了物理尺寸；其后，等离子体射频电源系统逐渐向数模混合控制、全数字控制发展，输出信号也从连续波信号拓展出了脉冲信号。

随着平面器件结构尺寸逐渐接近物理极限，半导体行业开始转向更为复杂的三维结构，等离子体射频电源系统已经成为支持芯片 3D结构复杂化的核心技术。3D存储器的层数持续增加、FinFET持续缩小对于等离子体射频电源系统的技术要求显著提升。如对于层数较高的 3DNAND，其刻蚀需要达到70:1的高深宽比，这要求等离子体中产生的活化离子能一直达到孔隙的底部，这需要等离子体射频电源系统通过产生多重射频和同步射频脉冲来控制离子能量和表面电荷，并且在微秒范围内精确测量、高速调谐射频功率。

*制程节点演进、芯片和工艺复杂度的提升带动等离子体射频电源系统用量及价值占比提升

半导体制造对等离子体射频电源系统工艺要求的提升，有效地丰富了等离子体射频电源系统的工艺体系，为设备厂商提供较宽的工艺窗口，并提高了等离子体射频电源系统在半导体制造设备中的价值占比。半导体设备全球市场规模成长至近千亿美元，同时随着制程节点不断演进、芯片和工艺复杂度的提升，薄膜沉积设备和刻蚀设备等半导体设备的需求将持续上升。等离子体射频电源系统作为薄膜沉积设备和刻蚀设备等半导体设备的核心零部件，其性能直接关系到薄膜沉积、刻蚀等环节中等离子体的浓度、均匀性和稳定性等，进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率。

薄膜沉积设备和刻蚀设备等单台设备中的等离子体射频电源系统的用量和价值占比随着半导体设备用量的增加也将呈整体提升态势。

*设备国产化为我国半导体行业发展的长期趋势

受欧美等国对我国半导体产业限制政策的影响，我国半导体产业的供应链安全面临严峻挑战，凸显出我国在半导体关键领域实现自主可控的必要性。半导体产业链国产化的需求特别强烈，国产化进程将进一步加速，半导体核心设备及核心零部件国产化将成为我国半导体行业发展的长期趋势。

（二）主要业务、主要产品或服务情况

1.主营业务情况

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公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。

2.主营产品及服务情况公司主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵，自研产品具体包括等离子体射频电源系统（等离子体射频电源及匹配器）、等离子体激发装置（远程等离子体源、射频离子源）、等离子体直流

电源、配件（滤波器、阻抗调整器等）；引进产品主要包括真空获得和流体控制分别所需的真空

泵、质量流量计等核心零部件；同时还为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务。

（1）自研产品

1）等离子体射频电源系统

等离子体射频电源系统是半导体制造中极其关键的专用电源系统，主要由等离子体射频电源和匹配器组成。其核心作用是通过产生高频电场，在晶圆反应腔体内将特定工艺气体电离，创造并维持高活性、高能量的等离子体，并利用等离子体的特殊性能实现薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等复杂半导体工艺。

公司通过自研先后迭代推出 CSL、Bestda、Aspen/Basalt、Cedar 四代等离子体射频电源系统

系列产品，其中 Bestda 系列、Aspen/Basalt 系列及 Cedar 系列产品主要面向半导体领域，具体如下：

* Cedar系列

项目 Cedar系列

产品类型 Cedar系列等离子体射频电源系统

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图示

制程情况该系列产品可支持5纳米及以下半导体制程，部分机型小批量试产* Aspen/Basalt系列

项目 Aspen/Basalt系列

产品类型 Aspen 系列等离子体射频电源 Basalt系列匹配器图示

制程情况该系列产品可支持7-14纳米半导体制程，已量产* Bestda系列

项目 Bestda系列

产品类型 Bestda 系列等离子体射频电源 Bestda系列匹配器图示

制程情况该系列产品可支持28纳米半导体制程，已量产* CSL系列

项目 CSL系列

产品类型 CSL系列等离子体射频电源 CSL系列匹配器图示

制程情况该系列产品可支持90纳米及以上工业制程，已量产*公司等离子体射频电源系统的主要应用领域

公司的等离子体射频电源系统被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去

胶、键合等环节，以及光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节，应用领域具体如下：

行业半导体领域非半导体领域领域工艺离子清洗等离子薄膜沉积刻蚀键合真空镀膜流程注入去胶体清洗

PVD 、 PECVD 、 ICP 刻 蚀 PECVD 、 等离子

设备 PEALD 、 LPCVD 、 机、CCP 离子注 去 胶 键合 PEALD、PVD 体清洗

类型 HDPCVD 入机 机 设备设备 刻蚀机 等设备 机

2）其他自研产品及配件

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除自研的等离子体射频电源系统外，公司其他自研产品包括：*电源类产品：等离子体直流电源等；*等离子体激发装置：远程等离子体源、射频离子源；*配件：等离子体射频电源功率

计、滤波器、阻抗调整器等，具体如下：

项目其他自研产品及配件

半导体、光伏、显示面板、精密光学等领域中的薄膜沉积、镀膜、等离子体清应用场景洗产品定义产品系列图示电源类

能够输出恒定直流电压和电流，通 Ginkgo等离子体直

过直流电压产生和维持等离子体的系列、流电源

工艺电源 Maple系列等离子体激发装置

一种用于产生等离子体的装置，其特点是等离子体的产生腔与晶圆所

在的反应腔隔离，故名“远程”。其在远程等离子 Torrent 系一个专门的产生腔室中通过等离子体源列体射频电源系统将气体电离形成等离子体，并将产生的等离子体传输到晶圆所在的反应腔一种由一个或多个等离子体射频电

源、匹配器及感应线圈等组成的用 ICP 系列、射频离子源

于激发等离子体的模块化装置，大 CCP系列多应用在工业中的大尺寸镀膜中主要配件

一种由多阶 LC 滤波电路组成的射

频滤波装置，大多应用在半导体加 Calamus 系滤波器

热盘输入端，用于射频隔离、稳定射列频等离子体的阻抗一种由高频阻抗可调电路和低频谐

振低阻抗电路组成的阻抗可调装 Granite 系

阻抗调整器置，大多应用在半导体等离子体腔列

体内硅片托盘的阻抗调整，控制等离子体托盘的接地阻抗

（2）引进产品

公司基于等离子体发生条件和反应腔真空环境的实际需求，引进用于获得和维持真空环境的真空泵、用于流体精确控制的质量流量计以及用于真空镀膜装备的等离子体直流电源等核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案，打造核心零部件供应平台，具体如下：

类型产品示意图具体功能

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在反应腔获取真空环境的核心零部件，用于在反应腔中真空产生、改善和维持真空环境。主要包括干泵、分子泵、真空泵

获得低温泵三大类，在薄膜沉积、刻蚀、离子注入等对真空环境要求较高的干法工艺中应用广泛

反应腔供气系统的核心零部件，用于对气体等进行质量流体质量流流量测量和控制，要求响应速度快、精确度高、稳定性控制量计好、耐腐蚀性好、使用寿命长。应用工艺包括薄膜沉积、刻蚀、离子注入等

在反应腔内使用等离子体直流电源对靶材施加电压，使等离子

真空气体离子化，产生等离子体。这些离子在电场的作用下体直流

镀膜加速并轰击靶材，溅射出原子或分子，最终沉积在基材电源上，完成镀膜。

（3）技术服务公司技术服务主要系为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务。等离子体射频电源系统在晶圆厂使用过程中会出现老化、故障等问题，需要及时进行更换或维修。国内主要晶圆厂被美国商务部列入实体清单后，无法继续向原海外设备供应商采购备件或申请维修服务，公司为此承接了部分进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修业务。

（三）主要经营模式

1、盈利模式

公司主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的

研发、生产、销售，通过向半导体、光伏、显示面板、精密光学、其他工业等领域的客户销售以等离子体射频电源系统为代表的自研产品，以及引进真空泵、质量流量计等真空获得和流体控制相关的核心零部件，同时公司为晶圆厂和设备商提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务，以此实现收入和利润。

2、采购模式

公司等离子体射频电源系统等自研产品所使用的主要原材料包括电容、电阻、芯片等电子元

器件、功率模块等电气件以及钣金件等结构件。公司在研发过程中结合技术参数、客户要求、物料来源等因素综合考量原材料的选型，通过有针对性的研发设计调整，不断提高产品的性能和品质。同时，公司在采购中积极推进国产化率的提升，注重使用本土元器件，以促进国产替代。公司引进产品主要采购真空泵、质量流量计等真空获得和流体控制相关的核心零部件，公司根据客户需求向相关品牌的境内外供应商采购，其中境外供应商直接发货至公司指定港口，由公司办理清关等事宜；境内供应商发货至公司指定地点。

公司物料需求部门基于安全库存或销售预测的计划需求，提出采购申请。供应链管理部门根据审批后的采购申请，结合原材料的耗用情况、价格波动、使用频率等多方面因素与合格供应商签订单次采购合同或年度框架协议，执行采购计划。公司已建立稳定、高质量的供应商体系，关注供应商经营资质、生产能力、技术水平、质量管控水平以及产品价格等多方面因素，并结合响应速度、付款条件等对供应商进行综合评定，将符合要求的供应商列入合格供应商名录，并在供货阶段实行供应商动态管理，筛选优质供应商，持续优化采购渠道，提高原材料供应的效率和稳定性。

3、生产模式

公司等离子体射频电源系统等自研产品主要采取以销定产的生产模式，根据供货要求、产品生产周期、销售预测等因素对生产排期和物料管理进行统筹安排，协调生产、采购和仓储等相关部门保障生产的有序进行。公司的生产流程主要是部件加工及装配、软件烧录、检测和工艺调试

17/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告等，由制造中心对原材料进行装配、线路连接、产品测试，确保产品性能稳定之后封装入库。为提升生产效率，公司将少量工序委外加工，包括 PCBA和线缆定制工序。

4、销售模式

公司产品销售采取直销模式，下游客户主要为半导体、光伏、显示面板、精密光学等行业的设备商，公司向其直接销售与设备配套的等离子体射频电源系统等自研产品，以及真空泵、质量流量计等引进产品。对于等离子体射频电源系统等自研产品，公司需经过客户严格的调查评估、验厂考察等认证程序，才能进入客户的合格供应商体系或目录。在与客户合作对接过程中，公司销售、研发、工艺等部门与客户开展深入沟通，洽谈和确定客户需求信息，拟定合适方案；同时，品质部门、采购部门、生产部门也会参与客户产品的开发，根据新产品的特殊需求，优化产品布局和结构并达成最终方案。公司根据正式订单及客户预测相结合的方式进行生产排产，并按交货期向客户交付。对于真空泵、质量流量计等引进产品，公司根据客户具体需求和订单约定向客户直接销售引进产品。

5、研发模式

公司将技术创新作为长远发展的核心驱动力，长期坚持自主创新，通过不断地自主研发来实现技术突破。公司建立了完善的产品及技术研发应用规范，已形成健全的研发体系，制定并有效实施《研发项目管理制度》《样机管理制度》《知识产权管理制度》《研发费用核算管理制度》

等内部控制制度，覆盖公司研发活动的各环节。

公司的研发由研发中心组织，具体包括研发项目的立项、项目实施及验证、交样结题及项目结案等。公司研发模式主要系结合客户主要制程与研发方向需求，同时以公司产品种类和系列为基础进行研发创新。在完成研发样品后，公司会及时向客户进行送样测试，并依据测试反馈结果以及客户提出的新需求，对产品的性能、参数和指标进行针对性调整。

新增重要非主营业务情况

□适用√不适用

二、经营情况的讨论与分析

公司始终致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司，为半导体设备国产化贡献中国“芯”力量。报告期内，面对复杂多变的外部环境与半导体行业周期波动，公司坚守发展战略，全体员工凝心聚力、实干奋进，在经营业绩、技术创新、质量提升、生产制造与治理能力上均取得扎实成效。公司以市场和客户需求为导向，优化产品布局，强化技术攻关；

坚守质量底线，完善全过程质量管控，产品品质与可靠性稳步提高；管理体系不断健全，规范化水平显著提升，高质量发展迈出坚实步伐。

（一）报告期内主要经营情况

1、营业收入分析

报告期内，公司实现营业收入27836.07万元，包括自研产品24272.21万元，主要以拓荆科技、中微公司、微导纳米、北方华创等客户为主，同时，屹唐股份、菲沃泰等也在逐步导入放量；

引进产品3136.29万元，同比有所下降，主要系海外采购周期延长所致；技术服务收入为427.57万元，主要系公司来自半导体领域客户的技术服务收入同比上升。

2、产品研发及客户拓展方面

*报告期内研发投入情况

公司一直以来高度重视研发工作，结合行业发展趋势和客户需求持续推进技术创新，不断加大研发投入。报告期内，公司研发费用为4575.24万元，同比增长5.64%，占营业收入比例达16.44%。

报告期内，公司不断通过内生研发优化现有产品并拓宽产品品类，不断完善研发管理机制和创新激励机制，优化研发环境；同时，密切追踪最新的技术及发展趋势，开展对先进技术、先进工艺的研究，为技术突破和产品升级提供重要的基础和保障。

*报告期内公司主要产品在主要客户处的产品验证及产业化进展

报告期内，公司所承接的研发产品数量不断扩大。随着合作产品数量尤其是验证导入中的产品数量的不断增加，公司主要客户的新增定制需求均在不断增加。公司将持续加大研发投入力度，承接更多客户的需求。

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3、供应保障方面

公司已建立稳定、高质量的供应商体系，关注供应商经营资质、生产能力、技术水平、质量管控水平以及产品价格等多方面因素，并结合响应速度、付款条件等对供应商进行综合评定，将符合要求的供应商列入合格供应商名录，并在供货阶段实行供应商动态管理，筛选优质供应商，持续优化采购渠道。同时，为保证生产的连续和稳定性，公司综合考虑原材料的采购周期、供应商的供货能力、采购量起订门槛等因素，对常用材料建立安全库存机制。除此之外，自2021年起，公司先后实现真空电容、陶瓷电容等元器件的国产化应用，目前已确定上游元器件全国产化方案，持续推进全面国产化验证。

4、运营管理方面

公司高度重视质量管理，依据 ISO9001及相关法律法规要求，结合公司实际情况，并参考国外大厂标准严格要求，建立了以经营流程为管理轴心的内部管理制度和标准化、规范化的质量管理体系。同时，为进一步提升客户的满意度，提高公司产品品质，公司开发了自主测试平台，公司所有产品出厂前会经过应力测试、老化测试等一系列测试，为客户减少了验证试错的时间，节约了试错成本和沟通成本。另外，公司不断优化信息技术防护措施，加强安全保密管控，切实提升网络安全和数据安全治理能力。

5、知识产权保障方面

公司高度重视科技创新与知识产权保护工作，为加强对技术资料保密工作的统一管理及防止技术泄密，公司制定了《企业秘密管理制度》《商业秘密管理办法》《知识产权管理办法》，建立了有效的知识产权保护管理体系。公司取得了第三方出具的《知识产权管理体系认证证书》，认证公司符合《企业知识产权合规管理体系要求》（GB/T 29490-2023）的国家标准。公司取得了基于 ISO56005 的《创新与知识产权管理能力》2级等级证书。截至报告期末，公司已授权专利共

345项，包括发明专利144项，实用新型专利98项，外观设计专利103项；截至报告期末，公司

已累计申请523项专利，其中发明专利286项，占比54.68%。

6、人才队伍建设情况

截至报告期末，公司员工总数达454人，较上年同期增长21.07%。公司根据未来技术发展规划和现有人才储备状况，将不断加强人才队伍的建设工作，通过各种方式重点激励在技术研发、产品创新、专利申请等方面做出贡献的研发人才。公司持续引进各类专业人才，包括招募更多具备前瞻性、共性基础技术研究能力的技术人才，注重国内外高端专业技术人才、各领域高端管理人才的引进，优化人才结构，打造一流的人才队伍，满足公司快速发展的需要。此外，公司还将进一步扩大与有关高校科研院所的合作，在产、学、研、训等多种合作模式的基础上，内外并举，实现未来可持续发展。

7、公司募投项目建设进展情况

报告期内，沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目按计划稳步推进中；截至本报告披露日，该项目已通过客户验厂审核。营销及技术支持中心项目中的北京恒运昌已处于正式运营阶段，上海恒运昌、武汉恒运昌分别于2026年4月及7月注册成立。半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目和营销及技术支持中心项目的合肥中心处于前期准备阶段。公司将密切关注行业发展趋势及市场需求变化，在确保项目质量与预期效益的前提下，加快推进募投项目建设。

8、内部治理方面

报告期内，公司遵循《公司法》《证券法》《上市公司治理准则》等法律、法规和规范性文件的要求，持续优化公司治理结构，建立健全内部控制体系，提升公司规范运作水平。报告期内，公司召开了2次股东会、2次董事会、5次董事会审计委员会、2次董事会薪酬与考核委员会、2次

董事会战略委员会、2次独立董事专门会议。公司以《公司法》《证券法》《科创板上市规则》和《公司章程》等法律法规及规范性文件为指引，持续推进治理体系建设，确保经营管理决策兼具

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科学性、合理性与合规性，全面提高公司治理效能和规范化水平，为战略目标的顺利达成夯实基础。

9、对外投资方面

（1）德国恒运昌：为进一步拓展海外市场、搭建海外研发平台、建设海外购销系统、推进国际化进程，公司于2025年11月在德国以境外直接投资的方式设立全资子公司德国恒运昌。在未来发展规划上，子公司德国恒运昌将作为恒运昌全球化布局中的重要战略支点，承担海外研发、技术融合、市场拓展三大职能。

（2）上海恒运昌、武汉恒运昌：为推进募投项目的建设实施，公司分别于2026年4月及7月设立全资子公司上海恒运昌、武汉恒运昌，并新增前述子公司作为募投项目“营销及技术支持中心项目”的实施主体之一。

（3）北京恒运昌：为提高募集资金使用效率，公司新增全资子公司北京恒运昌作为募投项目“营销及技术支持中心项目”的实施主体之一，并使用不超过人民币4000万元的募集资金向北京恒运昌增资。全部增资完成后，北京恒运昌的注册资本变更为5000万元人民币。

（4）辽宁聚芯智能装备创新中心有限公司：为推进公司研发及技术的前沿创新发展，深度参与先

进机台前沿创新研究，公司于报告期内以自有资金500万元参与共同发起设立辽宁聚芯智能装备创新中心有限公司。该公司由沈阳产业投资发展集团有限公司与国内集成电路龙头企业拓荆科技共同牵头，遴选含公司在内的多家薄膜设备、零部件供应商及合作伙伴投资设立。

非企业会计准则财务指标变动情况分析及展望

□适用√不适用

报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项

□适用√不适用

三、报告期内核心竞争力分析

(一)核心竞争力分析

√适用□不适用

1、客户资源优势

目前公司是国内极少数实现批量交付半导体级等离子体射频电源系统的企业，公司已实现对拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商的批量供货。除半导体设备企业外，公司也已通过中芯国际等国内龙头终端晶圆厂的准入审核。此外，公司还在积极推进其他多款等离子体射频电源、匹配器、远程等离子源的后续验证工作，以期建立更为密切的合作关系。

核心零部件影响半导体设备运行的整体性能，头部效应显著，领先通过认证并批量交付的企业更容易获得国产替代资源并形成正向反馈。由于半导体行业验证周期较长，且晶圆厂要求“精确复制”的管理模式，使其确保在全球不同工厂生产产品质量和成品率，因此核心零部件供应商一旦与主要半导体设备客户建立合作关系，合作关系通常会非常稳定，具有较强的客户粘性，新进入者对合作关系的影响相对较小。公司等离子体射频电源和匹配器产品已经全面覆盖下游头部客户，这些稳定的合作关系将进一步巩固和提升公司在行业中的地位，形成良性循环，为公司在半导体设备领域的持续发展提供了坚实基础。

2、产品优势

历经十二年，公司先后推出 CSL、Bestda、Aspen三代产品系列等离子体射频电源系统，成功打破了美系两大巨头在国内长达数十年的垄断格局。公司已量产的产品已达国际龙头企业的次新一代同等技术水平。第四代产品 Cedar系列等离子体射频电源系统将射频电源和匹配器整合为一体化平台，可支撑5纳米及以下更先进制程，截至报告期末已达到部分机型小批量试产阶段。公司凭借多年以来产品的优势积累，在国产半导体设备的薄膜沉积、刻蚀等关键细分领域持续扩大市场占有率，实现对进口零部件的国产替代，产品质量和性能得到了客户的高度认可，建立了良好的口碑，在半导体级等离子体射频电源系统领域占据领先地位。半导体设备及零部件行业具有“精确复制”的要求，等离子体射频电源系统的量产必须确保高度稳定和可重复的生产工艺，且需

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经过精密的校准和严格的测试流程，以确保性能的一致性和长期稳定性。在此严苛要求下，公司已具备成熟的规模化量产能力，并成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。

3、技术优势经过十多年的持续研发、不断创新和积累，公司以技术发展、行业需求为双导向，建立了“基石技术+产品化支撑技术”的技术体系，一方面从测量、控制及架构构建的底层通用的3大基石技术，并基于基石技术，结合半导体设备中应用，特别是先进制程中更快速、更精准、更稳定的应用诉求和实现难点，发展出9大产品化支撑技术，实现了突破高端等离子体射频电源系统的先进设计、测量和控制等难题，掌握了信号采样及处理、相位同步锁定、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。通过公司的等离子体射频电源系统产品，下游客户的设备实现了将射频赋能等离子体过程控制在10毫秒等级。射频快速响应能够使等离子体在最短时间内达到稳定状态，实现对薄膜厚度和膜厚均匀性的精准控制，是设备运行的稳定性和产品良率的关键。截至报告期末，公司拥有已授权发明专利144项，境内外在申请发明专利126项，在产品迭代方面积累了丰富的技术储备。

4、研发优势

随着半导体制程的一路发展，刻蚀工艺中更高的深宽比、芯片中叠层间更高的一致性、原子级尺寸的逻辑结构和更复杂 3D 形状结构等特性驱动着新的工艺、新的材料以及其他结构和工艺

的更深层次的改变，这些改变的实现都需要有等离子体射频电源系统的深度参与。公司在自主创新的基础上，注重与科研院所、高等院校等外部机构的合作，坚持产学研一体化的创新研发机制，为持续发展提供有力保障。公司积极与哈尔滨工业大学、北京航空航天大学、西安电子科技大学、大连理工大学、广东工业大学、深圳技术大学、岭南师范学院、西南交通大学等国内高校，通过共建实验室、项目合作等方式开展产学研合作，不断提升公司的研发水平和能力。

5、团队优势

公司汇聚了一支在等离子体射频电源系统及半导体核心零部件行业拥有二十年以上从业经验

的国际化团队，集合全球智慧，提供创新设计和产品，拥有深厚背景和丰富经验，对半导体技术的发展脉络、市场需求变化以及行业趋势有着深刻的认识和精准的把握。团队成员不仅在技术研发方面拥有卓越的能力和敏锐的洞察力，而且在运营管理和市场拓展等方面有着长期的从业经历，对半导体行业具有深刻理解和具有丰富的实践经验，是公司持续创新和保持竞争力的重要基石。

(二)报告期内发生的导致公司核心竞争力受到严重影响的事件、影响分析及应对措施

□适用√不适用

(三)核心技术与研发进展

1、核心技术及其先进性以及报告期内的变化情况

经过十余年的持续研发、不断创新和积累，公司以技术发展、行业需求为双导向，研发了多项核心技术。本报告期内，公司新增一项产品化支撑技术“匹配器宽频扫频匹配技术，具体情况详见下表：

技所核心序核心技术处技术技术先进性的具体表征号术来阶分类源段有效解决国内射频测量技术所使用的模拟系统和半数字系

等离子统存在因反射能量、非线性器件温漂及电抗所带来测量精度自批

体电源误差问题。基于逻辑电路进行运算，规避了非线性元件引入基1主量全数字的温度和功率影响，可用数学模型准确来建模，直接通过模石研生

测量技型中进行参数校正，实现了阻抗精度小于1%，在极宽的功率技发产

术动态范围内都能保持精度。同时，具有较强的可扩展性。可术以在基本算法的基础上添加不同的应用功能算法

2等离子自批可适应沉积不同的材料、刻蚀不同的深度的沟槽、不同的反

体电源主量应温度、腔体结构等复杂晶圆工艺中所需的功率跳变，并对

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全数字研生每个功率水平进行稳定控制。该技术可以根据电源的工作频环路控发产率自动调节信号采集和反馈的间隔时间，最短可达微秒级制技术别。更频繁的采样次数可以提升传输及调整的效率，最终将整体等离子体射频电源功率调整响应时间控制在10ms以下，而国际上目前等离子体射频电源控制采用多模式控制策略，电源功率调整时间为 10ms 至 30ms。通过多环电路切换与启动相应环路控制策略，使等离子体射频电源能有效适应不同的脉冲水平控制和不同负载下的变化

国内的等离子体射频电源起步较晚，很少有针对等离子体的创新设计，现有设计在应用时在功放效率和更宽的频率范围之间难以两全其美。该技术结合线性功放的控制特点和开关等离子自批

功放的高效率，寻找一个合适的平衡方案，应用多级谐振匹

3体电源主量配设计提高功放的转换效率和拓展工作频率带宽，可响应高

高效功研生

端刻蚀工艺对脉冲等功能的要求，让脉冲在不同功率水平下放技术发产

进行跳变成为可能，消除功放对等离子腔体阻抗的敏感性，减少脉冲过程中等离子阻抗的不稳定性。同时，采用模块化设计功放，便于拓展功率和合成功率该技术在全数字测量基础上，采用阻抗分析快速建模匹配算基于模自批法，将匹配过程变成误差寻零，优化参数调整匹配轨迹，实

1型的匹主量现快速匹配。克服了原有的寻优算法对于预设点位置选择的

配器调研生高度依赖性问题。通过配置不同的优化参数实现匹配器的匹谐算法发产配性能优化，还可使匹配器的设计方案适用于不同系统和场景该技术的应用使得从扫频到锁定输入信号的波形的总体时

频率与 间达到 1ms 级别，步进精度达到 0.1 度，能够即时、高速、自批

相位同大范围锁相，输入与输出的信号相位高精度相同，且适用于

2主量步锁定任一种周期性波形的信号来源。同时，还可以实现全频段锁

研生

运行技频，有效提升频率调节的效率，加快锁定输入信号相位的工发产

术作过程，提升薄膜沉积的厚度的一致性和刻蚀深度和方向的精确性

该技术采用设备电弧检测控制电路与PID电弧运算电路分隔

等离子设计，由双运算模块个别且独立进行，通过数据交互、数据产品自批

体电弧 共享、PID 运算分段控制等方式交流信息。两大电路模块既化支3主量与检测能独立运行，亦能严格进行同步多工处理，确保运作数据的撑技研生

控制技正确性和数据传输的稳定性，避免电路不同步关断作业造成术发产

术整体电路错乱运行，改善了原有依赖人工配合检测仪器进行人为作业管控的情况创新了等离子体射频电源等离子体偏压系统的数据采集和自适应

自适应偏置控制技术，应用于先进的等离子刻蚀工艺来控制偏置控自批

刻蚀的等离子轰击能量，可屏蔽脉冲过冲和电路延时引起的

4制与脉主量电路信号畸变。通过多环路控制的形式，可以使得偏置电压

冲测量研生

和功率同步控制，除保证峰值功率的调整精度之外，还进一同步技发产

步提高偏压控制的响应时间，提升半导体工艺制程的稳定性术和可重复性

该技术基于不同频率的阻抗补偿，利用实时阻抗测量的结果自批进行阻抗的转化，把复杂的阻抗转化为简单单调的相位零点

5快速调主量趋近。通过实时测量不同频率下的阻抗和驻波比，搭建适用

频技术研生于匹配器与电源输出端的算法结构模型，利用建模的方法分发产析不同频率下的阻抗并预测下一步的执行频率点，在不同的功率水平脉冲触发不同的调频环路，有效缩短调谐时间，整

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体调谐时间小于 100ms

该技术解决了等离子体在点燃和熄灭开关切换期间，因阻抗变化剧烈而无法快速功率匹配的难题。不同的功率之间进行切换的时候，可以通过不同控制环路的调整，实现稳定过渡，脉冲与自批

保证峰值功率的调整精度在±1%，克服了不同功率水平切换

6脉冲测主量后突然上升过多或下降过多，以免对晶圆造成击穿，并确保

量同步研生脉冲切换过程不会造成等离子体熄灭。节省了电源从开启和技术发产

关闭的时间，可以从“待机”状态中快速进入工作状态，满足了低功率水平维持等离子状态，高功率水平有效运行的工艺要求该技术主要解决直流驱动电源输出在快速响应负载或者脉直流驱自设

冲负载下的快速响应问题，保证后端射频功放在脉冲条件下

7动电源主计不会出现峰值波形抖动；解决直流脉冲输出电源的对于硬弧

开关控研验

的快速检测和处理，实现在等离子放电过程中电荷累积放电制技术发证的处理，使输出功率能稳定持续直流驱自设

8动电源主计该技术解决直流驱动电源快速升压速度慢的问题，创新采用

多阶升研验新型的构架来实现电压快速上升和下降达到毫秒以内压技术发证该技术主要解决匹配器在宽频范围内自动识别电源输出频小

匹配器 自 率的问题，通过接收 VI Sensor 的采样信号，在起始至截止批

9宽频扫主频率区间内实时与本地生成的多个频率正弦波进行乘积累量

频匹配研加比较，从而准确锁定与电源频率一致的响应频率并输出为生

技术发当前频率，再计算出当前频率对应的阻抗数据，进而实现自产动匹配国家科学技术奖项获奖情况

□适用√不适用

国家级专精特新“小巨人”企业、制造业“单项冠军”认定情况

√适用□不适用认定主体认定称号认定年度产品名称深圳市恒运昌真空技术有国家级专精特新“小巨2022等离子体射频电源系年限公司人”企业统、滤波器深圳市恒运昌真空技术股单项冠军企业2024年等离子体射频电源系统份有限公司深圳市恒运昌真空技术股国家级专精特新重点“小2024年等离子体射频电源系统份有限公司巨人”企业

注：国家级专精特新“小巨人”企业证书已续期，有效期为2025年7月1日至2028年6月30日

2、报告期内获得的研发成果

截至报告期末，公司承担了国家半导体产业的基础再造和重大技术装备攻关任务，先后承接

3项国家级重大专项课题。截至报告期末，公司累计申请专利523个、累计获得专利345个。

报告期内获得的知识产权列表本期新增累计数量

申请数（个）获得数（个）申请数（个）获得数（个）发明专利2521286144实用新型专利52612998外观设计专利22108103

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软件著作权002020其他51210962合计3761652427

3、研发投入情况表

单位：万元

本期数上年同期数变化幅度（%）

费用化研发投入4575.244330.845.64资本化研发投入000

研发投入合计4575.244330.845.64

研发投入总额占营业收入比例（%）16.4414.24增加2.20个百分点

研发投入资本化的比重（%）000研发投入总额较上年发生重大变化的原因

□适用√不适用研发投入资本化的比重大幅变动的原因及其合理性说明

□适用√不适用

4、在研项目情况

√适用□不适用

单位：万元进展或技预计总本期序累计投阶术具体应用项目名称投资规投入拟达到目标号入金额段水前景模金额性平成果

Aspen系已列等离子实体射频电

采用第三代半导体的高可

现 40kHz 源采用全靠性设计 覆盖 、

产 400kHz、2MHz 数字设、

业 13.56MHz、27.12MHz 计，实时、化 40.68MHz、60MHz 国 阻抗测量等频

应 E D 际 确保输出Aspen 率，创新应用 类、 类系 用 设 的高一致和平衡功放结构、1kW-

1列等离子95001133.638032.77， 20kW 备 性和高可等功率范围，拓展

体射频电 并 CEX HALO Multi- 同 靠性。可了 、 、源项目 持 Level Pulsing 类 广泛应用、

续 Synchronize、Tuning 水 于半导、

拓 BVC 平 体、光等功能，满足 14 纳展伏、微机

米及以下工艺制程需求，工

应用于 ALD、CVD 电系统制、刻蚀艺程中的刻等工艺

应蚀、等离用子体增强化学气相

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沉积和物理气相沉积等。

已 Basalt系列实自动匹配现

产 覆盖 40kHz、400kHz 器采用智、

2MHz 13.56MHz 能匹配算业 、 、化 27.12MHz、40.68MHz 法，提供、 国应 60MHz 快速、精等多个频率， 际Basalt 用 1kW-20kW确可靠的等多功率等设系阻抗匹配

25000811.114742.93，级，采用感性/容性负载应备列匹配器可广泛应

并 用设计，发展了基于 T模 同项目用于半导

持 型和 L模型的匹配器调谐 类

体、微机续算法，优化匹配路径，满水

14电系统等拓足纳米及以下工艺制平

的刻蚀、

展 程需求，应用于 ALD、工 PVD、CVD 离子注等多种工艺

入、化学艺气相沉应积。

用

已 Torrent系实列远程等现离子体源产采用全数业字设计，化国

采用全数字架构，内含等可广泛应应际

Torrent 离子体腔体，电源和匹配 用于半导用器。覆盖 200-6000W 设功 体、光伏系列远程

32500332.321878.13，率范围，解离率达95%备，和微机电

等离子体并同等离子体点火率达系统制程

源项目持100%类，可应用于刻蚀、清中的刻续水

洗、表面处理等多种工艺蚀、腔室拓平

清洗、表展

面改性、工等离子体艺增强原子应层沉积。

用直流电源

在额定功率的10%到拥有先进

100%国范围内，在恒定设定的电弧抑

际样点下相邻两次运行间的输制技术和设

机出功率重复性为0.1%，精极低储

4直流电源2000235.441384.57备验度达到设定点的1%或全能，内部

系列项目0.2%同证额定功率的。实现抑集成一个类

中弧管理功能，提高产品实或两个电水用性，输出特性及可靠源变换模平性，优化设计方案块，可分别独立使

25/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

用或并联输出。广泛应用于晶圆制造中的物理气相沉积和平板显示等应用中的大面积连续镀膜。

Calamus 系已列滤波器实可实现

现 200K~60M

产 Hz 多频率业精准滤化国波，凭借应际其宽频覆

Calamus 用 覆盖 200K~60MHz多频 产 盖、高稳

5系列滤波1500148.471079.51，率，实现高集成度，高输品定性及优

并入阻抗，高带宽，高隔离同器项目异的抗干持度，高一致性的目标。类扰性能，续水具体适配拓平

刻蚀、离展

子注入、工化学气相艺沉积等关应键工艺环用节。

CSL系列离子源可完成钝化

膜沉积、硅片预处

理、边缘

CSL 国系列离子源聚焦光伏 刻蚀、功际

样与半导体领域核心需求，能膜制备CSL 产系 机 具备高密度、大面积均匀 及 TCO膜

6列离子源100069.56631.37品验输出、低损伤、高稳定、辅助沉积

同

项目证低能耗优势，性能目标为与改性，类中达到或超越国际同类产适配薄膜水品。硅、钙钛平矿电池应用，支撑器件研发与量产，打破进口依赖。

7 CSL射 1200 266.84 863.20 样 CSL射频配件建成覆盖功 国 CSL射频

26/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

频配件项 机 率分配器、VI 传感器等 际 配件作为目验核心射频配件的研发制造产半导体设证体系，突破高精度、高稳品备领域新中定性关键技术，全面适配同一代核心刻蚀、沉积等半导体核心类零部件，工艺设备，实现射频协同水是支撑设控制与精准监测能力升平备向高精级，有效解决制程稳定性度、高稳不足、关键部件依赖进口定性升级等行业痛点。的关键，在刻蚀、沉积等核心工艺设备中承担协同联

动、精准监控使命已实

全新开发 Bestda平台，全 广泛应用现

新设计 Bestda平台整个原 于半导产理拓扑，采用三相体、光业 208VAC输入，频率设计 伏、平板化国

低频 40kHz、中频 显示和微

Bestda 应系 400kHz 际、高频 13.56MHz 机电系统用设

列射频电三个频率段，功率覆盖制程中的

8源/，

匹配 1500 300.74 994.54 500W-5000W备的电源。开蚀刻、等并同

器二次优 发全新 Bestda Match 控制 离子体增持类

化项目 平台，采用 L型匹配网络 强化学气续水

设计出 400kHz、 相沉积、

拓 13.56MHz 平的单频匹配 物理气相展

器、Combo系列双频匹配 沉积、原工器，与 Bestda RFG 平台配 子层沉积艺套使用。等。

应用

采用行业内领先的MEMS气体质量

微桥结构方案，内置加热流量计在

器和温度传感元件，利用现代工业热传递原理实现对气体流国和科研中

样量的精确测量，能够准确际是不可或品测量气体的质量流量和流

MFC 产 缺的关键

MEMS 改 速，能够实现微米级的加

935043.66224.16品设备，能造工精度，保障芯片能够提

传感器项同够提供准目升供稳定重复且可靠的测量类确可靠的

级 结果基于MEMS 微桥结水流量测量

中 构气流传感器芯片的MFC平数据，确产品，其具有的高响应速保生产和

率、高精度、高灵敏度、实验的顺

高稳定性，使其特别适合利进行。

应用于半导体晶圆制造中

27/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

的光刻、薄膜沉积、刻

蚀、离子注入等工艺中，需要精确控制各种气体的

流量的场景，能够满足半导体制造对气体流量控制

的高精度、快速响应和稳定性的要求。

拓扑原理基于现有

400kHz/1000W平台，采

用单相市电输入，机箱设计为 19 寸 2U结构。基于现有可广泛应

AmazingII13.56kHz/1000W用于半导

控制平台，采用 T型匹配国体、光网络，设计出CSL 系 样 40kHz/1000W 际 伏、微机的射频匹配

列射频电 机 器；CSL 设 电系统制原平台做了以下

10源/匹配370110.64350.19备程中的刻验升级：采用闭环电机系

同蚀、等离

器二次优证统，包括一体化闭环电类子体增强

化项目中机，闭环电机驱动系统，水化学气相

开发目标是采用 T型匹配

L 平 沉积和物网络或者 型匹配网络，理气相沉辅以先进的阻抗变化系积等。

统，设计功率水平范围

13.56MHz/1.5kW/3kW/5k

W/8kW的射频匹配器，简化设计机械部件，国产化器件全覆盖。

Cedar系列射频电源将向更

多、更广泛的应用领域拓展，应用部

覆盖 40kHz、400kHz 在需要更、 国

分 2MHz 13.56MHz 快的运算、 、 际

Cedar 机系 27.12MHz、40.68MHz 反应速、 设型列射频电

11 5000 763.89 1347.28 60MHz度，更先等频率，在备小进、通用

源系统项 Aspen系列功能基础上， 同批的控制功

目增加高端功能，应用于类量 ALD PVD CVD 能和通讯、 、 等多 水试接口等应种工艺平

产用场景，进一步提升镀膜，刻蚀，光伏，清洗等工艺参数及良率。

28/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

Agate系列射频功率计采用全数字设计，可广泛应用于国

半导体、开发多种常用频率的功率际

样芯片、移计，测量精度和范围达到产Agate系 机 动通信、

12列射频功22049.73124.71行业先进水平，广泛应用品验微机电系

于功率测量及校准、生产同率计项目证统制程中

测试及排障、质量控制及类中的功率测标准认证等。水量与校平

准、生产测试与排

障、质量控制与标准认证等。

射频大数据与决策系统包含三大核心

产品：

IOT平

（1）提供软硬件一体化台、大数

V1. 解决方案。硬件支持高频 据和 AI平

0数据采集、软件支持设备国台。通过

版管理、协议管理、数据查际高频数据

射频大数本询等，实现异常打火预测产监测，结据与决策

132487.1

已

181.96299.75等功能。（2）提供以产品合数据治系统7上

(RadioFu 品质量为核心的研发、生 同 理、专题线

sion) 产、售后、供应链看板和 类 统计分析项目

测多维度查询功能等，及生水等。开展试 产及售后侧的 AI故障预 平 预测性维中 测，AI故障根因分析、视 护、智能觉识别等高阶功能。匹配、强化学习等，为用户提供强大的数据智能服务。

固态匹配器采用电子可变国固态匹配

样 电容(EVC)的方式替代传 际 器支持

Jade系列 机 统的真空可变电容 设 13.56 MHz

14 匹配器项 575 98.72 106.55 设 (VVC)，通过控制电子开 备 等高频射

目计关阵列调节电容容值，实同频信号，中现阻抗调谐。电子开关阵类满足先进列具有快速切换的特性，水制程对等

29/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

其响应速度达到 us级，同 平 离子体密时具备寿命极长、体积小度和离子等优势，支持 13.56 MHz 能量的精宽频射频输出，满足先进确控制需制程对等离子体密度和离求。集成子能量的精确控制需求。智能控制算法，支持多级功率输出，实现阻抗实时自适应，适应工艺参数的快速变化。固态匹配器响应迅速，可快速适配阻抗变化，适配高频应用场景，同时体积

小、无机械磨损，便于集成化设计并降低后期维护成本。

超越传统硬件局限实现阻抗利用深度学习解决高频物自适应匹完理场中极度复杂的非线性配的微秒

成与瞬态控制问题，使用固级瞬时预模 态电容和 AI 模型后，缩 国 测与调AI 型 短电源-匹配器联动调节时 际 谐、电弧

Model- 开 间至 1ms内，达到微秒级 设 （Arc）的Based RF

15 Impedanc 530 28.53 28.53 发 匹配，存量机械电容设备 备 事前毫秒e ， 达到 10ms 内；降低工艺 同 级预警与Matching 持 波动峰值，工艺切换时最 类 闭环抑System 续 大反射功率稳定降低，减 水 制，以及完少峰值波动；针对新平台平射频电源

善和部分存量设备，实现高与核心部中频数据采集、传输、存件基于状储、可视化。态的预测性维护（PdM）等，响应

30/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

高频控制对极致实时性的要求，将传统的射频控制系统升级为具备微秒级闭环响

应、自适

应、自愈合能力的智能网络。

合/33732.457522088

计17.24.19////

5、研发人员情况

单位：万元币种：人民币基本情况本期数上年同期数

公司研发人员的数量（人）164158

研发人员数量占公司总人数的比例（%）36.12%42.13%

研发人员薪酬合计2129.681888.05

研发人员平均薪酬13.2312.18教育程度

学历构成数量（人）比例(%)

博士研究生10.61

硕士研究生2515.24

本科10865.85

专科及以下3018.29

合计164100.00年龄结构

年龄区间数量（人）比例(%)

30岁以下（不含30岁）8250.00

30-40岁（含30岁，不含40岁）4527.44

40-50岁（含40岁，不含50岁）3118.90

50-60岁（含50岁，不含60岁）53.05

60岁及以上10.61

合计164100.00

6、其他说明

□适用√不适用

四、风险因素

√适用□不适用

(一)核心竞争力风险

1、技术创新风险

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公司等离子体射频电源系统产品主要应用于半导体领域，属于技术密集型行业。随着芯片制程的不断升级，不同客户技术路线和指标各有差异，公司需紧跟晶圆厂商及半导体设备商等产业链下游厂商的需求不断提高技术水平和产品性能，并且持续优化工艺，这对公司的研发能力、工艺水平提出更高要求，公司必须及时研发新的技术以应对下游厂商不断提升的技术要求。如果公司的技术创新能力不能及时跟上行业技术更迭的速度，将导致未来相关研发项目与市场需求产生偏差，进而对公司的发展前景和经营业绩产生不利影响。

2、技术人才流失与核心技术泄密的风险

技术人才与核心技术是公司保持和提升市场竞争力的关键基础。随着市场需求的不断增长，公司对技术人才的需求不断提升，公司需长期维持技术人才充足、队伍稳定以保持市场竞争力。

若公司无法持续为技术人才提供更具竞争力的薪酬待遇和发展平台，公司将面临技术人才流失的风险。同时，公司存在因技术人才流失、外界窃取等原因导致核心技术泄密的风险，进而对公司生产经营产生不利影响。

3、研发投入未取得预期效果的风险

等离子体射频电源系统行业属于技术密集型产业，而相关技术成果需要在市场转化过程中接受严格的检验，如果公司在研发过程中未能实现关键技术的突破，或相关技术无法实现产品化、商业化，则公司可能面临研发投入未取得预期效果的风险。

(二)经营风险

1、市场竞争地位变化的风险目前，全球等离子体射频电源系统市场主要由MKS 和 AE等海外厂商垄断。公司依靠多年来的探索与创新，具备了与国际先进企业同台竞争的能力，但公司与国际巨头仍有一定差距，产品尚未进入国际半导体设备厂商，主要用于国内半导体设备厂商。未来，面对全球和国内竞争，如果公司未能持续提升自身技术水平、产品质量和综合竞争能力，则公司将无法保持国内的市场领先地位，并与海外巨头的差距进一步拉大，导致公司无法实现经营战略和业绩目标。

2、客户集中的风险

等离子体射频电源系统作为半导体设备的核心零部件，需要得到设备商及晶圆厂的双重认证，设备定型通过晶圆厂验证后，不再轻易更换供应商；同时，半导体设备商为保证核心零部件的安全供应，选择与头部等离子体射频电源系统供应商长期合作。拓荆科技是国产薄膜沉积设备龙头，龙头地位稳固、经营情况良好；公司与拓荆科技合作历史长、合作关系稳固。但如果未来公司无法持续拓展拓荆科技以外的新客户，或拓荆科技等主要客户的生产经营情况、经营战略、技术路线、价格等商业条款发生重大不利变化，或行业竞争格局发生重大变化，都将对公司经营业绩产生不利影响。

3、市场开发风险

依靠多年来的探索与创新，公司产品在产品品质、工作性能稳定性、产品良品率上具备与国际先进企业同台竞争的能力，实现了国产等离子体射频电源系统的自主可控。公司目前已批量供货半导体领域的拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内龙头半导体设备商，以及光伏电池片薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜等一般工业领域客户。未来，如果公司产品不能有效适应不同领域客户的需求、持续提升产品品质和技术水平，则公司可能面临新产品和新市场开发失败风险，将对公司经营情况产生不利影响。

4、产能无法满足业务发展的风险

随着以人工智能为代表的新兴应用对芯片算力和存力的需求快速增长、以及终端消费市场需求回暖，全球半导体行业已进入新一轮上升周期。同时，随着半导体产业链国产化率的加速提升，公司产品的市场需求预计将继续保持增长。国内头部半导体设备商对核心零部件供应商的生产能力和交付能力要求较高，因此充足的产能是零部件供应商拓展下游应用领域、扩大市场份额和提升客户服务能力的重要保障。公司产能已于最近三年超负荷运行，2024年度、2025年度、

2026半年度的产能利用率分别达到111.24%、98.51%、102.46%。尽管公司已积极通过扩产和生

产流程优化等方式提升产能，但仍难以充分满足市场快速增长的需求。若公司未能及时扩充产能，将可能面临市场机会流失、业务拓展受限及竞争力下降等风险。

5、供应链风险

公司生产所需的主要原材料包括电容、MOSFET、芯片及模组等电子件，功率模块等电气件以及定制五金件等结构件。报告期内，部分原材料受关键贵金属涨价、AI算力需求提升等影响

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导致其采购价格波动及交期延长。若未来原材料价格继续上行且交期继续延长，将可能影响公司的产品交付进度与成本控制。公司亦有部分元器件向海外厂商采购，虽然公司不断推进相关元器件的国产化进程，但国际贸易摩擦加剧及部分进口零部件价格波动仍可能对公司供应链稳定产生一定不利影响。针对以上情况，公司采取了较为积极的备货策略，并持续加强本地化供应链建设，以保证供应链安全与稳定。

(三)财务风险

1、业绩波动的风险

报告期内，公司实现营业收入27836.07万元，同比略降8.45%，主要原因系公司部分客户根据自身经营及生产节奏动态调整对公司的采购进度。公司作为半导体核心零部件企业，订单一般随客户验证及量产逐步释放，公司一方面根据市场需求释放速度及公司发展规划进行了适度的产能预增，另一方面积极推进新技术突破和重点客户新产品研发与验证导入。如果未来发生宏观经济波动、国家产业政策调整、市场竞争加剧、公司未能有效拓展国内外新客户、客户需求波动、

产品市场价格下降、晶圆厂对半导体设备客户的验证进度不如预期、产品研发投入未能及时实现

产业转化等情形，公司将面临一定的经营压力，未来营业收入、毛利率及净利润可能存在波动的风险。

2、不能持续享受税收优惠政策的风险

报告期内，公司为高新技术企业，享受高新技术企业所得税的优惠。如有关高新技术企业税收优惠政策发生变化，或公司未来不符合高新技术企业税收优惠的申请条件，使得公司不能继续享受高新技术企业所得税的优惠，将导致公司所得税费用上升，进而对公司业绩造成影响。

(四)行业风险

1、半导体行业周期波动的风险

公司报告期内收入主要来自半导体设备行业，而全球半导体行业发展呈现一定的周期性特点。每轮大周期的启动由新兴技术推动产品升级和创新，进而带动终端市场需求、半导体市场规模的增加。半导体行业周期受新兴技术以及计算机、消费电子、网络通信、汽车电子、物联网等终端消费市场需求影响，周期波动会影响半导体市场的需求、晶圆厂的产能布局和资本开支，进而影响对半导体设备及零部件的需求。若公司不能准确判断周期的变化、及时应对半导体市场需求的变动，则可能对公司的生产经营产生不利影响。若晶圆厂商受周期影响而降低资本开支，将可能减少半导体设备的采购，进而影响半导体设备厂商对核心零部件的采购，从而对公司的收入及利润水平产生不利影响。

2、国际贸易摩擦变化的风险

公司产品主要应用于半导体设备行业，近几年受国际地缘政治形势等因素影响较深，如果未来相关国家和地区出于贸易保护、地缘政治等原因，进一步通过出口限制等政策加强贸易壁垒，将可能影响国内晶圆厂商和半导体设备企业生产经营和供应链的稳定性，进而对公司经营发展产生一定的不利影响。

五、报告期内主要经营情况

2026年上半年度，报告期内，公司实现营业收入27836.07万元，同比略降8.45%，主要原因

系公司部分客户根据自身经营及生产节奏动态调整对公司的采购进度。公司作为半导体核心零部件企业，订单一般随客户验证及量产逐步释放，公司一方面根据市场需求释放速度及公司发展规划进行了适度的产能预增，另一方面积极推进新技术突破和重点客户新产品研发与验证导入。公司利润总额、归属于上市公司股东的净利润、归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润

分别同比下降26.74%、24.51%、22.28%，除前述营业收入略有下降外，公司全面提升运营管理水平，持续推进研发投入和各类型人才引进，导致相关人员费用有所增长；同时受政府补助较去年同期减少以及公司按照会计准则要求计提相应的资产减值损失增加所影响。截至报告期末，公司总资产233895.87万元，较2025年末增长159.57%；归属于上市公司股东的净资产221309.10万元，较2025年年末增长176.55%，主要系公司首次公开发行股票并上市募集资金，使得股本和资本公积较去年同期相应增加所致。

(四)主营业务分析

1、财务报表相关科目变动分析表

单位：元币种：人民币

33/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

变动比例科目本期数上年同期数

（%）

营业收入278360652.04304056343.03-8.45

营业成本139483585.14155043094.55-10.04

销售费用6059095.594611598.5331.39

管理费用29681509.1827090882.299.56

财务费用-2039415.77-2170929.51不适用

研发费用45752383.5943308357.055.64

经营活动产生的现金流量净额33197184.51-9522442.99不适用

投资活动产生的现金流量净额-806627176.29-13246981.75不适用

筹资活动产生的现金流量净额1352039526.60-3718848.59不适用

其他收益4584816.349139472.43-49.84

信用减值损失-1127037.43-3325578.10不适用

资产减值损失-8593643.10-5560195.42不适用

营业收入变动原因说明:报告期内，公司实现营业收入27836.07万元，同比略降8.45%，主要原因系公司部分客户根据自身经营及生产节奏动态调整对公司的采购进度。公司作为半导体核心零部件企业，订单一般随客户验证及量产逐步释放，公司一方面根据市场需求释放速度及公司发展规划进行了适度的产能预增，另一方面积极推进新技术突破和重点客户新产品研发与验证导入。

营业成本变动原因说明:报告期内营业成本同比下降10.04%，主要系公司营业收入下降导致对应营业成本下降所致。

销售费用变动原因说明:报告期内销售费用同比增长31.39%，主要系公司引进高端销售人才，以及销售人员差旅费同比上升所致。

管理费用变动原因说明:报告期内管理费用同比增长9.56%，主要系本期新增上市相关费用，以及公司办公楼和固定资产的折旧费同比上升所致。

财务费用变动原因说明:主要系公司使用权资产的利息支出同比上升、利息收入与外币汇差同比下降所致。

研发费用变动原因说明:报告期内研发费用同比增长5.64%，主要系公司的研发服务费同比上升，以及研发人员数量及结构持续优化导致人工费同比上升所致。

经营活动产生的现金流量净额变动原因说明:报告期内经营活动产生的现金流量净额同比增长

448.62%，主要系报告期内公司增加以银行承兑汇票背书转让的方式向供应商支付货款，公司购买

商品支付的现金减少。2025年同期公司为保证安全库存、降低成本上涨风险，实施集中前置采购策略，购买商品支付的现金流出较多。

投资活动产生的现金流量净额变动原因说明:报告期内投资活动产生的现金流量净额同比下降

5989.14%，主要系报告期内公司购买理财产品支付的现金较上年同期增长，导致现金流出上升。

筹资活动产生的现金流量净额变动原因说明:报告期内筹资活动产生的现金流量净额同比增长

36456.40%，主要系报告期内募集资金到账，导致现金流入上升。

其他收益变动原因说明：报告期内其他收益同比下降49.84%，主要系公司收到与收益相关的政府补助下降所致。

资产减值损失变动原因说明：报告期内资产减值损失较上年同期增加，主要系因市场变动及沈阳子公司试产进度影响，部分存货周转放缓，库龄有所增加，导致该部分物料存货跌价损失有所增长。

信用减值损失变动原因说明：报告期内信用减值损失较上年同期减少，主要系根据账龄相应补计提了信用减值损失所致。

2、本期公司业务类型、利润构成或利润来源发生重大变动的详细说明

□适用√不适用

(五)非主营业务导致利润重大变化的说明

□适用√不适用

34/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(六)资产、负债情况分析

√适用□不适用

1、资产及负债状况

单位：元本期上年期末本期期期末金额末数占数占较上项目名称本期期末数总资产上年期末数总资年期情况说明的比例产的末变

（%）比例动比

（%）例

（%）主要系公司首次

1060169620.1245.33481406878.8货币资金053.43120.22

公开发行股票并上市募集资金所致主要系公司购买

交易性金790788945.8633.81--不适结构性理财产品融资产用所致主要系公司增加以银行承兑汇票

应收票据4608006.570.208648863.850.96-46.72背书转让的方式向供应商支付货款，导致应收票据减少主要系公司部分

应收款项119634007.365.11100261915.8411.1319.32产品出货后未到账期支付时间所致。

应收款项19147389.480.8217952985.881.996.65融资主要系公司根据

预付款项20811421.440.8915946972.361.7730.50客户订单需求备货并预付部分采购款项所致主要系公司支付新租赁厂房的押

其他应收5306106.460.234018193.490.4532.05金及计提大额存款单应收利息款所致

存货155478740.656.65147808836.4716.405.19

其他流动10762744.990.466937176.550.7755.15主要系公司预缴资产企业所得税所致主要系公司参与

其他权益5000000.000.21--不适共同发起设立辽工具投资用宁聚芯智能装备

35/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

创新中心有限公司，出资比例为

5%所致

固定资产89348509.243.8291810034.2310.19-2.68主要系公司新租

在建工程22468604.090.96471439.510.054665.96赁厂房的装修工程所致

使用权资22832539.750.9813154822.101.4673.57主要系公司新租产赁厂房所致

无形资产244070.510.01449813.330.05-45.74主要系计提无形资产摊销所致

长期待摊3040641.580.133055535.270.34-0.49费用

递延所得6636606.080.288625153.810.96-23.06主要系销售返利税资产减少所致

其他非流2680720.670.11540106.820.06396.33主要系预付设备动资产款项增加所致主要系公司根据订单需求增加备

应付账款69434097.412.9730038801.543.33131.15货，以及本报告期内新增应付装修工程款所致主要系公司对客户销售返利的合同负债通过实物

合同负债5785730.720.2523915540.522.65-75.81交付履行履约义务，部分金额转销所致

应付职工10050623.630.4310709308.201.19-6.15薪酬主要系本报告期末进项税留抵额较大，无需缴纳增应交税费6408985.220.2710793003.081.20-40.62值税，以及母公司

第二季度可享受研发加计抵减无需预缴企业所得税所致

其他应付67330.320.003166022.760.02-59.45主要系本期应付款报销款减少所致主要系将一年内一年内到

15415626.390.6610083955.001.1252.87到期的租赁负债期的非流

重分类到此科目动负债所致主要系公司未到

其他流动1865193.490.083534236.760.39-47.22期已背书的应收负债票据减少所致

租赁负债13245769.980.576568054.540.73101.67主要系公司新租赁厂房所致

递延收益3594351.680.155026847.270.56-28.50主要系来自国家

36/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

项目的递延收益按月结转至其他收益所致其他说明无

2、境外资产情况

√适用□不适用

(1)资产规模

其中：境外资产233.30（单位：万元币种：人民币），占总资产的比例为0.10%。

(2)境外资产占比较高的相关说明

□适用√不适用其他说明无。

3、截至报告期末主要资产受限情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末账面余额期末账面价值受限类型受限原因

应收票据1538432.971538432.97未终止确认已背书未到期的应收票质押据使用权受限

合计1538432.971538432.97//

4、其他说明

□适用√不适用

37/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(七)投资状况分析

1、对外股权投资总体分析

□适用√不适用

(1)重大的股权投资

□适用√不适用

(2)重大的非股权投资

□适用√不适用

(3)以公允价值计量的金融资产

√适用□不适用

单位：元币种：人民币计入权益的累

本期公允价值本期计提的减本期出售/赎回资产类别期初数计公允价值变本期购买金额其他变动期末数变动损益值金额动

其他-788945.86--970000000.00180000000.00-790788945.86

合计-788945.86--970000000.00180000000.00-790788945.86

注：“其他”系公司购买的结构性存款证券投资情况

□适用√不适用衍生品投资情况

□适用√不适用

(4)私募股权投资基金投资情况

□适用√不适用其他说明

38/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告无。

(八)重大资产和股权出售

□适用√不适用

(九)主要控股参股公司分析

√适用□不适用

主要子公司及对公司净利润影响达10%以上的参股公司情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币公司名称公司类型主要业务注册资本总资产净资产营业收入营业利润净利润深圳市百世达半等离子体射频电源系统

导体设备有限公子公司等半导体设备核心零部10000003428309.953428309.95--271.92-271.92司件的销售恒运昌真空技术等离子体射频电源系统（沈阳）有限公子公司等半导体设备核心零部108880000236851322.8094337553.75722764.89-5347218.89-5347218.89司件生产等离子体射频电源系统等半导体设备核心零部恒运昌京昇半导件的技术服务支持与销

体科技（北京）子公司100000003899758.513434444.76210088.56-1127984.59-1127984.59售；系募投项目“营销有限公司及技术支持中心项目”的实施主体之一

CSL Vacuum 等离子体射频电源系统

Science and 子公司 等半导体设备核心零部 250000 欧元 2333007.71 2277991.71 - -53718.78 -53718.78

Technology GmbH 件的研发与销售等离子体射频电源系统恒运昌申昇半导等半导体设备核心零部

体科技（上海）子公司30000000-----件的技术服务支持与销有限公司售；系募投项目“营销

39/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告及技术支持中心项目”的实施主体之一报告期内取得和处置子公司的情况

√适用□不适用公司名称报告期内取得和处置子公司方式对整体生产经营和业绩的影响

恒运昌申昇半导体科技（上海）有限公司发起设立报告期内，该公司对整体生产经营和业绩无重大影响其他说明

√适用□不适用

1、子公司恒运昌申昇半导体科技（上海）有限公司于2026年4月完成工商注册，截至本报告期末尚未实缴注册资本，未开展经营活动。

2、子公司恒运昌汉昇半导体科技（武汉）有限公司于2026年7月完成工商注册，属期后事项，故未列示在“主要子公司及对公司净利润影响达10%以上的参股公司情况”、“报告期内取得和处置子公司的情况”中。

3、恒运昌京昇半导体科技（北京）有限公司已于2026年7月1日完成工商变更登记，注册资本由1000万元人民币变更为5000万元人民币，属期后事项，故其最新注册资本“5000万元”未在“主要子公司及对公司净利润影响达10%以上的参股公司情况”中列示。

(十)公司控制的结构化主体情况

□适用√不适用

六、其他披露事项

√适用□不适用公司于2026年4月25日召开第一届董事会第十五次会议、于2026年5月21日召开2025年年度股东会，审议通过了《关于公司2025年度利润分配方案的议案》，以实施权益分派股权登记日登记的总股本67701688股为基数，向全体股东每10股派发现金红利8元（含税）。公司已于2026年6月18日完成了本次权益分派，合计分派的现金红利总额为54161350.40元（含税），现金分红金额占当年归属于上市公司股东净利润的47.58%。

40/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

第四节公司治理、环境和社会

一、公司董事、高级管理人员和核心技术人员变动情况

□适用√不适用

公司董事、高级管理人员和核心技术人员变动的情况说明

□适用√不适用公司核心技术人员的认定情况说明

□适用√不适用

二、利润分配或资本公积金转增预案

半年度拟定的利润分配预案、公积金转增股本预案是否分配或转增否

每10股送红股数（股）不适用

每10股派息数(元)（含税）不适用

每10股转增数（股）不适用利润分配或资本公积金转增预案的相关情况说明无

三、公司股权激励计划、员工持股计划或其他员工激励措施的情况及其影响

(一)相关股权激励事项已在临时公告披露且后续实施无进展或变化的

□适用√不适用

(二)临时公告未披露或有后续进展的激励情况股权激励情况

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用员工持股计划情况

□适用√不适用其他激励措施

□适用√不适用

四、纳入环境信息依法披露企业名单的上市公司及其主要子公司的环境信息情况

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

五、巩固拓展脱贫攻坚成果、乡村振兴等工作具体情况

□适用√不适用

41/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

第五节重要事项

一、承诺事项履行情况

(一)公司实际控制人、股东、关联方、收购人以及公司等承诺相关方在报告期内或持续到报告期内的承诺事项

√适用□不适用如未能及如未能是否是否时履行应及时履承诺承诺有履承诺及时承诺背景承诺方承诺时间说明未完行应说类型内容行期期限严格成履行的明下一限履行具体原因步计划股份限售恒运昌投资注12025年4月是注1是不适用不适用股份限售乐卫平注22025年4月是注2是不适用不适用股份限售投资中心注32025年4月是注3是不适用不适用股份限售国投大湾区基金注42025年4月是注4是不适用不适用股份限售曹立注52025年4月是注5是不适用不适用股份限售林伟群注62025年4月是注6是不适用不适用股份限售投资发展中心注72025年4月是注7是不适用不适用

股份限售刘涛、俞日明、姚志毅注82025年4月是注8是不适用不适用

股份限售 TAN YAN PENG、郑悦佳、庄丽华 注 9 2025年 4月 是 注 9 是 不适用 不适用与首次公开发行相股份限售姚志毅注102025年4月是注10是不适用不适用关的承诺股份限售俞日明注112025年9月是注11是不适用不适用股份限售丁鹏注122025年4月是注12是不适用不适用

股份限售林桂浩、唐亚海注132025年4月是注13是不适用不适用

上海浦宸、扬州乾益、中电科、北京

光电、湖南高创、嘉兴恒祥、嘉兴小

橡、江苏疌泉、青岛鼎量、瑞芯基金、股份限售注142025年4月是注14是不适用不适用

上海道禾、上海国策、上海岩泉、上

杭景行、深圳鹏远、拓荆科技和中信投资

42/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

如未能及如未能是否是否时履行应及时履承诺承诺有履承诺及时承诺背景承诺方承诺时间说明未完行应说类型内容行期期限严格成履行的明下一限履行具体原因步计划股份限售乐卫国注152025年4月是注15是不适用不适用稳定股价恒运昌注162025年4月是注16是不适用不适用稳定股价恒运昌投资注172025年4月是注17是不适用不适用稳定股价乐卫平注182025年4月是注18是不适用不适用

乐卫平、刘涛、TAN YAN PENG、稳定股价注192025年4月是注19是不适用不适用

郑悦佳、庄丽华关于欺诈发行上市恒运昌注202025年4月否注20是不适用不适用的股份回购关于欺诈发行上市恒运昌投资注212025年4月否注21是不适用不适用的股份回购关于欺诈发行上市乐卫平注222025年4月否注22是不适用不适用的股份回购填补被摊薄即期回恒运昌注232025年4月否注23是不适用不适用报的承诺填补被摊薄即期回恒运昌投资注242025年4月否注24是不适用不适用报的承诺填补被摊薄即期回乐卫平注252025年4月否注25是不适用不适用报的承诺

乐卫平、刘涛、杨喜荣、吴黎明、刘

填补被摊薄即期回彭义、赖小琼、王天东、姚志毅、俞

报的承诺 日明、丁鹏、TANYAN PENG 注 26 2025年 4月 否 注 26 是 不适用 不适用、郑悦

佳、庄丽华利润分配政策恒运昌注272025年4月否注27是不适用不适用利润分配政策恒运昌投资注282025年4月否注28是不适用不适用利润分配政策乐卫平注292025年4月否注29是不适用不适用

43/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

如未能及如未能是否是否时履行应及时履承诺承诺有履承诺及时承诺背景承诺方承诺时间说明未完行应说类型内容行期期限严格成履行的明下一限履行具体原因步计划依法承担赔偿责任恒运昌注302025年4月否注30是不适用不适用的承诺依法承担赔偿责任

恒运昌投资、乐卫平注312025年4月否注31是不适用不适用的承诺

乐卫平、刘涛、杨喜荣、吴黎明、刘

依法承担赔偿责任彭义、赖小琼、王天东、姚志毅、俞

的承诺 日明、丁鹏、TANYAN PENG 注 32 2025年 4月 否 注 32 是 不适用 不适用、郑悦

佳、庄丽华未能履行公开承诺恒运昌注332025年4月否注33是不适用不适用事项的约束措施未能履行公开承诺恒运昌投资注342025年4月否注34是不适用不适用事项的约束措施未能履行公开承诺乐卫平注352025年4月否注35是不适用不适用事项的约束措施

未能履行公开承诺投资中心、国投大湾区基金、曹注362025年4月否注36是不适用不适用

事项的约束措施立、林伟群

乐卫平、刘涛、杨喜荣、吴黎明、刘

彭义、赖小琼、王天东、姚志毅、俞未能履行公开承诺

日明、丁鹏、TANYAN PENG、郑悦 注 37 2025年 4月 否 注 37 是 不适用 不适用事项的约束措施

佳、庄丽华、林伟群、林桂浩、唐亚海

解决同业竞争恒运昌投资、乐卫平注382025年4月否注38是不适用不适用在审期间不进行现恒运昌注392025年4月是注39是不适用不适用金分红

解决关联交易恒运昌投资、乐卫平注402025年4月否注40是不适用不适用

44/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

如未能及如未能是否是否时履行应及时履承诺承诺有履承诺及时承诺背景承诺方承诺时间说明未完行应说类型内容行期期限严格成履行的明下一限履行具体原因步计划

投资中心、国投大湾区基金、曹解决关联交易注412025年4月否注41是不适用不适用

立、林伟群

乐卫平、刘涛、杨喜荣、吴黎明、刘

彭义、赖小琼、王天东、姚志毅、俞解决关联交易注422025年4月否注42是不适用不适用

日明、丁鹏、TANYAN PENG、郑悦

佳、庄丽华避免资金占用对外

恒运昌投资、乐卫平注432025年4月是注43是不适用不适用担保不存在重大违法违恒运昌注442025年4月是注44是不适用不适用规行为不存在重大违法违

恒运昌投资、乐卫平注452025年4月是注45是不适用不适用规行为股东信息披露的专恒运昌注462025年4月否注46是不适用不适用项承诺

其他恒运昌投资、乐卫平注472025年4月否注47是不适用不适用

其他恒运昌投资、乐卫平注482025年4月否注48是不适用不适用

其他乐卫平、俞日明注492025年4月否注49是不适用不适用

注1：公司控股股东恒运昌投资关于股份锁定及减持的承诺

一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起36个月内，本公司不转让或者委托他人管理本公司直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由

恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本公司持有的公司股份发生变化的，本公司仍将遵守上述承诺。

二、恒运昌上市后6个月内如恒运昌股票连续20个交易日的收盘价均低于发行价，或者上市后6个月期末收盘价低于发行价，本公司直接或间接持有的恒运昌股票将在上述锁

定期届满后自动延长6个月。若上述期间内恒运昌发生派发股利、送红股、转增股本或配股等除息、除权行为的，则发行价以经除息、除权等因素调整后的价格计算。

三、恒运昌上市当年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑50%以上的，延长本公司届时所持股份锁定期限12个月；恒运昌上市第二年较上市前一年扣除非经常性

损益后归母净利润下滑50%以上的，在前项基础上延长本公司届时所持股份锁定期限12个月；恒运昌上市第三年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑50%以上的，在前两项基础上延长本公司届时所持股份锁定期限12个月。

四、在上述锁定期届满前，本公司无减持恒运昌股票意向。本公司在上述锁定期届满后2年内减持恒运昌首发前股份的，应符合以下条件：

（一）减持方式：本公司在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规允许的方式。

45/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

（二）减持数量：本公司采取集中竞价方式减持的，在任意连续90个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数的1%；采用大宗交易方式减持的，在任意连续90个

自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数的2%；采取协议转让方式减持的，单个受让方的受让比例不低于恒运昌股份总数的5%。

（三）减持公告：本公司承诺减持时将根据中国证监会、上海证券交易所届时有效的相关法律、法规对信息披露的规定，在减持前3个交易日予以公告。通过证券交易所集中竞

价交易或者大宗交易首次减持股份的15个交易日前向上海证券交易所报告并预先披露减持计划，通过其他方式减持恒运昌股份时，将按照中国证监会、上海证券交易所届时适用的规则及时、准确地履行信息披露义务。

（四）减持价格：本公司在上述锁定期满后2年内减持本公司持有的公司首次公开发行前已发行的股份的，减持价格不低于首次公开发行的发行价，如自公司首次公开发行股票

至上述减持公告之日公司发生过派息、送股、资本公积转增股本等除权除息事项的，发行价格和减持数量应相应调整。

五、本公司将严格履行上述承诺，若本公司因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本公司未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本公司将依法承担赔偿责任。

注2：公司实际控制人乐卫平关于股份锁定及减持的承诺

一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起36个月内，本人不转让或者委托他人管理本人直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运

昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。

二、恒运昌上市后6个月内如恒运昌股票连续20个交易日的收盘价均低于发行价，或者上市后6个月期末收盘价低于发行价，本人直接或间接持有的恒运昌股票将在上述锁定

期届满后自动延长6个月。若上述期间内恒运昌发生派发股利、送红股、转增股本或配股等除息、除权行为的，则发行价以经除息、除权等因素调整后的价格计算。

三、恒运昌上市当年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑50%以上的，延长本人届时所持股份锁定期限12个月；恒运昌上市第二年较上市前一年扣除非经常性损

益后归母净利润下滑50%以上的，在前项基础上延长本人届时所持股份锁定期限12个月；恒运昌上市第三年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑50%以上的，在前两项基础上延长本人届时所持股份锁定期限12个月。

四、在上述锁定期届满前，本人无减持恒运昌股票意向。本人在上述锁定期届满后2年内减持恒运昌首发前股份的，应符合以下条件：

（一）减持方式：本人在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规允许的方式。

（二）减持数量：本人采取集中竞价方式减持的，在任意连续90个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数的1%；采用大宗交易方式减持的，在任意连续90个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数的2%；采取协议转让方式减持的，单个受让方的受让比例不低于恒运昌股份总数的5%。

（三）减持公告：本人承诺减持时将根据中国证监会、上海证券交易所届时有效的相关法律、法规对信息披露的规定，在减持前3个交易日予以公告。通过证券交易所集中竞价

交易或者大宗交易首次减持股份的15个交易日前向上海证券交易所报告并预先披露减持计划，通过其他方式减持恒运昌股份时，将按照中国证监会、上海证券交易所届时适用的规则及时、准确地履行信息披露义务。

（四）减持价格：本人在上述锁定期满后2年内减持本人持有的公司首次公开发行前已发行的股份的，减持价格不低于首次公开发行的发行价，如自公司首次公开发行股票至上

述减持公告之日公司发生过派息、送股、资本公积转增股本等除权除息事项的，发行价格和减持数量应相应调整。

五、在本人担任恒运昌董事或高级管理人员或核心技术人员的期间，本人在上述锁定期满后每年转让的恒运昌股份不超过本人持有的恒运昌股份总数的25%，离职之日起6个月

内不转让本人持有的恒运昌股份。若本人在任职届满前离职的，本人在就任时确定的任期内以及任期届满6个月内，继续遵守上述限制性规定。

六、在不违反前述第五条承诺的前提下，在本人担任恒运昌核心技术人员期间，自本人所持恒运昌首次公开发行上市前股份的锁定期届满之日起4年内，本人每年转让的恒运昌

首次公开发行上市前股份不超过恒运昌首次公开发行上市时本人所持首次公开发行上市前股份总数的25%，减持比例可累积使用。

七、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。

八、本人不会因职务变更、离职等原因而放弃履行前述承诺。

注3：持有恒运昌5%以上股份的主要股东投资中心关于股份锁定及减持的承诺

一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起36个月内，本企业不转让或者委托他人管理本企业直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由

恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本企业持有的公司股份发生变化的，本企业仍将遵守上述承诺。

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二、恒运昌上市当年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑50%以上的，延长本企业届时所持股份锁定期限12个月；恒运昌上市第二年较上市前一年扣除非经常性

损益后归母净利润下滑50%以上的，在前项基础上延长本企业届时所持股份锁定期限12个月；恒运昌上市第三年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑50%以上的，在前两项基础上延长本企业届时所持股份锁定期限12个月。

三、在上述锁定期届满前，本企业无减持恒运昌股票意向。本企业在上述锁定期届满后2年内减持恒运昌首发前股份的，应符合以下条件：

（一）减持方式：本企业在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规允许的方式。

（二）减持数量：本企业采取集中竞价方式减持的，在任意连续90个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数的1%；采用大宗交易方式减持的，在任意连续90个

自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数的2%；采取协议转让方式减持的，单个受让方的受让比例不低于恒运昌股份总数的5%。

（三）减持公告：本企业承诺减持时将根据中国证监会、上海证券交易所届时有效的相关法律、法规对信息披露的规定，在减持前3个交易日予以公告。通过证券交易所集中竞

价交易或者大宗交易首次减持股份的15个交易日前向上海证券交易所报告并预先披露减持计划，通过其他方式减持恒运昌股份时，将按照中国证监会、上海证券交易所届时适用的规则及时、准确地履行信息披露义务。

（四）减持价格：本企业在上述锁定期满后2年内减持本企业持有的公司首次公开发行前已发行的股份的，减持价格不低于届时法律、法规及规范性文件规定的价格下限。

四、本企业将严格履行上述承诺，若本企业因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本企业未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本企业将依法承担赔偿责任。

注4：持有恒运昌5%以上股份的主要股东国投大湾区基金关于股份锁定及减持的承诺

一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起12个月内，本企业不转让或者委托他人管理本企业直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由

恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本企业持有的公司股份发生变化的，本企业仍将遵守上述承诺。

二、本企业持续看好公司业务前景，全力支持公司发展，持股意向明确。本企业在上述锁定期届满后2年内减持恒运昌首发前股份的，应符合以下条件：

（一）减持方式：本企业在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规允许的方式。

（二）减持数量：减持数量符合届时法律、法规及规范性文件的规定。

（三）减持公告：在本企业持有恒运昌5%以上股份的情况下，本企业承诺减持时将根据中国证监会、上海证券交易所届时有效的相关法律、法规对信息披露的规定予以公告，通过证券交易所集中竞价交易首次减持股份的15个交易日前向上海证券交易所报告并预先披露减持计划，通过其他方式减持恒运昌股份时，将在减持前3个交易日予以公告。

（四）减持价格：本企业在上述锁定期满后2年内减持本企业持有的公司首次公开发行前已发行的股份的，减持价格不低于届时法律、法规及规范性文件规定的价格下限。

三、本企业将严格履行上述承诺，如果因本企业未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本企业将依法承担法律责任。

注5：持有恒运昌5%以上股份的主要股东曹立关于股份锁定及减持的承诺

一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起36个月内，本人不转让或者委托他人管理本人直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运

昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。

二、恒运昌上市当年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑50%以上的，延长本人届时所持股份锁定期限12个月；恒运昌上市第二年较上市前一年扣除非经常性损

益后归母净利润下滑50%以上的，在前项基础上延长本人届时所持股份锁定期限12个月；恒运昌上市第三年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑50%以上的，在前两项基础上延长本人届时所持股份锁定期限12个月。

三、在上述锁定期届满前，本人无减持恒运昌股票意向。本人在上述锁定期届满后2年内减持恒运昌首发前股份的，应符合以下条件：

（一）减持方式：本人在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规允许的方式。

（二）减持数量：本人采取集中竞价方式减持的，在任意连续90个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数的1%；采用大宗交易方式减持的，在任意连续90个

自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数的2%；采取协议转让方式减持的，单个受让方的受让比例不低于恒运昌股份总数的5%。

（三）减持公告：本人承诺减持时将根据中国证监会、上海证券交易所届时有效的相关法律、法规对信息披露的规定，在减持前3个交易日予以公告。通过证券交易所集中竞价

交易或者大宗交易首次减持股份的15个交易日前向上海证券交易所报告并预先披露减持计划，通过其他方式减持恒运昌股份时，将按照中国证监会、上海证券交易所届时适用的规则及时、准确地履行信息披露义务。

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（四）减持价格：本人在上述锁定期满后2年内减持本人持有的公司首次公开发行前已发行的股份的，减持价格不低于首次公开发行的发行价，如自公司首次公开发行股票至上

述减持公告之日公司发生过派息、送股、资本公积转增股本等除权除息事项的，发行价格和减持数量应相应调整。

四、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。

注6：持有恒运昌5%以上股份的主要股东林伟群关于股份锁定及减持的承诺

一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起36个月内和本人离职后6个月内，本人不转让或者委托他人管理本人直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发

行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。

二、在上述锁定期届满前，本人无减持恒运昌股票意向。本人在上述锁定期届满后2年内减持恒运昌首发前股份的，应符合以下条件：

（一）减持方式：本人在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规允许的方式。

（二）减持数量：本人采取集中竞价方式减持的，在任意连续90个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数的1%；采用大宗交易方式减持的，在任意连续90个

自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数的2%；采取协议转让方式减持的，单个受让方的受让比例不低于恒运昌股份总数的5%。

（三）减持公告：本人承诺减持时将根据中国证监会、上海证券交易所届时有效的相关法律、法规对信息披露的规定，在减持前3个交易日予以公告。通过证券交易所集中竞价

交易或者大宗交易首次减持股份的15个交易日前向上海证券交易所报告并预先披露减持计划，通过其他方式减持恒运昌股份时，将按照中国证监会、上海证券交易所届时适用的规则及时、准确地履行信息披露义务。

（四）减持价格：本人在上述锁定期满后2年内减持本人持有的公司首次公开发行前已发行的股份的，减持价格不低于届时法律、法规及规范性文件规定的价格下限。

三、在本人担任恒运昌核心技术人员期间，自本人所持恒运昌首次公开发行上市前股份的锁定期届满之日起4年内，本人每年转让的恒运昌首次公开发行上市前股份不超过恒运昌首次公开发行上市时本人所持首次公开发行上

市前股份总数的25%，减持比例可累积使用。

四、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。

注7：除持有恒运昌5%以上股份的主要股东投资中心外，恒运昌的员工持股平台投资发展中心关于股份锁定及减持承诺一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起36个月内，本企业不转让或者委托他人管理本企业直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本企业持有的公司股份发生变化的，本企业仍将遵守上述承诺。

二、恒运昌上市当年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑50%以上的，延长本企业届时所持股份锁定期限12个月；恒运昌上市第二年较上市前一年扣除非经常性

损益后归母净利润下滑50%以上的，在前项基础上延长本企业届时所持股份锁定期限12个月；恒运昌上市第三年较上市前一年扣除非经常性损益后归母净利润下滑50%以上的，在前两项基础上延长本企业届时所持股份锁定期限12个月。

三、本企业在上述锁定期届满后2年内减持恒运昌首发前股份的，应符合以下条件：

（一）减持方式：本企业在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规允许的方式。

（二）减持数量：本企业采取集中竞价方式减持的，在任意连续90个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数的1%；采用大宗交易方式减持的，在任意连续90个

自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数的2%；采取协议转让方式减持的，单个受让方的受让比例不低于恒运昌股份总数的5%。

四、本企业将严格履行上述承诺，若本企业因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本企业未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本企业将依法承担赔偿责任。

注8：除恒运昌实际控制人乐卫平外，持有恒运昌股份的董事刘涛、俞日明、姚志毅关于股份锁定及减持的承诺一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起36个月内和本人离职后6个月内，本人不转让或者委托他人管理本人直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发

行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。

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二、恒运昌上市后6个月内如恒运昌股票连续20个交易日的收盘价均低于发行价，或者上市后6个月期末收盘价低于发行价，本人直接或间接持有的恒运昌股票将在上述锁

定期届满后自动延长6个月。若上述期间内恒运昌发生派发股利、送红股、转增股本或配股等除息、除权行为的，则发行价以经除息、除权等因素调整后的价格计算。

三、在本人担任恒运昌董事或核心技术人员期间，本人在上述锁定期满后每年转让的恒运昌股份不超过本人持有的恒运昌股份总数的25%，离职之日起6个月内不转让本人持

有的恒运昌股份。若本人在任职届满前离职的，本人在就任时确定的任期内以及任期届满6个月内，继续遵守上述限制性规定。

四、在不违反前述第三条承诺的前提下，在本人担任恒运昌核心技术人员期间，自本人所持恒运昌首次公开发行上市前股份的锁定期届满之日起4年内，本人每年转让的恒运昌

首次公开发行上市前股份不超过恒运昌首次公开发行上市时本人所持首次公开发行上市前股份总数的25%，减持比例可累积使用。

五、本人在上述锁定期满后2年内减持本人持有的公司首次公开发行前已发行的股份的，减持价格不低于首次公开发行的发行价，如自公司首次公开发行股票至上述减持公告之

日公司发生过派息、送股、资本公积转增股本等除权除息事项的，发行价格和减持数量应相应调整。

六、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。

七、本人不会因职务变更、离职等原因而放弃履行前述承诺。

注 9：除恒运昌实际控制人乐卫平外，持有恒运昌股份的高级管理人员 TAN YAN PENG、郑悦佳及庄丽华关于股份锁定及减持的承诺一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起36个月内，本人不转让或者委托他人管理本人直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运

昌回购该等股份，若因公司进行权益分派等导致本人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。

二、恒运昌上市后6个月内如恒运昌股票连续20个交易日的收盘价均低于发行价，或者上市后6个月期末收盘价低于发行价，本人直接或间接持有的恒运昌股票将在上述锁

定期届满后自动延长6个月。若上述期间内恒运昌发生派发股利、送红股、转增股本或配股等除息、除权行为的，则发行价以经除息、除权等因素调整后的价格计算。

三、在本人担任恒运昌高级管理人员期间，本人在上述锁定期满后每年转让的恒运昌股份不超过本人持有的恒运昌股份总数的25%，离职之日起6个月内不转让本人持有的恒运昌股份。若本人在任职届满前离职的，本人在就任时确定的任期内以及任期届满6个月内，继续遵守上述限制性规定。

四、本人在上述锁定期满后2年内减持本人持有的公司首次公开发行前已发行的股份的，减持价格不低于首次公开发行的发行价，如自公司首次公开发行股票至上述减持公告之

日公司发生过派息、送股、资本公积转增股本等除权除息事项的，发行价格和减持数量应相应调整。

五、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。

六、本人不会因职务变更、离职等原因而放弃履行前述承诺。

注10：持有公司股份的原监事姚志毅关于股份锁定及减持的承诺

一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起36个月内和本人离职后6个月内，本人不转让或者委托他人管理本人直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发

行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。

二、在本人担任恒运昌监事或核心技术人员期间，本人在上述锁定期满后每年转让的恒运昌股份不超过本人持有的恒运昌股份总数的25%，离职之日起6个月内不转让本人持

有的恒运昌股份。若本人在任职届满前离职的，本人在就任时确定的任期内以及任期届满6个月内，继续遵守上述限制性规定。

三、在不违反前述第二条承诺的前提下，在本人担任恒运昌核心技术人员期间，自本人所持恒运昌首次公开发行上市前股份的锁定期届满之日起4年内，本人每年转让的恒运昌

首次公开发行上市前股份不超过恒运昌首次公开发行上市时本人所持首次公开发行上市前股份总数的25%，减持比例可累积使用。

四、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。

注11：持有公司股份的原监事及现任董事俞日明关于股份锁定及减持的承诺

一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起36个月内和本人离职后6个月内，本人不转让或者委托他人管理本人直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发

行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。

二、在本人担任恒运昌监事期间，本人在上述锁定期满后每年转让的恒运昌股份不超过本人持有的恒运昌股份总数的25%，离职之日起6个月内不转让本人持有的恒运昌股份。

若本人在任职届满前离职的，本人在就任时确定的任期内以及任期届满6个月内，继续遵守上述限制性规定。

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三、本人在上述锁定期届满后2年内减持恒运昌首发前股份的，应符合以下条件：

（一）减持方式：本人在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规允许的方式。

（二）减持数量：本人采取集中竞价方式减持的，在任意连续90个自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数的1%；采用大宗交易方式减持的，在任意连续90个

自然日内，减持股份的总数不得超过恒运昌股份总数的2%；采取协议转让方式减持的，单个受让方的受让比例不低于恒运昌股份总数的5%。

四、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。

注12：持有公司股份的原监事丁鹏关于股份锁定及减持的承诺

一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起36个月内，本人不转让或者委托他人管理本人直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运

昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。

二、在本人担任恒运昌监事期间，本人在上述锁定期满后每年转让的恒运昌股份不超过本人持有的恒运昌股份总数的25%，离职之日起6个月内不转让本人持有的恒运昌股份。

若本人在任职届满前离职的，本人在就任时确定的任期内以及任期届满6个月内，继续遵守上述限制性规定。

三、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。

注13：除恒运昌实际控制人乐卫平、持有恒运昌5%以上股份的主要股东林伟群、董事刘涛及职工董事姚志毅外，持有恒运昌股份的核心技术人员林桂浩、唐亚海关于股份锁定及减持的承诺

一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起36个月内和本人离职后6个月内，本人不转让或者委托他人管理本人直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发

行的股份，也不由恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。

二、在本人担任恒运昌核心技术人员期间，自本人所持恒运昌首次公开发行上市前股份的锁定期届满之日起4年内，本人每年转让的恒运昌首次公开发行上市前股份不超过恒运

昌首次公开发行上市时本人所持首次公开发行上市前股份总数的25%，减持比例可累积使用。

三、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。

注14：恒运昌其他股东上海浦宸、扬州乾益、中电科、北京光电、湖南高创、嘉兴恒祥、嘉兴小橡、江苏疌泉、青岛鼎量、瑞芯基金、上海道禾、上海国策、上海岩泉、上杭景

行、深圳鹏远、拓荆科技和中信投资关于股份锁定及减持的承诺

一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起12个月内，本企业不转让或者委托他人管理本企业直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由

恒运昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本企业持有的公司股份发生变化的，本企业仍将遵守上述承诺。

二、本企业在上述锁定期满后拟减持股份的，将采用集中竞价、大宗交易、协议转让等法律、法规允许的方式，并将遵守减持时有效的相关法律法规的规定。

三、本企业将严格履行上述承诺，如果因本企业未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本企业将依法承担赔偿责任。

注15：恒运昌其他股东乐卫国作为实际控制人乐卫平的近亲属关于股份锁定及减持的承诺

一、自恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市之日起36个月内，本人不转让或者委托他人管理本人直接或间接持有的恒运昌首次公开发行股票前已发行的股份，也不由恒运

昌回购该等股份。若因公司进行权益分派等导致本人持有的公司股份发生变化的，本人仍将遵守上述承诺。

二、本人将严格履行上述承诺，若本人因未履行上述承诺而获得收入的，所得收入归恒运昌所有；如果因本人未履行承诺事项给恒运昌或者其他投资者造成损失的，本人将依法承担赔偿责任。

注16：公司关于稳定股价的承诺

一、稳定股价预案启动与终止条件

（一）启动股价稳定措施的具体条件

50/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告公司自上市后三年内，除不可抗力等因素所导致的股价下跌之外，如公司股票连续20个交易日的收盘价均低于公司最近一期经审计的每股净资产（最近一期审计基准日后，因利润分配、资本公积金转增股本、增发、配股等情况导致公司净资产或股份总数出现变化的，须进行相应调整，下同），且同时满足相关回购、增持公司股份等行为的法律、法规和规范性文件的规定时（以下简称“触发稳定股价条件”），应按照股价稳定预案规定启动稳定股价措施。

（二）终止股价稳定措施的情形

自股价稳定方案公告之日起，若出现以下任一情形，则视为本次稳定股价措施实施完毕及承诺履行完毕，已公告的稳定股价方案终止执行：

* 公司 A 股股票连续 3 个交易日的收盘价均高于公司上一年期末经审计的每股净资产（上一年期末审计基准日后，因利润分配、资本公积转增股本、增发、配股等情况导致公司净资产或股份总数出现变化的，每股净资产相应进行调整）；

*继续回购或增持公司股份将导致公司股权分布不符合上市条件。

*各相关主体在连续12个月内购买股份的数量或用于购买股份的数量的金额已达到上限。

二、股价稳定相关措施及承诺

（一）本公司承诺

本公司承诺：

公司董事会应在公司上述触发稳定股价条件之日起的10个交易日内作出回购股票的决议，制定明确、具体的回购方案，方案内容包括但不限于拟回购本公司股份的种类、数量区间、价格区间、实施期限等内容，并在履行完毕相关内部决策程序和外部审批/备案程序（如需）后实施，且按照上市公司信息披露要求予以公告。

公司将自公司制定的股价稳定方案履行完毕决策程序之日起120个自然日内通过证券交易所交易系统回购公司社会公众股份，公司单次用于回购股份数量最大限额为公司股本总额的1%，如公司单次回购股份后，仍不能达到稳定股价措施的停止条件，则公司继续进行回购，12个月内累计回购股份数量不超过公司股份总数的2%，回购后公司的股权分布应当符合上市条件，回购行为及信息披露、回购后的股份处置应当符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》及其他相关法律、行政法规的规定。

如公司在首次公开发行人民币普通股（A 股）股票并在科创板上市后 3 年内新聘在公司任职并领取薪酬的公司董事（独立董事除外）、高级管理人员的，公司将在其作出承诺履行公司发行上市时负有增持义务的董事、高级管理人员已作出的相应承诺要求后，方可聘任。

公司可以根据公司及市场的实际情况，采取其他经证券监督管理部门认可的方式维护公司股价稳定，具体措施实施应以维护上市公司地位、保护公司及广大投资者利益为原则，遵循法律、法规及证券交易所的相关规定，并应按照证券交易所上市规则及其他适用的监管规定履行其相应的信息披露义务。

注17：公司控股股东恒运昌投资关于稳定股价的承诺

若股份回购预案未获得公司董事会及股东大会（如需）批准或者公司回购股份达到预案上限后，公司股票连续20个交易日的收盘价仍均低于公司最近一期经审计的每股净资产时，本公司应以书面形式向公司提交明确、具体的增持方案，方案内容包括但不限于拟增持的股份种类、数量区间、价格区间、实施期限等内容。公司应于收到书面方案通知之日的次日予以公告。自本公司提出的股价稳定方案公告次日起，本公司可以开始实施增持计划。

本公司将自股价稳定方案公告之日起30个交易日内通过证券交易所交易系统增持，增持价格不高于公司上一年期末经审计的每股净资产（上一年期末审计基准日后，因利润分配、资本公积转增股本、增发、配股等情况导致公司净资产或股份总数出现变化的，每股净资产相应进行调整），单次或累计12个月用于增持恒运昌股份的金额不超过上年度直接从公司领取的现金分红（税后）的50%，增持计划完成后的六个月内将不出售所增持的股份，增持后公司的股权分布应当符合上市条件，增持股份行为及信息披露应当符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》及其他相关法律、行政法规的规定。本公司可以根据公司及市场的实际情况，采取其他经证券监督管理部门认可的方式维护公司股价稳定，具体措施实施应以维护上市公司地位、保护公司及广大投资者利益为原则，遵循法律、法规及证券交易所的相关规定，并应按照证券交易所上市规则及其他适用的监管规定履行其相应的信息披露义务。

在恒运昌就回购股份事宜召开的董事会及股东大会上，本公司对恒运昌承诺的回购股份方案的相关决议投赞成票。

注18：公司实际控制人乐卫平关于稳定股价的承诺

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若股份回购预案未获得公司董事会及股东大会（如需）批准或者公司回购股份达到预案上限后，公司股票连续20个交易日的收盘价仍均低于公司最近一期经审计的每股净资产时，本人应以书面形式向公司提交明确、具体的增持方案，方案内容包括但不限于拟增持的股份种类、数量区间、价格区间、实施期限等内容。公司应于收到书面方案通知之日的次日予以公告。自本人提出的股价稳定方案公告次日起，本人可以开始实施增持计划。

本人将自股价稳定方案公告之日起30个交易日内通过证券交易所交易系统增持，增持价格不高于公司上一年期末经审计的每股净资产（上一年期末审计基准日后，因利润分配、资本公积转增股本、增发、配股等情况导致公司净资产或股份总数出现变化的，每股净资产相应进行调整），单次或累计12个月用于增持恒运昌股份的金额不超过上年度直接从公司领取的现金分红（税后）的50%，增持计划完成后的六个月内将不出售所增持的股份，增持后公司的股权分布应当符合上市条件，增持股份行为及信息披露应当符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》及其他相关法律、行政法规的规定。

本人可以根据公司及市场的实际情况，采取其他经证券监督管理部门认可的方式维护公司股价稳定，具体措施实施应以维护上市公司地位、保护公司及广大投资者利益为原则，遵循法律、法规及证券交易所的相关规定，并应按照证券交易所上市规则及其他适用的监管规定履行其相应的信息披露义务。

在恒运昌就回购股份事宜召开的董事会及股东大会上，本人对恒运昌承诺的回购股份方案的相关决议投赞成票。

注 19：在公司任职且领取薪酬的董事（不含独立董事）及/或高级管理人员乐卫平、刘涛、TAN YAN PENG、郑悦佳、庄丽华关于稳定股价的承诺

控股股东及实际控制人增持公司 A 股股票完成后 15 个交易日内，若终止股价稳定措施的情形未出现，则本人及其他负有增持义务的董事及高级管理人员将以书面形式向公司提交明确、具体的增持方案，方案内容包括但不限于拟增持的股份种类、数量区间、价格区间、实施期限等内容。公司应于收到书面通知书之日的次日予以公告。

自董事、高级管理人员提出的股价稳定方案公告次日起，本人可以开始实施增持计划。

本人将自股价稳定方案公告之日起30个交易日内通过证券交易所交易系统增持公司社会公众股份，增持价格不高于公司上一年期末经审计的每股净资产（上一年期末审计基准日后，因利润分配、资本公积金转增股本、增发、配股等情况导致公司净资产或股份总数出现变化的，每股净资产相应进行调整），单次用于增持公司股份的资金额不超过本人上一年度从公司领取薪酬（税后）或津贴总和的15%，且年度用于增持股份的资金不超过其上一年度领取的薪酬（税后）或津贴总和的30%。超过该标准的，有关稳定股价措施在当年都不再继续实施。但如下一年度继续出现需启动稳定股价措施的情形时，将继续按照上述原则执行稳定股价预案。增持计划完成后的六个月内将不出售所增持的股份，增持后公司的股权分布应当符合上市条件，增持股份行为及信息披露应当符合《公司法》《证券法》及其他相关法律、行政法规的规定。

本人可以根据公司及市场的实际情况，采取其他经证券监督管理部门认可的方式维护公司股价稳定，具体措施实施应以维护上市公司地位、保护公司及广大投资者利益为原则，遵循法律、法规及证券交易所的相关规定，并应按照证券交易所上市规则及其他适用的监管规定履行其相应的信息披露义务。

注20：公司关于欺诈发行上市及股份回购的承诺

一、本公司符合科创板上市发行条件，申请本次发行及上市的相关申报文件所披露的信息真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏等重大信息披露违法之情形。

二、如果恒运昌不符合发行上市条件，以欺骗手段骗取发行注册并已经发行上市的，恒运昌承诺，在中国证监会确认后5个工作日内启动股份购回程序，依法回购首次公开发行的全部新股。具体购回措施如下：

自中国证监会或其他有权机关认定本公司存在上述情形并要求购回股票之日起5个工作日内，制订股份回购方案并提交股东会审议批准，通过上海证券交易所交易系统回购本公司首次公开发行的全部新股，回购价格将以发行价为基础并参考相关市场因素确定。本公司上市后发生派息、送股、资本公积转增股本等除权除息事项的，上述发行价格做相应调整。上述购回措施实施时法律法规另有规定的从其规定。

注21：公司控股股东恒运昌投资关于欺诈发行上市及股份回购的承诺

一、本公司确保恒运昌本次发行及上市不存在任何欺诈发行的情形。

二、如因恒运昌不符合发行上市条件，以欺骗手段骗取发行注册并已经发行上市的，本公司将在中国证监会等有权部门确认后5个工作日内启动股份购回程序，购回公司本次公

开发行的全部新股，回购价格将以发行价为基础并参考相关市场因素确定。上述购回措施实施时法律法规另有规定的从其规定。

三、上述承诺为本公司真实意思表示，本公司自愿接受监管机构、自律组织及社会公众的监督，若违反上述承诺本公司将依法承担相应责任。

注22：公司实际控制人乐卫平关于欺诈发行上市及股份回购的承诺

一、本人确保恒运昌本次发行及上市不存在任何欺诈发行的情形。

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二、如因恒运昌不符合发行上市条件，以欺骗手段骗取发行注册并已经发行上市的，本人将在中国证监会等有权部门确认后5个工作日内启动股份购回程序，购回公司本次公开

发行的全部新股，回购价格将以发行价为基础并参考相关市场因素确定。上述购回措施实施时法律法规另有规定的从其规定。

三、上述承诺为本人真实意思表示，本人自愿接受监管机构、自律组织及社会公众的监督，若违反上述承诺本人将依法承担相应责任。

注23：公司关于填补被摊薄即期回报的承诺

一、加强募集资金管理，提高资金利用率，保证募集资金合理合法使用

为规范公司募集资金的使用与管理，确保募集资金的使用规范、安全、高效，本公司制定了《募集资金管理制度》，对募集资金的存放、使用、管理等事项进行了规范，以保证募集资金存放和使用的安全，防止募集资金被控股股东、实际控制人等关联方占用或挪用。本次公开发行股票结束后，募集资金将存放于董事会指定的专项账户中，以保证募集资金合理规范使用，防范募集资金使用风险。

二、完善利润分配制度，强化投资者回报制度

据中国证监会《关于进一步落实上市公司现金分红有关事项的通知》和《上市公司监管指引第3号—上市公司现金分红（2023修订）》的要求，公司进一步完善和细化了利润分配政策。为了明确本次发行后对投资者的回报，《公司章程》明确了有关利润分配政策的决策制度和程序的相关条款；为更好地保障全体股东的合理回报，进一步细化公司章程中有关利润分配政策的相关条款，制定了《公司上市后三年内股东分红回报规划》。公司上市后将严格执行公司的分红政策，强化投资者回报制度。

三、加快募集资金投资项目的建设

本次发行募集资金拟投资沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中

心项目和补充流动资金，公司已对募投项目进行可行性研究论证，证明募投项目符合行业发展趋势。

本次发行募集资金到位前，为尽快实现募投项目效益，本公司将积极调配资源，提前积极布局；本次发行募集资金到位后，在符合法律、法规及其他规范性法律文件和公司内部制度的前提下，本公司将尽可能加快推进募投项目建设，加快实现募集资金投资项目的预期经济效益，降低本次发行导致的股东即期回报摊薄的风险。

四、着力提升公司的市场竞争力，积极推进恒运昌业务发展

公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进销售真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。为增强公司的持续回报能力，公司将健全和完善技术创新机制；

通过进一步巩固在优势领域的产品以及新产品的开发，奠定长期稳定发展的基础。在充分把握行业发展趋势的基础上，公司将采取各种措施保证合理整合内外部资源，加大研发管理创新力度，提升公司的核心竞争能力和整体盈利水平。

五、公司对填补被摊薄即期回报措施的承诺

本公司承诺将积极推进上述填补被摊薄即期回报的措施。若未履行前述承诺，本公司将及时公告未履行的事实及理由，除因不可抗力或其他非归属于本公司的原因外，将向本公司股东和社会公众投资者道歉，同时向投资者提出补充承诺或替代承诺，以尽可能保护投资者的利益。

注24：公司控股股东恒运昌投资关于填补被摊薄即期回报的承诺

为贯彻执行《国务院办公厅关于进一步加强资本市场中小投资者合法权益保护工作的意见》《国务院关于进一步促进资本市场健康发展的若干意见》《关于首发及再融资、重大资产重组摊薄即期回报有关事项的指导意见》等相关规定和文件精神，作为恒运昌的控股股东，本公司不越权干预恒运昌经营管理活动，不侵占恒运昌利益。若本公司未履行上述承诺，本公司将在恒运昌股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公开作出解释并道歉，并接受中国证券监督管理委员会和证券交易所等证券监管机构按照其制定或发布的有关规定、规则，对本公司作出相关处罚或采取相关监管措施。若本公司未履行上述承诺给恒运昌或者恒运昌股东造成损失，本公司将依法承担补偿责任。

注25：公司实际控制人乐卫平关于填补被摊薄即期回报的承诺

为贯彻执行《国务院办公厅关于进一步加强资本市场中小投资者合法权益保护工作的意见》《国务院关于进一步促进资本市场健康发展的若干意见》《关于首发及再融资、重大资产重组摊薄即期回报有关事项的指导意见》等

相关规定和文件精神，作为恒运昌的实际控制人，本人不越权干预恒运昌经营管理活动，不侵占恒运昌利益。若本人未履行上述承诺，本人将在恒运昌股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公开作出解释并道歉，并接受中国证券监督管理委员会和证券交易所等证券监管机构按照其制定或发布的有关规定、规则，对本人作出相关处罚或采取相关监管措施。若本人未履行上述承诺给恒运昌或者恒运昌股东造成损失，本人将依法承担补偿责任。

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注 26：公司董事、原监事、高级管理人员乐卫平、刘涛、杨喜荣、吴黎明、刘彭义、赖小琼、王天东、姚志毅、俞日明、丁鹏、TANYANPENG、郑悦佳、庄丽华关于填补被摊薄即期回报的承诺

（一）不无偿或以不公平条件向其他单位或者个人输送利益，也不采用其他方式损害恒运昌利益；

（二）对本人的职务消费行为进行约束；

（三）不动用恒运昌资产从事与本人履行职责无关的投资、消费活动；

（四）由董事会或薪酬与考核委员会制定的薪酬制度与恒运昌填补回报措施的执行情况相挂钩；

（五）如恒运昌未来进行股权激励，拟公布的股权激励的行权条件将与恒运昌填补回报措施的执行情况相挂钩。

若本人未履行上述承诺，本人将在恒运昌股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公开作出解释并道歉，并接受中国证券监督管理委员会和证券交易所等证券监管机构按照其制定或发布的有关规定、规则，对本人作出相关处罚或采取相关监管措施。若本人未履行上述承诺给恒运昌或者恒运昌股东造成损失，本人将依法承担补偿责任。

注27：公司关于执行利润分配政策的承诺

本公司承诺本次公开发行股票并在科创板上市后将严格按照《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程（草案）》及《公司上市后三年股东分红回报规划》的相关规定进行利润分配。

本公司将积极履行利润分配政策，若违反前述承诺（因相关法律法规、政策变化、自然灾害及其他不可抗力等公司无法控制的客观原因导致的除外），本公司将公开说明未履行承诺的具体原因并向股东和社会公众投资者道歉，同时向本公司投资者提出补充承诺或替代承诺并将上述补充承诺或替代承诺提交本公司股东会审议，以尽可能保护投资者的权益。

注28：控股股东恒运昌投资关于执行利润分配政策的承诺

一、本公司在本次公开发行股票并在科创板上市后将严格遵守《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程（草案）》及《公司上市后三年股东分红回报规划》。

二、在审议公司利润分配议案的股东会上，本公司对符合《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程（草案）》及《公司上市后三年股东分红回报规划》要求的利润分配议案投赞成票。

三、本公司将督促公司根据相关决议实施利润分配。

注29：实际控制人乐卫平关于执行利润分配政策的承诺

一、本人在本次公开发行股票并在科创板上市后将严格遵守《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程（草案）》及《公司上市后三年股东分红回报规划》。

二、在审议公司利润分配议案的股东会上，本人对符合《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程（草案）》及《公司上市后三年股东分红回报规划》要求的利润分配议案投赞成票。

三、本人将督促公司根据相关决议实施利润分配。

注30：公司关于依法承担赔偿责任的承诺

一、公司招股说明书及其他信息披露资料所载内容真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，本公司对招股说明书及其他信息披露资料所载内容的真实性、准确性和完整性承担个别和连带的法律责任。

二、若因本公司首次公开发行股票并在科创板上市的招股说明书及其他信息披露资料有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，对判断本公司是否符合法律规定的发行条件构成重

大、实质影响，本公司将在该等违法违规事实被有权机关认定之日起十个交易日内召开董事会并提议尽快召开股东会，本公司将按照董事会、股东会审议通过的股份回购具体方案回购本公司首次公开发行的全部新股，回购价格不低于恒运昌首次公开发行股票时的发行价并加算同期银行活期存款利息（若需回购的股票有派息、送股、资本公积金转增股本、配股等除权除息情况的，发行价格将根据除权除息情况作相应调整）。

三、若本公司首次公开发行股票并上市的招股说明书及其他信息披露资料有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，致使投资者在证券交易中遭受损失，本公司将依法赔偿投资者损失。有权获得赔偿的投资者资格、投资者损失的范围认定、赔偿主体之间的责任划分和免责事由按照《中华人民共和国证券法》《最高人民法院关于审理证券市场虚假陈述侵权民事赔偿案件的若干规定》等相关法律法规的规定执行，如相关法律法规相应修订，则按届时有效的法律法规执行。

四、若本公司未履行上述承诺，本公司将在股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公开说明未履行的具体原因并向本公司股东和社会公众投资者道歉，并按中国证监会及有关司法部门依法认定的实际损失向投资者进行赔偿。

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注31：公司控股股东恒运昌投资及实际控制人乐卫平关于依法承担赔偿责任的承诺

一、恒运昌招股说明书及其他信息披露资料所载内容真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，本人/本企业对招股说明书及其他信息披露资料所载内容的真

实性、准确性和完整性承担个别和连带的法律责任。

二、如恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市的招股说明书及其他信息披露资料有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，对判断公司是否符合法律规定的发行条件构成重大、

实质影响的，在中国证监会等有权部门作出最终认定或司法机关作出生效判决后，本人/本企业将促使公司召开股东会回购首次公开发行的全部新股，并在股东会中投赞成票。同时依法回购已转让的原限售股份。

三、如恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市的招股说明书及其他信息披露资料有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，致使投资者在证券交易中遭受损失，本人/本企业将依

法赔偿投资者损失。有权获得赔偿的投资者资格、投资者损失的范围认定、赔偿主体之间的责任划分和免责事由按照《中华人民共和国证券法》《最高人民法院关于审理证券市场虚假陈述侵权民事赔偿案件的若干规定》等相关法律法规的规定执行，如相关法律法规相应修订，则按届时有效的法律法规执行。

四、若本人/本企业未履行上述承诺，本人/本企业将在恒运昌股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公开就未履行上述承诺向恒运昌股东和社会公众投资者道歉，暂停从恒

运昌处取得薪酬（如有）及股东分红（如有），同时本人/本企业直接或间接持有的恒运昌股份将不得转让，直至本人/本企业按上述承诺采取相应的购回或赔偿措施并实施完毕时为止。

注 32：公司全体董事、原监事及高级管理人员乐卫平、刘涛、杨喜荣、吴黎明、刘彭义、赖小琼、王天东、姚志毅、俞日明、丁鹏、TANYANPENG、郑悦佳、庄丽华关于依法承担赔偿责任的承诺

一、恒运昌招股说明书及其他信息披露资料所载内容真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，本人对招股说明书及其他信息披露资料所载内容的真实性、准确性和完整性承担个别和连带的法律责任。

二、如恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市的招股说明书及其他信息披露资料有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，致使投资者在证券交易中遭受损失，本人将依法赔偿投资者损失。

注33：公司关于未能履行公开承诺事项的约束措施

一、如果本公司未履行招股说明书披露的公开承诺事项，本公司将在股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公开说明未履行的具体原因并向股东和社会公众投资者道歉。

二、如果因未履行相关公开承诺事项给投资者造成损失的，本公司将依法向投资者赔偿相关损失。

三、如因不可抗力导致未能履行公司招股说明书中披露的承诺事项，本公司将采取以下措施：及时、充分披露本公司承诺未能履行的原因；向公司投资者提出补充承诺或替代承诺，以尽可能保护投资者的权益。

注34：公司控股股东恒运昌投资关于未能履行公开承诺事项的约束措施

一、如果本公司未履行招股说明书披露的公开承诺事项，本公司将在股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公开说明未履行的具体原因并向股东和社会公众投资者道歉。

二、如果因未履行相关公开承诺事项给投资者造成损失的，本公司将依法向投资者赔偿相关损失。

三、如因不可抗力导致未能履行公司招股说明书中披露的承诺事项，本公司将采取以下措施：及时、充分披露承诺未能履行的原因；向公司投资者提出补充承诺或替代承诺，以尽可能保护投资者的权益。

注35：公司实际控制人乐卫平关于未能履行公开承诺事项的约束措施

一、如果本人未履行招股说明书披露的公开承诺事项，本人将在股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公开说明未履行的具体原因并向股东和社会公众投资者道歉。

二、如果因未履行相关公开承诺事项给投资者造成损失的，本人将依法向投资者赔偿相关损失。

三、如因不可抗力导致未能履行公司招股说明书中披露的承诺事项，本人将采取以下措施：及时、充分披露承诺未能履行的原因；向公司投资者提出补充承诺或替代承诺，以尽可能保护投资者的权益。

注36：公司其他持股5%以上股东投资中心、国投大湾区基金、曹立及林伟群关于未能履行公开承诺事项的约束措施

一、如果本人/本企业未履行招股说明书披露的公开承诺事项，本人/本企业将在股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公开说明未履行的具体原因并向股东和社会公众投资者道歉。

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二、如果因未履行相关公开承诺事项给投资者造成损失的，本人/本企业将依法向投资者赔偿相关损失。

三、如因不可抗力导致未能履行公司招股说明书中披露的承诺事项，本人/本企业将采取以下措施：及时、充分披露承诺未能履行的原因；向公司投资者提出补充承诺或替代承诺，以尽可能保护投资者的权益。

注 37：公司全体董事、原监事、高级管理人员及核心技术人员乐卫平、刘涛、杨喜荣、吴黎明、刘彭义、赖小琼、王天东、姚志毅、俞日明、丁鹏、TANYANPENG、郑悦佳、

庄丽华、林伟群、林桂浩、唐亚海关于未能履行公开承诺事项的约束措施

一、如果本人未履行招股说明书披露的公开承诺事项，本人将在股东会及中国证券监督管理委员会指定报刊上公开说明未履行的具体原因并向股东和社会公众投资者道歉。

二、如果因未履行相关公开承诺事项给投资者造成损失的，本人将依法向投资者赔偿相关损失。

三、如因不可抗力导致未能履行公司招股说明书中披露的承诺事项，本人将采取以下措施：及时、充分披露承诺未能履行的原因；向公司投资者提出补充承诺或替代承诺，以尽可能保护投资者的权益。

注38：公司控股股东恒运昌投资、实际控制人乐卫平关于避免同业竞争的承诺

一、截至本承诺函出具之日，本企业/本人及本企业/本人控制的其他企业未在中国境内外直接或间接控制其他与公司及子公司相同、类似或在任何方面构成竞争的企业，或对该等

相竞争的企业施以重大影响，亦未直接或间接从事其他与公司及子公司相同、类似的业务或活动；

二、自本承诺函签署之日起，本企业/本人及本企业/本人控制的其他企业未来将不会在中国境内外直接或间接地以任何形式从事与公司及子公司相同、类似或在任何方面构成竞争的业务或活动；

三、凡本企业/本人及本企业/本人控制的其他企业拟从事的业务或活动可能与公司及子公司存在同业竞争的，本企业/本人将促使该业务或业务机会按公平合理的条件优先提供给

公司及子公司或采用任何其他可以被监管部门所认可的方案，避免与公司及子公司形成同业竞争；

四、若本企业/本人违反本承诺给公司或其他投资者造成损失的，本企业/本人将向公司或其他投资者依法承担赔偿责任；

五、本承诺在本企业/本人作为公司的控股股东/实际控制人期间持续有效。

注39：公司已出具《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司关于在审期间不进行现金分红的专项承诺》

为维护公司全体股东和投资者的合法权益，恒运昌承诺：公司本次发行上市在审期间不进行现金分红，上市完成前的滚存未分配利润由本次发行完成后的新老股东按照持股比例共享。

注40：公司控股股东恒运昌投资、实际控制人乐卫平关于规范和减少关联交易的承诺

一、本人/本企业所控制的其他任何企业与公司发生的关联交易已经充分的披露，不存在虚假陈述或者重大遗漏。

二、本人/本企业所控制的其他任何企业与公司发生的关联交易均按照正常商业行为准则进行，交易价格公允，不存在损害公司及其子公司权益的情形。

三、本人/本企业所控制的其他任何企业将尽量避免与公司之间产生关联交易事项，对于不可避免发生的关联业务往来或交易，将在平等、自愿的基础上，按照公平、公允和等价

有偿的原则进行，本人/本企业控制的其他企业将严格按照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程》《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司关联交易管理制度》等相关规定规范关联交易行为，并将履行合法程序，及时对关联交易事项进行信息披露；本人/本企业承诺不会利用关联交易转移、输送利润，不会通过公司的经营决策权损害公司及其他股东的合法权益。

四、本人/本企业将督促本人/本企业的配偶、成年子女及其配偶，子女配偶的父母，本人/本企业的兄弟姐妹及其配偶、本人/本企业配偶的兄弟姐妹及其配偶，以及本人/本企业投

资的企业等关联方，同受本承诺函的约束。

五、本人/本企业承诺以上承诺真实、准确和完整，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏；如若违反本承诺，本人/本企业将承担相应法律责任。在本人/本企业为公司实际控

制人期间，上述承诺持续有效。

六、本人/本企业承诺，自本说明出具日起至公司完成上市前，若前述说明情况发生任何变化或发现相关信息存在错误、遗漏等，则本人/本企业将在相关事实或情况发生后及时告知深圳市恒运昌真空技术股份有限公司及相关中介机构。

七、若本人/本企业未履行减少和规范关联交易承诺而给公司或其他投资者造成损失的，本人/本企业将向恒运昌或其他投资者依法承担相应责任。

注41：其他持股5%以上股东投资中心、国投大湾区基金、曹立及林伟群关于规范和减少关联交易的承诺

一、本人/本企业所控制的其他任何企业与公司发生的关联交易已经充分的披露，不存在虚假陈述或者重大遗漏。

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二、本人/本企业所控制的其他任何企业与公司发生的关联交易均按照正常商业行为准则进行，交易价格公允，不存在损害公司及其子公司权益的情形。

三、本人/本企业所控制的其他任何企业将尽量避免与公司之间产生关联交易事项，对于不可避免发生的关联业务往来或交易，将在平等、自愿的基础上，按照公平、公允和等价

有偿的原则进行，本人/本企业控制的其他企业将严格按照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程》《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司关联交易管理制度》等相关规定规范关联交易行为，并将履行合法程序，及时对关联交易事项进行信息披露；本人/本企业承诺不会利用关联交易转移、输送利润，不会通过公司的经营决策权损害公司及其他股东的合法权益。

四、本人/本企业将督促本人/本企业的配偶、成年子女及其配偶，子女配偶的父母，本人/本企业的兄弟姐妹及其配偶、本人/本企业配偶的兄弟姐妹及其配偶，以及本人/本企业投

资的企业等关联方，同受本承诺函的约束。

五、本人/本企业承诺以上承诺真实、准确和完整，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏；如若违反本承诺，本人/本企业将承担相应法律责任。在本人/本企业为公司实际控

制人期间，上述承诺持续有效。

六、本人/本企业承诺，自本说明出具日起至公司完成上市前，若前述说明情况发生任何变化或发现相关信息存在错误、遗漏等，则本人/本企业将在相关事实或情况发生后及时告知深圳市恒运昌真空技术股份有限公司及相关中介机构。

七、若本人/本企业未履行减少和规范关联交易承诺而给公司或其他投资者造成损失的，本人/本企业将向恒运昌或其他投资者依法承担相应责任。

注 42：公司全体董事、原监事及高级管理人员乐卫平、刘涛、杨喜荣、吴黎明、刘彭义、赖小琼、王天东、姚志毅、俞日明、丁鹏、TANYANPENG、郑悦佳、庄丽华关于规范和减少关联交易的承诺

一、本人/本企业所控制的其他任何企业与公司发生的关联交易已经充分的披露，不存在虚假陈述或者重大遗漏。

二、本人/本企业所控制的其他任何企业与公司发生的关联交易均按照正常商业行为准则进行，交易价格公允，不存在损害公司及其子公司权益的情形。

三、本人/本企业所控制的其他任何企业将尽量避免与公司之间产生关联交易事项，对于不可避免发生的关联业务往来或交易，将在平等、自愿的基础上，按照公平、公允和等价

有偿的原则进行，本人/本企业控制的其他企业将严格按照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程》《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司关联交易管理制度》等相关规定规范关联交易行为，并将履行合法程序，及时对关联交易事项进行信息披露；本人/本企业承诺不会利用关联交易转移、输送利润，不会通过公司的经营决策权损害公司及其他股东的合法权益。

四、本人/本企业将督促本人/本企业的配偶、成年子女及其配偶，子女配偶的父母，本人/本企业的兄弟姐妹及其配偶、本人/本企业配偶的兄弟姐妹及其配偶，以及本人/本企业投

资的企业等关联方，同受本承诺函的约束。

五、本人/本企业承诺以上承诺真实、准确和完整，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏；如若违反本承诺，本人/本企业将承担相应法律责任。在本人/本企业为公司实际控

制人期间，上述承诺持续有效。

六、本人/本企业承诺，自本说明出具日起至公司完成上市前，若前述说明情况发生任何变化或发现相关信息存在错误、遗漏等，则本人/本企业将在相关事实或情况发生后及时告知深圳市恒运昌真空技术股份有限公司及相关中介机构。

七、若本人/本企业未履行减少和规范关联交易承诺而给公司或其他投资者造成损失的，本人/本企业将向恒运昌或其他投资者依法承担相应责任。

注43：公司控股股东恒运昌投资、实际控制人乐卫平关于避免资金占用对外担保的承诺

截至本承诺出具之日，本人/本企业不存在以任何方式违规占用或使用公司的资金、资产和资源的情形，也不存在违规要求公司为本人/本企业的借款或其他债务提供担保的情形；

自本承诺出具之日起，本人/本企业及本人/本企业控制的其他企业将严格遵守法律、法规、规范性文件以及公司相关规章制度的规定，不以任何方式违规占用或使用公司的资金、资产和资源，也不会违规要求公司为本人/本企业及本人/本企业控制的其他企业的借款或其他债务提供担保；截至本承诺出具之日，本人/本企业及本人/本企业控制的其他企业无正在履行的对外担保合同。本人/本企业保证并确保，本人/本企业及本人/本企业控制的其他企业不会签署和/或履行任何对外担保协议，不会作出任何对外担保承诺，不会受任何对外担保义务的约束；本人/本企业将按《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司章程》的规定，在审议涉及要求公司为本人/本企业及本人/本企业控制的其他企业提供担保的任何董事会、股东会上回避表决；在审议涉及本人/本企业及本人/本企业控制的其他企业违规占用公司资金、资产和资源的任何董事会、股东会上投反对票，依法维护公司利益；前述承诺系无条件且不可撤销的，并在本人/本企业继续为公司的实际控制人/控股股东期间持续有效。本人/本企业违反前述承诺将承担公司、公司其他股东或利益相关方因此所受到的任何损失。

注44：公司关于不存在重大违法违规行为的承诺

57/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

报告期内，本公司不存在任何重大违法违规行为。

本公司承诺以上关于本公司的信息是真实、准确和完整的，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏。若本公司违反上述保证，本公司将承担相应的法律责任。

注45：公司控股股东恒运昌投资、实际控制人乐卫平关于不存在重大违法违规行为的承诺

报告期内，本人/本企业不存在任何重大违法违规行为。

本人/本企业承诺，自本声明与承诺出具日起至公司完成上市前，若前述说明情况发生任何变化或发现相关信息存在错误、遗漏等，则本人/本企业将在相关事实或情况发生后及时告知公司及相关中介机构。本人/本企业承诺以上关于本人/本企业的信息是真实、准确和完整的，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏。

注46：公司已出具《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司关于股东信息披露的专项承诺》

1、本公司已在招股说明书中真实、准确、完整地披露了股东信息；

2、本公司不存在法律法规规定禁止持股的主体直接或间接持有本公司股份的情形；

3、本次发行的保荐人中信证券股份有限公司通过其全资子公司中信证券投资有限公司间接持有恒运昌30.8470万股股份，并通过以自有、资管或募集资金投资的已经基金业协

会备案的相关金融产品间接持有少量本公司股份。

除上述情形外，本次发行的中介机构或其负责人、高级管理人员、经办人员未直接或间接持有本公司股份；

4、本公司不存在以公司股权进行不当利益输送的情形。

注47：公司控股股东恒运昌投资、实际控制人乐卫平关于承担公司社会保险、住房公积金未足额缴纳风险的承诺

1、恒运昌及其控制的子公司/分支机构未曾就社会保险金及住房公积金缴纳事宜受到社会保障部门、住房公积金部门的行政处罚，亦未就该等事宜与其员工发生任何重大争议、纠纷；

2、本人/本企业将敦促恒运昌及其控制的子公司/分支机构按照法律、法规及其所在地政策规定，为全体符合要求的员工开设社会保险金账户及住房公积金账户，缴存社会保险金

及住房公积金；

3、若恒运昌或其控制的子公司/分支机构未来因未能依法为其员工缴纳社会保险金、住房公积金被社会保障部门、住房公积金部门或恒运昌及其控制的子公司/分支机构的员工本

人/本企业要求补缴或者被追缴社会保险金、住房公积金的，或者因其未能为其员工缴纳社会保险金、住房公积金而受到社会保障部门、住房公积金部门行政处罚的，由此所造成的恒运昌或其控制的子公司/分支机构之一切费用开支、经济损失，本人/本企业将予以全额补偿，保证恒运昌及其控制的子公司/分支机构不因此遭受任何损失。

注48：公司控股股东恒运昌投资、实际控制人乐卫平关于租赁房产瑕疵有关风险的承诺

若公司及其子公司所租赁的房屋存在瑕疵（包括但不限于未办理租赁备案、根据相关主管部门的要求被拆除或拆迁、或租赁合同被认定无效）而受到行政处罚出现任何纠纷，给公司造成经济损失（包括但不限于拆除、搬迁的成本与费用等直接损失，拆除、搬迁期间因此造成的经营损失，被有权部门罚款或者被有关当事人追索而支付的赔偿等），本人/本企业将在无需公司支付任何对价的情况下向公司承担上述损失的连带赔偿责任，以保证公司不因房屋租赁瑕疵而遭受经济损失。

注49：公司股东乐卫平、俞日明关于出资事项有关风险的承诺

就公司设立时本人出资相关事项，公司未因本人的出资行为受到任何行政处罚，公司、股东或公司债权人未以本人的出资行为提起诉讼或索赔，本人就公司设立时本人的出资行

为与第三方不存在任何形式的纠纷或潜在纠纷，本人的出资行为未给公司造成损失。若因公司设立时本人出资相关事项导致公司受到任何行政处罚、或被债权人等权利人提起诉

讼或索赔、或与第三方发生纠纷给公司造成损失，本人将承担因此给公司造成的全部损失。

二、报告期内控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况

□适用√不适用

三、违规担保情况

□适用√不适用

58/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

四、半年报审计情况

□适用√不适用

五、上年年度报告非标准审计意见涉及事项的变化及处理情况

□适用√不适用

六、破产重整相关事项

□适用√不适用

七、重大诉讼、仲裁事项

□本报告期公司有重大诉讼、仲裁事项√本报告期公司无重大诉讼、仲裁事项

八、上市公司及其董事、高级管理人员、控股股东、实际控制人涉嫌违法违规、受到处罚及整改情况

□适用√不适用

九、报告期内公司及其控股股东、实际控制人诚信状况的说明

√适用□不适用

报告期内，公司及公司控股股东、实际控制人不存在未履行法院生效判决，不存在所负数额较大债务到期未清偿等不良诚信状况。

十、重大关联交易

(一)与日常经营相关的关联交易

1、已在临时公告披露且后续实施无进展或变化的事项

□适用√不适用

2、已在临时公告披露，但有后续实施的进展或变化的事项

□适用√不适用

3、临时公告未披露的事项

□适用√不适用

(二)资产收购或股权收购、出售发生的关联交易

1、已在临时公告披露且后续实施无进展或变化的事项

□适用√不适用

2、已在临时公告披露，但有后续实施的进展或变化的事项

□适用√不适用

3、临时公告未披露的事项

□适用√不适用

4、涉及业绩约定的，应当披露报告期内的业绩实现情况

□适用√不适用

59/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(三)共同对外投资的重大关联交易

1、已在临时公告披露且后续实施无进展或变化的事项

□适用√不适用

2、已在临时公告披露，但有后续实施的进展或变化的事项

□适用√不适用

3、临时公告未披露的事项

□适用√不适用

(四)关联债权债务往来

1、已在临时公告披露且后续实施无进展或变化的事项

□适用√不适用

2、已在临时公告披露，但有后续实施的进展或变化的事项

□适用√不适用

3、临时公告未披露的事项

□适用√不适用

(五)公司与存在关联关系的财务公司、公司控股财务公司与关联方之间的金融业务

□适用√不适用

(六)其他重大关联交易

□适用√不适用

(七)其他

□适用√不适用

十一、重大合同及其履行情况

(一)托管、承包、租赁事项

□适用√不适用

(二)报告期内履行的及尚未履行完毕的重大担保情况

□适用√不适用

(三)其他重大合同

□适用√不适用

60/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

十二、募集资金使用进展说明

√适用□不适用

(一)募集资金整体使用情况

√适用□不适用

单位：万元截至报截至报

其中：

招股书或截至报告期末告期末本年度超募资截至报募集说明告期末募集资超募资投入金变更用募集资金总额告期末本年度募集资募集资金募集资金书中募集金到位1（3=累计投金累计金累计额占比途的募

）超募资投入金

金来源总额净额（）资金承诺1-入募集投入进投入进（%）集资金时间（）金累计额（8）

投资总额2资金总度（%）度（%）（9）总额2（）4投入总（）额（）(6)＝(7)＝=(8)/(1)

额（5）(4)/(1)(5)/(3)首次公2026年1开发行22156065.89141375.76146900.00不适用5953.28不适用4.21不适用5953.284.21不适用月日股票

合计/156065.89141375.76146900.00/5953.28///5953.28//其他说明

□适用√不适用

(二)募投项目明细

√适用□不适用

1、募集资金明细使用情况

√适用□不适用

单位：万元是否是否截至报截至投入投入本年本项项目节募集募集资金项目达是项目为招涉及本年投告期末报告进度进度实现目已可行余资金项目名称计划投资到预定否

性质股书变更(1)入金额累计投期末是否未达的效实现性是金来源总额可使用已或者投向入募集累计符合计划益的效否发额

61/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

募集资金总投入状态日结计划的具益或生重

说明额（2）进度期项的进体原者研大变书中（%）度因发成化，

的承(3)＝果如

诺投(2)/(1)是，资项请说目明具体情况首次沈阳半导体公开射频电源系生产

是否14000.005948.315948.3142.492029年不适1否是58.3458.34否/发行统产业化建建设月用股票设项目半导体与真首次空装备核心公开生产

零部件智能是否69000.000002029年不适不适1否是无否/发行建设月用用化生产运营股票基地项目首次研发与前沿公开

技术创新中研发是否35000.000002028年不适不适1否是无否/发行月用用心项目股票首次营销及技术公开运营

支持中心项是否12000.004.974.970.042029年不适不适1否是无否/发行管理月用用目股票首次公开补充流动资补流

是否11375.76000不适不适不适用否是无否/发行金还贷用用股票

合计////141375.765953.285953.28/////58.34///

62/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

2、超募资金明细使用情况

□适用√不适用

3、报告期内募投项目重新论证的具体情况

□适用√不适用

(三)报告期内募投变更或终止情况

□适用√不适用

63/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(四)报告期内募集资金使用的其他情况

1、募集资金投资项目先期投入及置换情况

√适用□不适用

（1）募投项目先期投入置换情况公司于2026年4月25日召开第一届董事会第十五次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换募投项目预先投入的自筹资金及已支付发行费用的议案》，同意公司使用募集资金置换预先投入募投项目的自筹资金和预先支付的发行费用合计人民币6543.57万元，其中，置换已预先投入募投项目的自筹资金金额为5948.31万元，置换已支付发行费用的自筹资金金额为595.26万元（不含增值税）。天健会计师事务所（特殊普通合伙）针对上述事项出具了《关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的鉴证报告》（天健审〔2026〕

3-229号）。保荐人中信证券股份有限公司对此出具了明确的核查意见。具体内容详见公司2026年 4月 28日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《关于使用募集资金置换募投项目预先投入的自筹资金及已支付发行费用的公告》（公告编号：2026-012）。

公司已于2026年5月完成上述募集资金的置换工作，公司本次募集资金置换的时间距募集资金到账时间未超过6个月，符合相关法律法规的要求。

（2）募投项目等额置换情况公司于2026年8月28日召开第一届董事会第十六次会议，审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的议案》，同意公司及实施募投项目的子公司在项目实施过程中，根据实际需要预先使用自有资金支付募投项目部分款项，在经过相关内部审批程序后，后续再由募集资金专户等额置换划转资金至公司及子公司基本存款账户或一般存款账户，该部分等额置换资金视同募投项目使用资金。保荐人中信证券股份有限公司对此出具了明确的核查意见。具体内容详见公司 2026 年 8月 31 日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《关于使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的公告》（公告编号：2026-025）。

2、用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

□适用√不适用

3、对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

√适用□不适用

单位：万元币种：人民币募集资金期间最高用于现金报告期末余额是否董事会审议日期管理的有起始日期结束日期现金管理超出授权效审议额余额额度度

2026年4月25日138000.002026年4月25日2027年4月24日135470.28否

其他说明公司于2026年4月25日召开第一届董事会第十五次会议，审议通过了《关于使用部分暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司使用不超过138000万元（含本数）的暂时闲置募集资金进行现金管理，用于投资安全性高、流动性好、满足保本要求的投资产品，包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、组合存款等。使用期限自公司董事会审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及使用期限范围内，资金可以循环滚动使用。期限内任一时点的交易金额（含前述投资的收益进行再投资的相关金额）不应超过上述额度。投资产品不得用于质押，公司不得使用上述资金从事以证券投资为目的的投资行为。具体内容详见公司2026年 4月 28日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《关于使用部分暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的公告》（公告编号：2026-018）。

64/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

4、其他

√适用□不适用

（1）使用募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目公司于2026年2月26日召开第一届董事会第十四次会议，审议通过了《关于使用募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的议案》，为推进募集资金投资项目的顺利实施，董事会同意公司使用募集资金不超过人民币14000万元向公司全资子公司沈阳恒运昌提供借款用于实

施募投项目“沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目”。借款期限自实际借款之日起至该募投项目实施完成之日止，沈阳恒运昌无需向公司支付利息。本次提供借款不涉及改变募集资金投向及实施主体，不会对公司的财务状况和未来经营成果造成重大不利影响。具体内容详见公司2026年 2月 28日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《关于使用募集资金向全资子公司提供借款以实施募投项目的公告》（公告编号：2026-003）。

（2）增加募投项目实施主体并使用部分募集资金向全资子公司增资及投资设立全资子公司公司于2026年4月25日召开第一届董事会第十五次会议，审议通过了《关于部分募投项目新增实施主体、使用部分募集资金向全资子公司增资并开立募集资金专户的议案》《关于部分募投项目新增实施主体、投资设立全资子公司并开立募集资金专户的议案》。为推进募投项目的建设实施，公司拟在上海、武汉、合肥分别设立全资子公司上海恒运昌、武汉恒运昌、合肥恒运昌并新增公司全资子公司北京恒运昌、上海恒运昌、武汉恒运昌、合肥恒运昌作为募投项目“营销及技术支持中心项目”的实施主体，同时使用部分募集资金向全资子公司北京恒运昌增资、投资设立全资子公司。公司与全资子公司之间将通过增资、注资等方式具体划转募投项目实施所需募集资金，募投项目其他内容不变。具体内容详见公司2026年4月28日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《关于增加募投项目实施主体、向全资子公司增资及投资设立全资子公司并开立募集资金专户的公告》（公告编号：2026-011）。

（3）部分募投项目增加实施地点公司于2026年8月28日召开第一届董事会第十六次会议，审议通过了《关于部分募投项目增加实施地点的议案》。为推进募投项目的建设实施，公司拟在募投项目“研发与前沿技术创新中心项目”的原实施地点到位前，增加公司现有深圳租赁场地作为该募投项目的实施地点，先行开展所涉研发工作。本事项不涉及募集资金用途变更，募投项目其他内容不变。具体内容详见公司 2026 年 8月 31 日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《关于部分募投项目增加实施地点的公告》（公告编号：2026-026）。

(五)中介机构对募集资金存储与使用情况核查异常的相关情况说明

□适用√不适用

(六)擅自变更募集资金用途、违规占用募集资金的后续整改情况

□适用√不适用

十三、其他重大事项的说明

□适用√不适用

65/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

第六节股份变动及股东情况

一、股本变动情况

(一)股份变动情况表

1、股份变动情况表

单位：股

本次变动前本次变动增减（+-）本次变动后公积比例送其比例

数量(%)发行新股金小计数量股他(%)转股

一、有限售50771129100.004202894---42028945497402381.20条件股份

1、国家持---------

股

2、国有法--212580---2125802125800.31

人持股

3、其他内50771129100.003989122---39891225476025180.89

资持股

其中：境内

非国有法人3875537376.333988890---39888904274426363.14持股

境内1201575623.67232---2321201598817.75自然人持股

4、外资持--1192---119211920.00

股

其中：境外--1192---119211920.00法人持股

境外---------自然人持股

二、无限售

条件流通股--12727665---127276651272766518.80份

1、人民币--12727665---127276651272766518.80

普通股

2、境内上---------

市的外资股

3、境外上---------

市的外资股

4、其他---------

三、股份总50771129100.0016930559---1693055967701688100.00数

2、股份变动情况说明

√适用□不适用

66/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕2671号），并经上海证券交易所同意，公司获准首次公开发行人民币普通股（A股）16930559 股，并于 2026 年 1月 28 日在上海证券交易所科创板上市。本次发行前公司总股本为50771129股，首次公开发行股票完成后总股本为67701688股，其中有限售条件流通股54974023股，无限售条件流通股12727665股。具体内容详见公司于 2026 年 1月 27 日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票科创板上市公告书》。

3、报告期后到半年报披露日期间发生股份变动对每股收益、每股净资产等财务指标的影响

□适用√不适用

4、公司认为必要或证券监管机构要求披露的其他内容

□适用√不适用

(二)限售股份变动情况

√适用□不适用

单位：股报告期解报告期增期初限售报告期末解除限售股东名称除限加限售股限售原因股数限售股数日期售股数数

深圳市恒运昌投资有限13108051--13108051首发前限售2029年1公司股月28日

乐卫平11721312--11721312首发前限售2029年1股月28日

深圳市恒运昌投资中心10549592--10549592首发前限售2029年1（有限合伙）股月28日

俞日明294444--294444首发前限售2029年1股月28日

深圳市恒运昌投资发展1619369--1619369首发前限售2029年1中心（有限合伙）股月28日国投（广东）科技成果首发前限售2027年1转化创业投资基金合伙4139245--4139245股月28日企业（有限合伙）江苏瑞芯通宁基金半导首发前限售2027年1体产业投资基金合伙企2069622--2069622股月28日业（有限合伙）首发前限售

拓荆科技股份有限公司1566612-4439852010597股、首发战2027年1略配售限售月28日股中电科核心技术研发股

权投资基金（北京）合771129--771129首发前限售2027年1股月28日

伙企业（有限合伙）

上海浦宸私募投资基金771129--771129首发前限售2027年1合伙企业（有限合伙）股月28日

上海国策绿色科技制造565512--565512首发前限售2027年1私募投资基金合伙企业股月28日

67/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告（有限合伙）深圳市鹏远基石私募股首发前限售2027年1权投资基金合伙企业462656--462656股月28日（有限合伙）

北京光电融合产业投资462656--462656首发前限售2027年1基金（有限合伙）股月28日

江苏疌泉君海荣芯投资462656--462656首发前限售2027年1合伙企业（有限合伙）股月28日上海道禾丰源私募投资首发前限售2027年1基金合伙企业（有限合462656--462656股月28日

伙）青岛鼎量粤恒创业投资基金合伙企业（有限合342722--342722首发前限售2027年1股月28日

伙）

上杭景行创业投资合伙325596--325596首发前限售2027年1企业（有限合伙）股月28日其中

308470

股解除限售日期为首发前限售2027年1中信证券投资有限公司308470-650900959370股、首发战月28略配售限售日；其中股650900股解除限售日期为

2028年1月28日

嘉兴小橡股权投资合伙257042--257042首发前限售2027年1企业（有限合伙）股月28日

嘉兴恒祥创业投资合伙171361--171361首发前限售2027年1企业（有限合伙）股月28日

上海岩泉科技有限公司169639--169639首发前限售2027年1股月28日湖南高创鑫阳创业投资基金合伙企业（有限合154235--154235首发前限售2027年1股月28日

伙）

扬州乾益投资合伙企业15423--15423首发前限售2027年1（有限合伙）股月28日

中微半导体（上海）有--422840422840首发战略配2027年1限公司售限售股月28日

北京屹唐半导体科技股--369985369985首发战略配2027年1份有限公司售限售股月28日长存鸿图股权投资（武汉）合伙企业（有限合--369985369985首发战略配2027年1售限售股月28日

伙）

中电科投资控股有限公--105710105710首发战略配2027年1司售限售股月28日

北京电控产业投资有限--105710105710首发战略配2027年1公司售限售股月28日

68/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

沈阳富创精密设备股份--105710105710首发战略配2027年1有限公司售限售股月28日

豪威集成电路（集团）--105710105710首发战略配2027年1股份有限公司售限售股月28日中信证券资管恒运昌员首发战略配2027年1工参与科创板战略配售--705576705576售限售股月28日集合资产管理计划公司首次公2026年7网下限售股份--816783816783开发行网下月28日配售限售股

合计50771129-420289454974023//

二、股东情况

(一)股东总数:

截至报告期末普通股股东总数(户)9764

截至报告期末表决权恢复的优先股股东总数（户）0

截至报告期末持有特别表决权股份的股东总数（户）0存托凭证持有人数量

□适用√不适用

(二)截至报告期末前十名股东、前十名无限售条件股东持股情况表前十名股东同时通过普通证券账户和证券公司客户信用交易担保证券账户持股的情形

□适用√不适用

单位：股

前十名股东持股情况（不含通过转融通出借股份）

质押、包含标记或转融冻结情通借报告持有有限售况股东名称期末持股比例出股股东

期内(%)条件股份数（全称）数量份的股性质增减量限售份数股份状量数量态

深圳市恒运昌投资-1310805119.3613108051-无-境内非国有限公司有法人境内自然

乐卫平-1172131217.3111721312-无-人

深圳市恒运昌投资-1054959215.5810549592-无-其他中心（有限合伙）国投（广东）创业投资管理有限公司

－国投（广东）科-41392456.114139245-无-其他技成果转化创业投资基金合伙企业（有限合伙）

69/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

北京瑞芯私募基金

管理有限公司－江

苏瑞芯通宁半导体-20696223.062069622-无-其他产业投资基金合伙企业（有限合伙）

拓荆科技股份有限-20105972.972010597-境内非国无-公司有法人深圳市恒运昌投资发展中心（有限合-16193692.391619369-无-其他伙）中国建设银行股份

有限公司－南方信-14300002.11116-无-其他息创新混合型证券投资基金

中信证券投资有限-9593701.42959370--境内非国无公司有法人中电科核心技术研

发股权投资基金-7711291.14771129-无-其他（北京）合伙企业（有限合伙）

前十名无限售条件股东持股情况（不含通过转融通出借股份）持有无限售股份种类及数量股东名称条件流通股种类数量的数量

中国建设银行股份有限公司－南方信息创新混合1429884人民币普通股1429884型证券投资基金

中国银行股份有限公司－易方达供给改革灵活配530313人民币普通股530313置混合型证券投资基金全国社保基金六零二组合341266人民币普通股341266

中国建设银行股份有限公司－嘉实全球产业升级270032人民币普通股270032

股票型发起式证券投资基金（QDII）

招商银行股份有限公司－南方科创板3年定期开214949人民币普通股214949放混合型证券投资基金

南方基金－浙商银行－南方基金鑫源19号国创210898人民币普通股210898动力集合资产管理计划

润晖投资管理香港有限公司－鼎晖稳健成长 A 181000 人民币普通股 181000

股基金（交易所）太平人寿保险有限公司150000人民币普通股150000

中国平安人寿保险股份有限公司－自有资金146502人民币普通股146502

国泰佳泰价值平衡股票型养老金产品－中国建设138049人民币普通股138049银行股份有限公司前十名股东中回购专户情况说明无

上述股东委托表决权、受托表决权、放弃表决权无的说明

70/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

乐卫平持有深圳市恒运昌投资有限公司

70%股权，并担任深圳市恒运昌投资有限公

司的执行董事；深圳市恒运昌投资有限公司

是深圳市恒运昌投资中心（有限合伙）及深

圳市恒运昌投资发展中心（有限合伙）的执上述股东关联关系或一致行动的说明行事务合伙人。深圳市恒运昌投资有限公司、深圳市恒运昌投资中心（有限合伙）、

深圳市恒运昌投资发展中心（有限合伙）均

为乐卫平控制的企业。除此之外，本公司未知其他上述股东之间是否存在关联关系或一致行动人关系。

表决权恢复的优先股股东及持股数量的说明不适用

持股5%以上股东、前十名股东及前十名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况

□适用√不适用

前十名股东及前十名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化

□适用√不适用前十名有限售条件股东持股数量及限售条件

√适用□不适用

单位：股有限售条件股份可上市交易情况持有的有序新增可有限售条件股东名称限售条件限售条件号可上市交上市交股份数量易时间易股份数量

2029年1自上市之日

1深圳市恒运昌投资有限公司13108051-

月28日起36个月

117213122029年12乐卫平28-

自上市之日月日起36个月

3深圳市恒运昌投资中心（有限合伙）105495922029年1自上市之日

月28-日起36个月国投（广东）科技成果转化创业投资41392452027年1-自上市之日4

基金合伙企业（有限合伙）月28日起12个月

江苏瑞芯通宁半导体产业投资基金合20696222027年1-自上市之日5

伙企业（有限合伙）月28日起12个月

2027年1自上市之日

6拓荆科技股份有限公司2010597-

月28日起12个月深圳市恒运昌投资发展中心（有限合

716193692029年1-自上市之日

伙）月28日起36个月

71/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

其中

308470股其中

可上市交308470股易时间为限售期为自

2027年1上市之日起

959370月28日；-12个月；8中信证券投资有限公司

其中其中

650900股650900股

可上市交限售期为自易日期为上市之日起

2028年124个月

月28日

中电科核心技术研发股权投资基金7711292027年1-自上市之日9（北京）合伙企业（有限合伙）月28日起12个月上海浦宸私募投资基金合伙企业（有

107711292027年1自上市之日限合伙）月28-日起12个月

截至报告期末：乐卫平持有深圳市恒运昌投资

有限公司70%股权，并担任深圳市恒运昌投资有限公司的执行董事；深圳市恒运昌投资有限

公司是深圳市恒运昌投资中心（有限合伙）及深

圳市恒运昌投资发展中心（有限合伙）的执行事上述股东关联关系或一致行动的说明务合伙人。深圳市恒运昌投资有限公司、深圳市恒运昌投资中心（有限合伙）、深圳市恒运昌投

资发展中心（有限合伙）均为乐卫平控制的企业。除此之外，本公司未知其他上述股东之间是否存在关联关系或一致行动人关系。

截至报告期末公司前十名境内存托凭证持有人情况表

□适用√不适用

持股5%以上存托凭证持有人、前十名存托凭证持有人及前十名无限售条件存托凭证持有人参与转融通业务出借股份情况

□适用√不适用

前十名存托凭证持有人及前十名无限售条件存托凭证持有人因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化

□适用√不适用前十名有限售条件存托凭证持有人持有数量及限售条件

□适用√不适用

(三)截至报告期末表决权数量前十名股东情况表

□适用√不适用

(四)战略投资者或一般法人因配售新股/存托凭证成为前十名股东

√适用□不适用战略投资者或一般法人的名约定持股起始日期约定持股终止日期称拓荆科技股份有限公司2026年1月28日不适用中信证券投资有限公司2026年1月28日不适用

72/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

拓荆科技股份有限公司参与公司首次公开发行战略配售获配

战略投资者或一般法人参与股票443985股，获配股票的限售期为12个月；中信证券投资配售新股约定持股期限的说有限公司参与公司首次公开发行战略配售获配股票650900明股，获配股票的限售期为24个月。限售期自公司上市之日起计算。

三、董事、高级管理人员和核心技术人员情况

(一)现任及报告期内离任董事、高级管理人员和核心技术人员持股变动情况

□适用√不适用其它情况说明

□适用√不适用

(二)董事、高级管理人员和核心技术人员报告期内被授予的股权激励情况

1、股票期权

□适用√不适用

2、第一类限制性股票

□适用√不适用

3、第二类限制性股票

□适用√不适用

(三)其他说明

□适用√不适用

四、控股股东或实际控制人变更情况

□适用√不适用

五、存托凭证相关安排在报告期的实施和变化情况

□适用√不适用

六、特别表决权股份情况

□适用√不适用

七、优先股相关情况

□适用√不适用

73/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

第七节债券相关情况

一、公司债券（含企业债券）和非金融企业债务融资工具

□适用√不适用

74/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

二、可转换公司债券情况

□适用√不适用

75/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

第八节财务报告

一、审计报告

□适用√不适用

二、财务报表合并资产负债表

2026年6月30日

编制单位：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

单位：元币种：人民币项目附注2026年6月30日2025年12月31日

流动资产：

货币资金七、11060169620.12481406878.80结算备付金拆出资金

交易性金融资产七、2790788945.86衍生金融资产

应收票据七、44608006.578648863.85

应收账款七、5119634007.36100261915.84

应收款项融资七、719147389.4817952985.88

预付款项七、820811421.4415946972.36应收保费应收分保账款应收分保合同准备金

其他应收款七、95306106.464018193.49

其中：应收利息872602.74应收股利买入返售金融资产

存货七、10155478740.65147808836.47

其中：数据资源合同资产持有待售资产一年内到期的非流动资产

其他流动资产七、1310762744.996937176.55

流动资产合计2186706982.93782981823.24

非流动资产：

发放贷款和垫款债权投资其他债权投资长期应收款长期股权投资

其他权益工具投资七、185000000.00其他非流动金融资产投资性房地产

76/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

固定资产七、2189348509.2491810034.23

在建工程七、2222468604.09471439.51生产性生物资产油气资产

使用权资产七、2522832539.7513154822.10

无形资产七、26244070.51449813.33

其中：数据资源开发支出

其中：数据资源商誉

长期待摊费用七、283040641.583055535.27

递延所得税资产七、296636606.088625153.81

其他非流动资产七、302680720.67540106.82

非流动资产合计152251691.92118106905.07

资产总计2338958674.85901088728.31

流动负债：

短期借款向中央银行借款拆入资金交易性金融负债衍生金融负债应付票据

应付账款七、3669434097.4130038801.54预收款项

合同负债七、385785730.7223915540.52卖出回购金融资产款吸收存款及同业存放代理买卖证券款代理承销证券款

应付职工薪酬七、3910050623.6310709308.20

应交税费七、406408985.2210793003.08

其他应付款七、4167330.32166022.76

其中：应付利息应付股利应付手续费及佣金应付分保账款持有待售负债

一年内到期的非流动负债七、4315415626.3910083955.00

其他流动负债七、441865193.493534236.76

流动负债合计109027587.1889240867.86

非流动负债：

保险合同准备金长期借款应付债券

其中：优先股永续债

租赁负债七、4713245769.986568054.54长期应付款

77/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

长期应付职工薪酬预计负债

递延收益七、513594351.685026847.27递延所得税负债其他非流动负债

非流动负债合计16840121.6611594901.81

负债合计125867708.84100835769.67

所有者权益（或股东权益）：

实收资本（或股本）七、5367701688.0050771129.00其他权益工具

其中：优先股永续债

资本公积七、551872056717.45474199493.24

减：库存股

其他综合收益七、57-132414.516525.00专项储备

盈余公积七、5925385564.5025385564.50一般风险准备

未分配利润七、60248079410.57249890246.90

归属于母公司所有者权益2213090966.01800252958.64（或股东权益）合计少数股东权益所有者权益（或股东权2213090966.01800252958.64益）合计

负债和所有者权益2338958674.85901088728.31（或股东权益）总计

公司负责人：乐卫平主管会计工作负责人：郑悦佳会计机构负责人：张慧芳

78/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

母公司资产负债表

2026年6月30日

编制单位：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

单位：元币种：人民币项目附注2026年6月30日2025年12月31日

流动资产：

货币资金994844054.63470292107.25

交易性金融资产680647302.03

衍生金融资产-

应收票据4608006.578648863.85

应收账款十九、1119641606.33101211765.31

应收款项融资19147389.4817952985.88

预付款项20580193.5215874669.85

其他应收款十九、2145024722.553844312.89

其中：应收利息872602.74应收股利

存货152360858.37144710912.33

其中：数据资源合同资产持有待售资产一年内到期的非流动资产

其他流动资产3788973.60

流动资产合计2140643107.08762535617.36

非流动资产：

债权投资其他债权投资长期应收款

长期股权投资十九、3120409150.0090409150.00

其他权益工具投资5000000.00其他非流动金融资产投资性房地产

固定资产30145344.7729932706.25

在建工程21496396.83238555.38生产性生物资产油气资产

使用权资产22549497.1012717392.61

无形资产244070.51449813.33

其中：数据资源开发支出

其中：数据资源商誉

长期待摊费用3040641.583055535.27

递延所得税资产6636606.088625153.81

其他非流动资产2680720.67540106.82

非流动资产合计212202427.54145968413.47

资产总计2352845534.62908504030.83

流动负债：

短期借款

79/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

交易性金融负债衍生金融负债应付票据

应付账款67999731.8128065464.75预收款项

合同负债5868753.8023915540.52

应付职工薪酬9583756.8310207861.41

应交税费6353984.8610755919.73

其他应付款59879.92164791.51

其中：应付利息应付股利持有待售负债

一年内到期的非流动负债15174466.949767120.19

其他流动负债1865193.493534236.76

流动负债合计106905767.6586410934.87

非流动负债：

长期借款应付债券

其中：优先股永续债

租赁负债13191292.956486874.28长期应付款长期应付职工薪酬预计负债

递延收益3594351.685026847.27递延所得税负债其他非流动负债

非流动负债合计16785644.6311513721.55

负债合计123691412.2897924656.42

所有者权益（或股东权益）：

实收资本（或股本）67701688.0050771129.00

其他权益工具-

其中：优先股-

永续债-

资本公积1871706831.43473849607.22

减：库存股-

其他综合收益-

专项储备-

盈余公积25385564.5025385564.50

未分配利润264360038.41260573073.69所有者权益（或股东权2229154122.34810579374.41益）合计

负债和所有者权益2352845534.62908504030.83（或股东权益）总计

公司负责人：乐卫平主管会计工作负责人：郑悦佳会计机构负责人：张慧芳

80/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

合并利润表

2026年1—6月

单位：元币种：人民币项目附注2026年半年度2025年半年度

一、营业总收入278360652.04304056343.03

其中：营业收入七、61278360652.04304056343.03利息收入已赚保费手续费及佣金收入

二、营业总成本219733560.96229573333.71

其中：营业成本七、61139483585.14155043094.55利息支出手续费及佣金支出退保金赔付支出净额提取保险责任准备金净额保单红利支出分保费用

税金及附加七、62796403.231690330.80

销售费用七、636059095.594611598.53

管理费用七、6429681509.1827090882.29

研发费用七、6545752383.5943308357.05

财务费用七、66-2039415.77-2170929.51

其中：利息费用456819.75378979.26

利息收入2777241.613100959.02

加：其他收益七、674584816.349139472.43投资收益（损失以“-”号七、68193315.07

填列）

其中：对联营企业和合营企业的投资收益以摊余成本计量的金融资产终止确认收益（损失以“-”号填列）汇兑收益（损失以“-”号填列）净敞口套期收益（损失以“-”号填列）公允价值变动收益（损失以“-七、70788945.86”号填列）信用减值损失（损失以“-”七、72-1127037.43-3325578.10号填列）资产减值损失（损失以“-”七、73-8593643.10-5560195.42号填列）资产处置收益（损失以“-”号填列）三、营业利润（亏损以“-”号填54473487.8274736708.23列）

加：营业外收入七、74911.508538.78

减：营业外支出七、75132846.89564825.97

81/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告四、利润总额（亏损总额以“-”号填54341552.4374180421.04列）

减：所得税费用七、761991038.364832806.22

五、净利润（净亏损以“-”号填列）52350514.0769347614.82

（一）按经营持续性分类1.持续经营净利润（净亏损以“-”52350514.0769347614.82号填列）2.终止经营净利润（净亏损以“-”号填列）

（二）按所有权归属分类

1.归属于母公司股东的净利润-”52350514.0769347614.82（净亏损以“号填列）2.少数股东损益（净亏损以“-”号填列）

六、其他综合收益的税后净额-138939.51

（一）归属母公司所有者的其他-138939.51综合收益的税后净额

1.不能重分类进损益的其他综

合收益

（1）重新计量设定受益计划变动额

（2）权益法下不能转损益的其他综合收益

（3）其他权益工具投资公允价值变动

（4）企业自身信用风险公允价值变动

2.将重分类进损益的其他综合-138939.51

收益

（1）权益法下可转损益的其他综合收益

（2）其他债权投资公允价值变动

（3）金融资产重分类计入其他综合收益的金额

（4）其他债权投资信用减值准备

（5）现金流量套期储备

（6）外币财务报表折算差额-138939.51

（7）其他

（二）归属于少数股东的其他综合收益的税后净额

七、综合收益总额52211574.5669347614.82

（一）归属于母公司所有者的综52211574.5669347614.82合收益总额

（二）归属于少数股东的综合收益总额

八、每股收益：

（一）基本每股收益（元/股）0.811.37

（二）稀释每股收益（元/股）0.811.37

82/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0元，上期被合并方实现的净利润为：0元。

公司负责人：乐卫平主管会计工作负责人：郑悦佳会计机构负责人：张慧芳

83/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

母公司利润表

2026年1—6月

单位：元币种：人民币项目附注2026年半年度2025年半年度

一、营业收入十九、4278975401.43307750133.21

减：营业成本十九、4140467295.62158682556.52

税金及附加614307.541563060.04

销售费用5426205.964544702.04

管理费用26852681.4423302185.25

研发费用45752383.5943308357.05

财务费用-1964921.22-2100219.85

其中：利息费用450244.21366338.47

利息收入2694559.353017954.16

加：其他收益4583849.609139436.56投资收益（损失以“-”号十九、5193315.070

填列）

其中：对联营企业和合营企业的投资收益以摊余成本计量的金融资产终止确认收益（损失以“-”号填列）净敞口套期收益（损失以“-”号填列）公允价值变动收益（损失以647302.030“-”号填列）信用减值损失（损失以“-”-1130095.09-3323273.91号填列）资产减值损失（损失以“-”-6050531.24-5560195.42号填列）资产处置收益（损失以“-”号填列）二、营业利润（亏损以“-”号填60071288.8778705459.39列）

加：营业外收入911.508538.78

减：营业外支出132846.89564825.96三、利润总额（亏损总额以“-”号59939353.4878149172.21填列）

减：所得税费用1991038.364829328.24四、净利润（净亏损以“-”号填57948315.1273319843.97列）

（一）持续经营净利润（净亏损以“-”57948315.1273319843.97号填列）

（二）终止经营净利润（净亏损以“-”号填列）

五、其他综合收益的税后净额

（一）不能重分类进损益的其他综合收益

1.重新计量设定受益计划变动

额

84/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

2.权益法下不能转损益的其他

综合收益

3.其他权益工具投资公允价值

变动

4.企业自身信用风险公允价值

变动

（二）将重分类进损益的其他综合收益

1.权益法下可转损益的其他综

合收益

2.其他债权投资公允价值变动

3.金融资产重分类计入其他综

合收益的金额

4.其他债权投资信用减值准备

5.现金流量套期储备

6.外币财务报表折算差额

7.其他

六、综合收益总额57948315.1273319843.97

七、每股收益：

（一）基本每股收益（元/股）

（二）稀释每股收益（元/股）

公司负责人：乐卫平主管会计工作负责人：郑悦佳会计机构负责人：张慧芳

85/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

合并现金流量表

2026年1—6月

单位：元币种：人民币项目附注2026年半年度2025年半年度

一、经营活动产生的现金流

量：

销售商品、提供劳务收到的237196302.26247880115.28现金客户存款和同业存放款项净增加额向中央银行借款净增加额向其他金融机构拆入资金净增加额收到原保险合同保费取得的现金收到再保业务现金净额保户储金及投资款净增加额

收取利息、手续费及佣金的现金拆入资金净增加额回购业务资金净增加额代理买卖证券收到的现金净额

收到的税费返还10638.421013243.24收到其他与经营活动有关的

七、784382590.396516866.77现金

经营活动现金流入小计241589531.07255410225.29

购买商品、接受劳务支付的121505950.70175204834.92现金客户贷款及垫款净增加额存放中央银行和同业款项净增加额支付原保险合同赔付款项的现金拆出资金净增加额

支付利息、手续费及佣金的现金支付保单红利的现金

支付给职工及为职工支付的51333158.6755729133.64现金

支付的各项税费13053117.4216046963.66支付其他与经营活动有关的

七、7822500119.7717951736.06现金

经营活动现金流出小计208392346.56264932668.28

经营活动产生的现金流33197184.51-9522442.99量净额

二、投资活动产生的现金流

量：

86/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

收回投资收到的现金七、78180000000.00

取得投资收益收到的现金193315.07

处置固定资产、无形资产和其他长期资产收回的现金净额处置子公司及其他营业单位收到的现金净额收到其他与投资活动有关的现金

投资活动现金流入小计180193315.07

购建固定资产、无形资产和11820491.3613246981.75其他长期资产支付的现金

投资支付的现金七、78975000000.00质押贷款净增加额取得子公司及其他营业单位支付的现金净额支付其他与投资活动有关的现金

投资活动现金流出小计986820491.3613246981.75

投资活动产生的现金流-806627176.29-13246981.75量净额

三、筹资活动产生的现金流

量：

吸收投资收到的现金1447548850.04

其中：子公司吸收少数股东投资收到的现金取得借款收到的现金收到其他与筹资活动有关的现金

筹资活动现金流入小计1447548850.04偿还债务支付的现金

分配股利、利润或偿付利息52392989.28支付的现金

其中：子公司支付给少数股

东的股利、利润支付其他与筹资活动有关的

七、7843116334.163718848.59现金

筹资活动现金流出小计95509323.443718848.59

筹资活动产生的现金流1352039526.60-3718848.59量净额

四、汇率变动对现金及现金等153206.50-528887.11价物的影响

五、现金及现金等价物净增加

七、79578762741.32-27017160.44额

加：期初现金及现金等价物

七、79481406878.80427113311.44余额

六、期末现金及现金等价物余

七、791060169620.12400096151.00额

公司负责人：乐卫平主管会计工作负责人：郑悦佳会计机构负责人：张慧芳

87/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

母公司现金流量表

2026年1—6月

单位：元币种：人民币项目附注2026年半年度2025年半年度

一、经营活动产生的现金流

量：

销售商品、提供劳务收到的238916242.62254161767.79现金

收到的税费返还10638.421009020.48

收到其他与经营活动有关的4274786.996434321.30现金

经营活动现金流入小计243201668.03261605109.57

购买商品、接受劳务支付的121660492.80173455119.29现金

支付给职工及为职工支付的48910259.2654408552.39现金

支付的各项税费12892256.3515891376.58

支付其他与经营活动有关的161935609.4017405371.53现金

经营活动现金流出小计345398617.81261160419.79

经营活动产生的现金流量净-102196949.78444689.78额

二、投资活动产生的现金流

量：

收回投资收到的现金180000000.000

取得投资收益收到的现金193315.070

处置固定资产、无形资产和00其他长期资产收回的现金净额处置子公司及其他营业单位00收到的现金净额收到其他与投资活动有关的00现金

投资活动现金流入小计180193315.070

购建固定资产、无形资产和11058471.016138991.49其他长期资产支付的现金

投资支付的现金895000000.005000000.00取得子公司及其他营业单位00支付的现金净额支付其他与投资活动有关的00现金

投资活动现金流出小计906058471.0111138991.49

投资活动产生的现金流-725865155.94-11138991.49量净额

三、筹资活动产生的现金流

量：

吸收投资收到的现金1447548850.040取得借款收到的现金00

88/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

收到其他与筹资活动有关的00现金

筹资活动现金流入小计1447548850.040偿还债务支付的现金00

分配股利、利润或偿付利息52392989.280支付的现金

支付其他与筹资活动有关的42835534.163555417.39现金

筹资活动现金流出小计95228523.443555417.39

筹资活动产生的现金流1352320326.60-3555417.39量净额

四、汇率变动对现金及现金等293726.50-531256.32价物的影响

五、现金及现金等价物净增加524551947.38-14780975.42额

加：期初现金及现金等价物470292107.25399022910.95余额

六、期末现金及现金等价物余994844054.63384241935.53额

公司负责人：乐卫平主管会计工作负责人：郑悦佳会计机构负责人：张慧芳

89/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

合并所有者权益变动表

2026年1—6月

单位：元币种：人民币

2026年半年度

归属于母公司所有者权益少其他权益工一数项目具专般股

减：所有者权益合计

实收资本(或其他综合项风其东优永资本公积库存盈余公积未分配利润小计

股本)其收益储险他权先续股他备准益股债备

一、上年期50771129.00474199493.24-6525.00-25385564.50-249890246.90-800252958.64800252958.64末余额

加：会计政-0策变更

前期差-0错更正

其他-0

二、本年期50771129.00474199493.24-6525.00-25385564.50-249890246.90-800252958.64800252958.64初余额

三、本期增减变动金额

（减少以16930559.001397857224.21--138939.51----1810836.33-1412838007.371412838007.37“-”号填

列）

（一）综合---138939.51---52350514.07-52211574.5652211574.56收益总额

（二）所有

者投入和减16930559.001397857224.21-------1414787783.211414787783.21少资本

1．所有者

投入的普通16930559.001396827026.62-------1413757585.621413757585.62股

90/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

2．其他权

益工具持有---------0者投入资本

3．股份支

付计入所有1030197.59-------1030197.591030197.59者权益的金额

4．其他0

（三）利润-54161350.40--54161350.40-54161350.40分配

1．提取盈---0

余公积

2．提取一---0

般风险准备

3．对所有

者（或股-54161350.40--54161350.40-54161350.40东）的分配

4．其他0

（四）所有者权益内部0结转

1．资本公

积转增资本0（或股本）

2．盈余公

积转增资本0（或股本）

3．盈余公0

积弥补亏损

4．设定受

益计划变动0额结转留存收益

5．其他综

合收益结转0留存收益

91/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

6．其他0

（五）专项0储备

1．本期提0

取

2．本期使0

用

（六）其他0

四、本期期67701688.00---1872056717.45--132414.51-25385564.50-248079410.57-2213090966.012213090966.01末余额

2025年半年度

归属于母公司所有者权益其他权益工具其一少数项目他专般所有者权益合

减：股东

实收资本(或优永综项风其计

其资本公积库存盈余公积未分配利润小计权益股本)先续合储险他他股股债收备准益备

一、上年期末余50771129.00---467760905.15---16746344.01-144689127.93-679967506.09679967506.09额

加：会计政策变-更

前期差错更-正

其他-

二、本年期初余50771129.00---467760905.15---16746344.01-144689127.93-679967506.09679967506.09额

三、本期增减变动金额（减少以----937159.83-----69347614.82-70284774.6570284774.65“-”号填列）

（一）综合收益----------69347614.82-69347614.8269347614.82总额

（二）所有者投----937159.83-------937159.83937159.83入和减少资本

92/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

1．所有者投入--------------

的普通股

2．其他权益工

具持有者投入资--------------本

3．股份支付计

入所有者权益的----937159.83-------937159.83937159.83金额

4．其他--------------

（三）利润分配--------------

1．提取盈余公--------------

积

2．提取一般风--------------

险准备

3．对所有者（或股东）的分--------------配

4．其他--------------

（四）所有者权--------------益内部结转

1．资本公积转增资本（或股--------------本）

2．盈余公积转增资本（或股--------------本）

3．盈余公积弥--------------

补亏损

4．设定受益计

划变动额结转留--------------存收益

5．其他综合收--------------

益结转留存收益

6．其他--------------

（五）专项储备--------------

1．本期提取--------------

93/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

2．本期使用--------------

（六）其他--------------

四、本期期末余50771129.00---468698064.98---16746344.01-214036742.75-750252280.74750252280.74额

公司负责人：乐卫平主管会计工作负责人：郑悦佳会计机构负责人：张慧芳母公司所有者权益变动表

2026年1—6月

单位：元币种：人民币

2026年半年度

其他权益工具减：其他

项目实收资本(或股专项储

优先永续其资本公积库存综合盈余公积未分配利润所有者权益合计本)备股债他股收益

一、上年期末余额50771129.00000473849607.2200025385564.50260573073.69810579374.41

加：会计政策变更前期差错更正其他

二、本年期初余额50771129.00000473849607.2200025385564.50260573073.69810579374.41三、本期增减变动金额（减“-”16930559.000001397857224.2100003786964.721418574747.93少以号填列）

（一）综合收益总额00000000057948315.1257948315.12

（二）所有者投入和减少资16930559.000001397857224.21000001414787783.21本

1．所有者投入的普通股16930559.000001396827026.62000001413757585.62

2．其他权益工具持有者投00000000000

入资本

3．股份支付计入所有者权00001030197.59000001030197.59

益的金额

4．其他00000000000

（三）利润分配000000000-54161350.40-54161350.40

1．提取盈余公积00000000000

2．对所有者（或股东）的000000000-54161350.40-54161350.40

分配

94/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

3．其他00000000000

（四）所有者权益内部结转000000000001．资本公积转增资本（或00000000000股本）2．盈余公积转增资本（或00000000000股本）

3．盈余公积弥补亏损00000000000

4．设定受益计划变动额结00000000000

转留存收益

5．其他综合收益结转留存00000000000

收益

6．其他00000000000

（五）专项储备00000000000

1．本期提取00000000000

2．本期使用00000000000

（六）其他00000000000

四、本期期末余额67701688.000001871706831.4300025385564.50264360038.412229154122.34

2025年半年度

减：其他

项目实收资本(或股其他权益工具专项所有者权益合资本公积库存综合盈余公积未分配利润

本)优先股永续债其他储备计股收益

一、上年期末余额50771129.00---467411019.13---16746344.01145985713.03680914205.17

加：会计政策变更前期差错更正其他

二、本年期初余额50771129.00---467411019.13---16746344.01145985713.03680914205.17三、本期增减变动金额（减“-”----937159.83----73319843.9774257003.80少以号填列）

（一）综合收益总额---------73319843.9773319843.97

（二）所有者投入和减少资----937159.83-----937159.83本

1．所有者投入的普通股-----------

2．其他权益工具持有者投-----------

入资本

95/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

3．股份支付计入所有者权----937159.83-----937159.83

益的金额

4．其他-----------

（三）利润分配-----------

1．提取盈余公积-----------

2．对所有者（或股东）的-----------

分配

3．其他-----------

（四）所有者权益内部结转-----------1．资本公积转增资本（或-----------股本）2．盈余公积转增资本（或-----------股本）

3．盈余公积弥补亏损-----------

4．设定受益计划变动额结-----------

转留存收益

5．其他综合收益结转留存-----------

收益

6．其他-----------

（五）专项储备-----------

1．本期提取-----------

2．本期使用-----------

（六）其他-----------

四、本期期末余额50771129.00---468348178.96---16746344.01219305557.00755171208.97

公司负责人：乐卫平主管会计工作负责人：郑悦佳会计机构负责人：张慧芳

96/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

三、公司基本情况

1、公司概况

√适用□不适用

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称公司或本公司）前身系原深圳市恒运昌真空

技术有限公司（以下简称恒运昌有限公司），恒运昌有限公司系由乐卫平、俞日明共同出资组建，于2013年3月19日在深圳市市场监督管理局登记注册，取得统一社会信用代码为

91440300064958517E 的营业执照。恒运昌有限公司成立时注册资本 200.00 万元。恒运昌有限公

司以2023年10月31日为基准日，整体变更为股份有限公司，于2023年12月18日在深圳市市场监督管理局登记注册，总部位于广东省深圳市。公司现持有统一社会信用代码为91440300064958517E 的营业执照，注册资本 67701688.00 元，股份总数 67701688 股（每股面值 1 元）。其中，有限售条件的流通股份 A 股 54974023 股；无限售条件的流通股份 A 股

12727665股。公司股票已于2026年1月28日在上海证券交易所挂牌交易。

本公司属半导体设备行业。主要经营活动为等离子体射频电源系统的研发、生产和销售。

本财务报表业经公司2026年8月28日第一届董事会第十六次会议批准对外报出。

四、财务报表的编制基础

1、编制基础

本公司财务报表以持续经营为编制基础。

2、持续经营

√适用□不适用本公司不存在导致对报告期末起12个月内的持续经营能力产生重大疑虑的事项或情况。

五、重要会计政策及会计估计

具体会计政策和会计估计提示：

√适用□不适用

重要提示：本公司根据实际生产经营特点针对金融工具减值、存货、固定资产折旧、在建工程、

无形资产、收入确认等交易或事项制定了具体会计政策和会计估计。

1、遵循企业会计准则的声明

本公司所编制的财务报表符合企业会计准则的要求，真实、完整地反映了公司的财务状况、经营成果、股东权益变动和现金流量等有关信息。

2、会计期间

本公司会计年度自公历1月1日起至12月31日止。

3、营业周期

√适用□不适用

公司经营业务的营业周期较短，以12个月作为资产和负债的流动性划分标准。

4、记账本位币

本公司及境内子公司采用人民币为记账本位币，CSL Vacuum Science and Technology GmbH等境外子公司从事境外经营，选择其经营所处的主要经济环境中的货币为记账本位币。

5、重要性标准确定方法和选择依据

√适用□不适用

97/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

公司编制和披露财务报表遵循重要性原则，本财务报表附注中披露事项涉及重要性标准判断的事项及其重要性标准确定方法和选择依据如下：

项目重要性标准

重要的核销应收账款单项金额超过资产总额0.3%

重要的核销其他应收款单项金额超过资产总额0.3%

重要的账龄超过1年的预付款项单项金额超过资产总额0.3%

重要的账龄超过1年的应付账款单项金额超过资产总额0.3%

重要的账龄超过1年的其他应付款单项金额超过资产总额0.3%

重要的账龄超过1年或逾期的预收款项单项金额超过资产总额0.3%

重要的账龄超过1年的合同负债单项金额超过资产总额0.3%

重要的在建工程项目单项金额超过资产总额0.3%

重要的投资活动现金流量金额超过资产总额10%

重要的承诺事项单项承诺事项影响金额超过资产总额10.00%

重要的或有事项单项或有事项影响金额超过资产总额10.00%

影响金额超过资产总额10.00%的事项确定为重要的资产负债表日后事项重要的资产负债表日后事项

6、同一控制下和非同一控制下企业合并的会计处理方法

√适用□不适用

1.同一控制下企业合并的会计处理方法

公司在企业合并中取得的资产和负债，按照合并日被合并方在最终控制方合并财务报表中的账面价值计量。公司按照被合并方所有者权益在最终控制方合并财务报表中的账面价值份额与支付的合并对价账面价值或发行股份面值总额的差额，调整资本公积；资本公积不足冲减的，调整留存收益。

2.非同一控制下企业合并的会计处理方法

公司在购买日对合并成本大于合并中取得的被购买方可辨认净资产公允价值份额的差额，确认为商誉；如果合并成本小于合并中取得的被购买方可辨认净资产公允价值份额，首先对取得的被购买方各项可辨认资产、负债及或有负债的公允价值以及合并成本的计量进行复核，经复核后合并成本仍小于合并中取得的被购买方可辨认净资产公允价值份额的，其差额计入当期损益。

7、控制的判断标准和合并财务报表的编制方法

√适用□不适用

1.控制的判断

拥有对被投资方的权力，通过参与被投资方的相关活动而享有可变回报，并且有能力运用对被投资方的权力影响其可变回报金额的，认定为控制。

2.合并财务报表的编制方法

母公司将其控制的所有子公司纳入合并财务报表的合并范围。合并财务报表以母公司及其子公司的财务报表为基础，根据其他有关资料，由母公司按照《企业会计准则第33号——合并财务报表》编制。

8、合营安排分类及共同经营会计处理方法

√适用□不适用

1.合营安排分为共同经营和合营企业。

2.当公司为共同经营的合营方时，确认与共同经营中利益份额相关的下列项目：

(1)确认单独所持有的资产，以及按持有份额确认共同持有的资产；

(2)确认单独所承担的负债，以及按持有份额确认共同承担的负债；

(3)确认出售公司享有的共同经营产出份额所产生的收入；

(4)按公司持有份额确认共同经营因出售资产所产生的收入；

(5)确认单独所发生的费用，以及按公司持有份额确认共同经营发生的费用。

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9、现金及现金等价物的确定标准

列示于现金流量表中的现金是指库存现金以及可以随时用于支付的存款。现金等价物是指企业持有的期限短、流动性强、易于转换为已知金额现金、价值变动风险很小的投资。

10、外币业务和外币报表折算

√适用□不适用

1.外币业务折算

外币交易在初始确认时，采用交易发生日即期汇率的近似汇率折算为人民币金额。资产负债表日，外币货币性项目采用资产负债表日即期汇率折算，因汇率不同而产生的汇兑差额，除与购建符合资本化条件资产有关的外币专门借款本金及利息的汇兑差额外，计入当期损益；以历史成本计量的外币非货币性项目仍采用交易发生日即期汇率的近似汇率折算，不改变其人民币金额；

以公允价值计量的外币非货币性项目，采用公允价值确定日的即期汇率折算，差额计入当期损益或其他综合收益。

2.外币财务报表折算资产负债表中的资产和负债项目，采用资产负债表日的即期汇率折算；所有者权益项目除“未分配利润”项目外，其他项目采用交易发生日的即期汇率折算；利润表中的收入和费用项目，采用交易发生日即期汇率的近似汇率折算。按照上述折算产生的外币财务报表折算差额，计入其他综合收益。

11、金融工具

√适用□不适用

1.金融资产和金融负债的分类

金融资产在初始确认时划分为以下三类：(1)以摊余成本计量的金融资产；(2)以公允价值

计量且其变动计入其他综合收益的金融资产；(3)以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产。

金融负债在初始确认时划分为以下四类：(1)以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融负债；(2)金融资产转移不符合终止确认条件或继续涉入被转移金融资产所形成的金融负债；(3)

不属于上述(1)或(2)的财务担保合同，以及不属于上述(1)并以低于市场利率贷款的贷款承诺；(4)以摊余成本计量的金融负债。

2.金融资产和金融负债的确认依据、计量方法和终止确认条件

(1)金融资产和金融负债的确认依据和初始计量方法

公司成为金融工具合同的一方时，确认一项金融资产或金融负债。初始确认金融资产或金融负债时，按照公允价值计量；对于以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产和金融负债，相关交易费用直接计入当期损益；对于其他类别的金融资产或金融负债，相关交易费用计入初始确认金额。但是，公司初始确认的应收账款未包含重大融资成分或公司不考虑未超过一年的合同中的融资成分的，按照《企业会计准则第14号——收入》所定义的交易价格进行初始计量。

(2)金融资产的后续计量方法

1)以摊余成本计量的金融资产

采用实际利率法，按照摊余成本进行后续计量。以摊余成本计量且不属于任何套期关系的一部分的金融资产所产生的利得或损失，在终止确认、重分类、按照实际利率法摊销或确认减值时，计入当期损益。

2)以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的债务工具投资

采用公允价值进行后续计量。采用实际利率法计算的利息、减值损失或利得及汇兑损益计入当期损益，其他利得或损失计入其他综合收益。终止确认时，将之前计入其他综合收益的累计利得或损失从其他综合收益中转出，计入当期损益。

3)以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的权益工具投资

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采用公允价值进行后续计量。获得的股利（属于投资成本收回部分的除外）计入当期损益，其他利得或损失计入其他综合收益。终止确认时，将之前计入其他综合收益的累计利得或损失从其他综合收益中转出，计入留存收益。

4)以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产

采用公允价值进行后续计量，产生的利得或损失（包括利息和股利收入）计入当期损益，除非该金融资产属于套期关系的一部分。

(3)金融负债的后续计量方法

1)以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融负债

此类金融负债包括交易性金融负债（含属于金融负债的衍生工具）和指定为以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融负债。对于此类金融负债以公允价值进行后续计量。因公司自身信用风险变动引起的指定为以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融负债的公允价值变动金额

计入其他综合收益，除非该处理会造成或扩大损益中的会计错配。此类金融负债产生的其他利得或损失（包括利息费用、除因公司自身信用风险变动引起的公允价值变动）计入当期损益，除非该金融负债属于套期关系的一部分。终止确认时，将之前计入其他综合收益的累计利得或损失从其他综合收益中转出，计入留存收益。

2)金融资产转移不符合终止确认条件或继续涉入被转移金融资产所形成的金融负债

按照《企业会计准则第23号——金融资产转移》相关规定进行计量。

3)不属于上述1)或2)的财务担保合同，以及不属于上述1)并以低于市场利率贷款的贷款承

诺

在初始确认后按照下列两项金额之中的较高者进行后续计量：*按照金融工具的减值规定确

定的损失准备金额；*初始确认金额扣除按照《企业会计准则第14号——收入》相关规定所确定的累计摊销额后的余额。

4)以摊余成本计量的金融负债

采用实际利率法以摊余成本计量。以摊余成本计量且不属于任何套期关系的一部分的金融负债所产生的利得或损失，在终止确认、按照实际利率法摊销时计入当期损益。

(4)金融资产和金融负债的终止确认

1)当满足下列条件之一时，终止确认金融资产：

*收取金融资产现金流量的合同权利已终止；

*金融资产已转移，且该转移满足《企业会计准则第23号——金融资产转移》关于金融资产终止确认的规定。

2)当金融负债（或其一部分）的现时义务已经解除时，相应终止确认该金融负债（或该部分金融负债）。

3.金融资产转移的确认依据和计量方法

公司转移了金融资产所有权上几乎所有的风险和报酬的，终止确认该金融资产，并将转移中产生或保留的权利和义务单独确认为资产或负债；保留了金融资产所有权上几乎所有的风险和报酬的，继续确认所转移的金融资产。公司既没有转移也没有保留金融资产所有权上几乎所有的风险和报酬的，分别下列情况处理：(1)未保留对该金融资产控制的，终止确认该金融资产，并将转移中产生或保留的权利和义务单独确认为资产或负债；(2)保留了对该金融资产控制的，按照继续涉入所转移金融资产的程度确认有关金融资产，并相应确认有关负债。

金融资产整体转移满足终止确认条件的，将下列两项金额的差额计入当期损益：(1)所转移金融资产在终止确认日的账面价值；(2)因转移金融资产而收到的对价，与原直接计入其他综合收益的公允价值变动累计额中对应终止确认部分的金额（涉及转移的金融资产为以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的债务工具投资）之和。转移了金融资产的一部分，且该被转移部分整体满足终止确认条件的，将转移前金融资产整体的账面价值，在终止确认部分和继续确认部分之间，按照转移日各自的相对公允价值进行分摊，并将下列两项金额的差额计入当期损益：(1)终止确认部分的账面价值；(2)终止确认部分的对价，与原直接计入其他综合收益的公允价值变动累计额中对应终止确认部分的金额（涉及转移的金融资产为以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的债务工具投资）之和。

4.金融资产和金融负债的公允价值确定方法

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公司采用在当前情况下适用并且有足够可利用数据和其他信息支持的估值技术确定相关金融

资产和金融负债的公允价值。公司将估值技术使用的输入值分为以下层级，并依次使用：

(1)第一层次输入值是在计量日能够取得的相同资产或负债在活跃市场上未经调整的报价；

(2)第二层次输入值是除第一层次输入值外相关资产或负债直接或间接可观察的输入值，包

括：活跃市场中类似资产或负债的报价；非活跃市场中相同或类似资产或负债的报价；除报价以

外的其他可观察输入值，如在正常报价间隔期间可观察的利率和收益率曲线等；市场验证的输入值等；

(3)第三层次输入值是相关资产或负债的不可观察输入值，包括不能直接观察或无法由可观

察市场数据验证的利率、股票波动率、企业合并中承担的弃置义务的未来现金流量、使用自身数据作出的财务预测等。

5.金融工具减值

公司以预期信用损失为基础，对以摊余成本计量的金融资产、以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的债务工具投资、合同资产、租赁应收款、分类为以公允价值计量且其变动计入当

期损益的金融负债以外的贷款承诺、不属于以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融负债或不属于金融资产转移不符合终止确认条件或继续涉入被转移金融资产所形成的金融负债的财务担保合同进行减值处理并确认损失准备。

预期信用损失，是指以发生违约的风险为权重的金融工具信用损失的加权平均值。信用损失，是指公司按照原实际利率折现的、根据合同应收的所有合同现金流量与预期收取的所有现金流量之间的差额，即全部现金短缺的现值。其中，对于公司购买或源生的已发生信用减值的金融资产，按照该金融资产经信用调整的实际利率折现。

对于购买或源生的已发生信用减值的金融资产，公司在资产负债表日仅将自初始确认后整个存续期内预期信用损失的累计变动确认为损失准备。

对于由《企业会计准则第14号——收入》规范的交易形成的应收款项及合同资产，公司运用简化计量方法，按照相当于整个存续期内的预期信用损失金额计量损失准备。

除上述计量方法以外的金融资产，公司在每个资产负债表日评估其信用风险自初始确认后是否已经显著增加。如果信用风险自初始确认后已显著增加，公司按照整个存续期内预期信用损失的金额计量损失准备；如果信用风险自初始确认后未显著增加，公司按照该金融工具未来12个月内预期信用损失的金额计量损失准备。

公司利用可获得的合理且有依据的信息，包括前瞻性信息，通过比较金融工具在资产负债表日发生违约的风险与在初始确认日发生违约的风险，以确定金融工具的信用风险自初始确认后是否已显著增加。

于资产负债表日，若公司判断金融工具只具有较低的信用风险，则假定该金融工具的信用风险自初始确认后并未显著增加。

公司以单项金融工具或金融工具组合为基础评估预期信用风险和计量预期信用损失。当以金融工具组合为基础时，公司以共同风险特征为依据，将金融工具划分为不同组合。

公司在每个资产负债表日重新计量预期信用损失，由此形成的损失准备的增加或转回金额，作为减值损失或利得计入当期损益。对于以摊余成本计量的金融资产，损失准备抵减该金融资产在资产负债表中列示的账面价值；对于以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的债权投资，公司在其他综合收益中确认其损失准备，不抵减该金融资产的账面价值。

6.金融资产和金融负债的抵销

金融资产和金融负债在资产负债表内分别列示，不相互抵销。但同时满足下列条件的，公司以相互抵销后的净额在资产负债表内列示：(1)公司具有抵销已确认金额的法定权利，且该种法定权利是当前可执行的；(2)公司计划以净额结算，或同时变现该金融资产和清偿该金融负债。

不满足终止确认条件的金融资产转移，公司不对已转移的金融资产和相关负债进行抵销。

12、应收票据

□适用√不适用

13、应收账款

√适用□不适用按照信用风险特征组合计提坏账准备的组合类别及确定依据

101/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

√适用□不适用确定组项目合的依计量预期信用损失的方法据

参考历史信用损失经验，结合当前状况以及对未来经济状况的票据类

应收银行承兑汇票预测，通过违约风险敞口和整个存续期预期信用损失率，计算预型期信用损失

参考历史信用损失经验，结合当前状况以及对未来经济状况的应收账款——账龄

账龄预测，编制应收账款账龄与整个存续期预期信用损失率对照表，组合计算预期信用损失

应收账款——合并参考历史信用损失经验，结合当前状况以及对未来经济状况的款项性

范围内关联往来组预测，通过违约风险敞口和整个存续期预期信用损失率，计算预质合期信用损失

参考历史信用损失经验，结合当前状况以及对未来经济状况的应收款项融资——票据类预测，通过违约风险敞口和整个存续期预期信用损失率，计算预银行承兑汇票组合型期信用损失

参考历史信用损失经验，结合当前状况以及对未来经济状况的合同资产——账龄

账龄预测，编制合同资产账龄与整个存续期预期信用损失率对照表，组合计算预期信用损失

参考历史信用损失经验，结合当前状况以及对未来经济状况的其他应收款——账

账龄预测，编制其他应收款账龄与预期信用损失率对照表，计算预期龄组合信用损失

其他应收款——合参考历史信用损失经验，结合当前状况以及对未来经济状况的款项性

并范围内关联往来预测，通过违约风险敞口和未来12个月内或整个存续期预期信质

组合用损失率，计算预期信用损失基于账龄确认信用风险特征组合的账龄计算方法

√适用□不适用应收账款其他应收款合同资产预期信用损失率账龄预期信用损失率预期信用损失率

（%）

（%）（%）

1年以内（含，下同）5.005.005.00

1-2年15.0015.0015.00

2-3年30.0030.0030.00

3-4年50.0050.0050.00

4-5年80.0080.0080.00

5年以上100.00100.00100.00

应收账款/其他应收款/合同资产的账龄自初始确认日起算。

按照单项计提坏账准备的认定单项计提判断标准

√适用□不适用

对信用风险与组合信用风险显著不同的应收款项和合同资产，公司按单项计提预期信用损失。

14、应收款项融资

√适用□不适用按照信用风险特征组合计提坏账准备的组合类别及确定依据

√适用□不适用

详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”基于账龄确认信用风险特征组合的账龄计算方法

102/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

√适用□不适用

详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”按照单项计提坏账准备的单项计提判断标准

√适用□不适用

详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”

15、其他应收款

√适用□不适用按照信用风险特征组合计提坏账准备的组合类别及确定依据

√适用□不适用

详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”基于账龄确认信用风险特征组合的账龄计算方法

√适用□不适用

详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”按照单项计提坏账准备的单项计提判断标准

√适用□不适用

详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”

16、存货

√适用□不适用

存货类别、发出计价方法、盘存制度、低值易耗品和包装物的摊销方法

√适用□不适用

1.存货的分类

存货包括在日常活动中持有以备出售的产成品或商品、处在生产过程中的在产品、在生产过程或提供劳务过程中耗用的材料和物料等。

2.发出存货的计价方法

发出存货采用月末一次加权平均法。

3.存货的盘存制度

存货的盘存制度为永续盘存制。

4.低值易耗品和包装物的摊销方法

(1)低值易耗品按照一次转销法进行摊销。

(2)包装物按照一次转销法进行摊销。

存货跌价准备的确认标准和计提方法

√适用□不适用

资产负债表日，存货采用成本与可变现净值孰低计量，按照成本高于可变现净值的差额计提存货跌价准备。直接用于出售的存货，在正常生产经营过程中以该存货的估计售价减去估计的销售费用和相关税费后的金额确定其可变现净值；需要经过加工的存货，在正常生产经营过程中以所生产的产成品的估计售价减去至完工时估计将要发生的成本、估计的销售费用和相关税费后的金额

确定其可变现净值；资产负债表日，同一项存货中一部分有合同价格约定、其他部分不存在合同价格的，分别确定其可变现净值，并与其对应的成本进行比较，分别确定存货跌价准备的计提或转回的金额。

按照组合计提存货跌价准备的组合类别及确定依据、不同类别存货可变现净值的确定依据

□适用√不适用

103/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

基于库龄确认存货可变现净值的各库龄组合可变现净值的计算方法和确定依据

□适用√不适用

17、合同资产

√适用□不适用合同资产的确认方法及标准

√适用□不适用

详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”。

按照信用风险特征组合计提坏账准备的组合类别及确定依据

√适用□不适用

详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”。

基于账龄确认信用风险特征组合的账龄计算方法

√适用□不适用

详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”。

按照单项计提坏账准备的认定单项计提判断标准

√适用□不适用

详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”13.“应收账款”。

18、持有待售的非流动资产或处置组

□适用√不适用划分为持有待售的非流动资产或处置组的确认标准和会计处理方法

□适用√不适用终止经营的认定标准和列报方法

□适用√不适用

19、长期股权投资

√适用□不适用

1.共同控制、重大影响的判断

按照相关约定对某项安排存在共有的控制，并且该安排的相关活动必须经过分享控制权的参与方一致同意后才能决策，认定为共同控制。对被投资单位的财务和经营政策有参与决策的权力，但并不能够控制或者与其他方一起共同控制这些政策的制定，认定为重大影响。

2.投资成本的确定

(1)同一控制下的企业合并形成的，合并方以支付现金、转让非现金资产、承担债务或发行

权益性证券作为合并对价的，在合并日按照取得被合并方所有者权益在最终控制方合并财务报表中的账面价值的份额作为其初始投资成本。长期股权投资初始投资成本与支付的合并对价的账面价值或发行股份的面值总额之间的差额调整资本公积；资本公积不足冲减的，调整留存收益。

公司通过多次交易分步实现同一控制下企业合并形成的长期股权投资，判断是否属于“一揽子交易”。属于“一揽子交易”的，把各项交易作为一项取得控制权的交易进行会计处理。不属于“一揽子交易”的，在合并日，根据合并后应享有被合并方净资产在最终控制方合并财务报表中的账面价值的份额确定初始投资成本。合并日长期股权投资的初始投资成本，与达到合并前的长期股权投资账面价值加上合并日进一步取得股份新支付对价的账面价值之和的差额，调整资本公积；资本公积不足冲减的，调整留存收益。

(2)非同一控制下的企业合并形成的，在购买日按照支付的合并对价的公允价值作为其初始投资成本。

104/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

公司通过多次交易分步实现非同一控制下企业合并形成的长期股权投资，区分个别财务报表和合并财务报表进行相关会计处理：

1)在个别财务报表中，按照原持有的股权投资的账面价值加上新增投资成本之和，作为改按

成本法核算的初始投资成本。

2)在合并财务报表中，判断是否属于“一揽子交易”。属于“一揽子交易”的，把各项交易

作为一项取得控制权的交易进行会计处理。不属于“一揽子交易”的，对于购买日之前持有的被购买方的股权，按照该股权在购买日的公允价值进行重新计量，公允价值与其账面价值的差额计入当期投资收益；购买日之前持有的被购买方的股权涉及权益法核算下的其他综合收益等的，与其相关的其他综合收益等转为购买日所属当期收益。但由于被投资方重新计量设定受益计划净负债或净资产变动而产生的其他综合收益除外。

(3)除企业合并形成以外的：以支付现金取得的，按照实际支付的购买价款作为其初始投资成本；以发行权益性证券取得的，按照发行权益性证券的公允价值作为其初始投资成本；以债务重组方式取得的，按《企业会计准则第12号——债务重组》确定其初始投资成本；以非货币性资产交换取得的，按《企业会计准则第7号——非货币性资产交换》确定其初始投资成本。

3.后续计量及损益确认方法

对被投资单位实施控制的长期股权投资采用成本法核算；对联营企业和合营企业的长期股权投资，采用权益法核算。

4.通过多次交易分步处置对子公司投资至丧失控制权的处理方法

(1)是否属于“一揽子交易”的判断原则

通过多次交易分步处置对子公司股权投资直至丧失控制权的，公司结合分步交易的各个步骤的交易协议条款、分别取得的处置对价、出售股权的对象、处置方式、处置时点等信息来判断分

步交易是否属于“一揽子交易”。各项交易的条款、条件以及经济影响符合以下一种或多种情况，通常表明多次交易事项属于“一揽子交易”：

1)这些交易是同时或者在考虑了彼此影响的情况下订立的；

2)这些交易整体才能达成一项完整的商业结果；

3)一项交易的发生取决于其他至少一项交易的发生；

4)一项交易单独看是不经济的，但是和其他交易一并考虑时是经济的。

(2)不属于“一揽子交易”的会计处理

1)个别财务报表

对处置的股权，其账面价值与实际取得价款之间的差额，计入当期损益。对于剩余股权，对被投资单位仍具有重大影响或者与其他方一起实施共同控制的，转为权益法核算；不能再对被投资单位实施控制、共同控制或重大影响的，按照《企业会计准则第22号——金融工具确认和计量》的相关规定进行核算。

2)合并财务报表

在丧失控制权之前，处置价款与处置长期股权投资相对应享有子公司自购买日或合并日开始持续计算的净资产份额之间的差额，调整资本公积（资本溢价），资本溢价不足冲减的，冲减留存收益。

丧失对原子公司控制权时，对于剩余股权，按照其在丧失控制权日的公允价值进行重新计量。

处置股权取得的对价与剩余股权公允价值之和，减去按原持股比例计算应享有原有子公司自购买日或合并日开始持续计算的净资产的份额之间的差额，计入丧失控制权当期的投资收益，同时冲减商誉。与原有子公司股权投资相关的其他综合收益等，应当在丧失控制权时转为当期投资收益。

(3)属于“一揽子交易”的会计处理

1)个别财务报表

将各项交易作为一项处置子公司并丧失控制权的交易进行会计处理。但是，在丧失控制权之前每一次处置价款与处置投资对应的长期股权投资账面价值之间的差额，在个别财务报表中确认为其他综合收益，在丧失控制权时一并转入丧失控制权当期的损益。

2)合并财务报表

将各项交易作为一项处置子公司并丧失控制权的交易进行会计处理。但是，在丧失控制权之前每一次处置价款与处置投资对应的享有该子公司净资产份额的差额，在合并财务报表中确认为其他综合收益，在丧失控制权时一并转入丧失控制权当期的损益。

105/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

20、投资性房地产

不适用

21、固定资产

(1)确认条件

√适用□不适用

固定资产是指为生产商品、提供劳务、出租或经营管理而持有的，使用年限超过一个会计年度的有形资产。固定资产在同时满足经济利益很可能流入、成本能够可靠计量时予以确认。

(2)折旧方法

√适用□不适用

类别折旧方法折旧年限（年）残值率（%）年折旧率（%）

房屋及建筑物年限平均法2054.75

机器设备年限平均法3-1059.50-31.67

运输工具年限平均法3-4523.75-31.67电子设备及其

年限平均法3-5519.00-31.67他

22、在建工程

√适用□不适用

1.在建工程同时满足经济利益很可能流入、成本能够可靠计量则予以确认。在建工程按

建造该项资产达到预定可使用状态前所发生的实际成本计量。

2.在建工程达到预定可使用状态时，按工程实际成本转入固定资产。已达到预定可使用

状态但尚未办理竣工决算的，先按估计价值转入固定资产，待办理竣工决算后再按实际成本调整原暂估价值，但不再调整原已计提的折旧。

类别在建工程结转为固定资产的标准和时点

房屋及建筑物主体建设工程及配套工程已实质完工、达到预定设计要求并经验收机器设备安装调试后达到设计要求或合同规定的标准

23、借款费用

□适用√不适用

24、生物资产

□适用√不适用

25、油气资产

□适用√不适用

26、无形资产

(1)使用寿命及其确定依据、估计情况、摊销方法或复核程序

√适用□不适用

1.无形资产包括软件，按成本进行初始计量。

2.使用寿命有限的无形资产，在使用寿命内按照与该项无形资产有关的经济利益的预期

实现方式系统合理地摊销，无法可靠确定预期实现方式的，采用直线法摊销。具体如下：

项目使用寿命及其确定依据摊销方法

软件按预期受益期限确定使用寿命为2-5年直线法

106/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(2)研发支出的归集范围及相关会计处理方法

√适用□不适用

(1)人员人工费用

人员人工费用包括公司研发人员的工资薪金、基本养老保险费、基本医疗保险费、失业保险

费、工伤保险费、生育保险费和住房公积金，以及外聘研发人员的劳务费用。

研发人员同时服务于多个研究开发项目的，人工费用的确认依据公司管理部门提供的各研究开发项目研发人员的工时记录，在不同研究开发项目间按比例分配。

直接从事研发活动的人员、外聘研发人员同时从事非研发活动的，公司根据研发人员在不同岗位的工时记录，将其实际发生的人员人工费用，按实际工时占比等合理方法在研发费用和生产经营费用间分配。

(2)直接投入费用

直接投入费用是指公司为实施研究开发活动而实际发生的相关支出。包括：1)直接消耗的材料、燃料和动力费用；2)用于中间试验和产品试制的模具、工艺装备开发及制造费，不构成固定资产的样品、样机及一般测试手段购置费，试制产品的检验费；3)用于研究开发活动的仪器、设备的运行维护、调整、检验、检测、维修等费用。

(3)折旧费用与长期待摊费用

折旧费用是指用于研究开发活动的仪器、设备和在用建筑物的折旧费。

用于研发活动的仪器、设备及在用建筑物，同时又用于非研发活动的，对该类仪器、设备、在用建筑物使用情况做必要记录，并将其实际发生的折旧费按实际工时和使用面积等因素，采用合理方法在研发费用和生产经营费用间分配。

长期待摊费用是指研发设施的改建、改装、装修和修理过程中发生的长期待摊费用，按实际支出进行归集，在规定的期限内分期平均摊销。

(4)无形资产摊销费用无形资产摊销费用是指用于研究开发活动的软件的摊销费用。

(5)委托外部研究开发费用委托外部研究开发费用是指公司委托境内外其他机构或个人进行研究开发活动所发生的费用（研究开发活动成果为公司所拥有，且与公司的主要经营业务紧密相关）。

(6)其他费用

其他费用是指上述费用之外与研究开发活动直接相关的其他费用，包括技术图书资料费、资料翻译费、专家咨询费、高新科技研发保险费，研发成果的检索、论证、评审、鉴定、验收费用，知识产权的申请费、注册费、代理费，会议费、差旅费、通讯费等。

4.内部研究开发项目研究阶段的支出，于发生时计入当期损益。内部研究开发项目开发阶段的支出，同时满足下列条件的，确认为无形资产：(1)完成该无形资产以使其能够使用或出售在技术上具有可行性；(2)具有完成该无形资产并使用或出售的意图；(3)无形资产产生经济利益的方式，包括能够证明运用该无形资产生产的产品存在市场或无形资产自身存在市场，无形资产将在内部使用的，能证明其有用性；(4)有足够的技术、财务资源和其他资源支持，以完成该无形资产的开发，并有能力使用或出售该无形资产；(5)归属于该无形资产开发阶段的支出能够可靠地计量。

27、长期资产减值

√适用□不适用

对长期股权投资、采用成本模式计量的投资性房地产、固定资产、在建工程、使用权资产、

使用寿命有限的无形资产等长期资产，在资产负债表日有迹象表明发生减值的，估计其可收回金额。对因企业合并所形成的商誉和使用寿命不确定的无形资产，无论是否存在减值迹象，每年都进行减值测试。商誉结合与其相关的资产组或者资产组组合进行减值测试。

若上述长期资产的可收回金额低于其账面价值的，按其差额确认资产减值准备并计入当期损益。

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28、长期待摊费用

√适用□不适用

长期待摊费用核算已经支出，摊销期限在1年以上（不含1年）的各项费用。长期待摊费用按实际发生额入账，在受益期或规定的期限内分期平均摊销。如果长期待摊的费用项目不能使以后会计期间受益则将尚未摊销的该项目的摊余价值全部转入当期损益。

29、合同负债

√适用□不适用公司根据履行履约义务与客户付款之间的关系在资产负债表中列示合同资产或合同负债。公司将同一合同下的合同资产和合同负债相互抵销后以净额列示。

公司将拥有的、无条件(即，仅取决于时间流逝)向客户收取对价的权利作为应收款项列示，将已向客户转让商品而有权收取对价的权利（该权利取决于时间流逝之外的其他因素）作为合同资产列示。

公司将已收或应收客户对价而应向客户转让商品的义务作为合同负债列示。

30、职工薪酬

(1)短期薪酬的会计处理方法

√适用□不适用

在职工为公司提供服务的会计期间，将实际发生的短期薪酬确认为负债，并计入当期损益或相关资产成本。

(2)离职后福利的会计处理方法

√适用□不适用离职后福利分为设定提存计划和设定受益计划。

(1)在职工为公司提供服务的会计期间，根据设定提存计划计算的应缴存金额确认为负债，并计入当期损益或相关资产成本。

(2)对设定受益计划的会计处理通常包括下列步骤：

1)根据预期累计福利单位法，采用无偏且相互一致的精算假设对有关人口统计变量和财务

变量等作出估计，计量设定受益计划所产生的义务，并确定相关义务的所属期间。同时，对设定受益计划所产生的义务予以折现，以确定设定受益计划义务的现值和当期服务成本；

2)设定受益计划存在资产的，将设定受益计划义务现值减去设定受益计划资产公允价值所

形成的赤字或盈余确认为一项设定受益计划净负债或净资产。设定受益计划存在盈余的，以设定受益计划的盈余和资产上限两项的孰低者计量设定受益计划净资产；

3)期末，将设定受益计划产生的职工薪酬成本确认为服务成本、设定受益计划净负债或净资产

的利息净额以及重新计量设定受益计划净负债或净资产所产生的变动等三部分，其中服务成本和设定受益计划净负债或净资产的利息净额计入当期损益或相关资产成本，重新计量设定受益计划净负债或净资产所产生的变动计入其他综合收益，并且在后续会计期间不允许转回至损益，但可以在权益范围内转移这些在其他综合收益确认的金额。

(3)辞退福利的会计处理方法

√适用□不适用

向职工提供的辞退福利，在下列两者孰早日确认辞退福利产生的职工薪酬负债，并计入当期损

益：(1)公司不能单方面撤回因解除劳动关系计划或裁减建议所提供的辞退福利时；(2)公司确认与涉及支付辞退福利的重组相关的成本或费用时。

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(4)其他长期职工福利的会计处理方法

√适用□不适用

向职工提供的其他长期福利，符合设定提存计划条件的，按照设定提存计划的有关规定进行会计处理；除此之外的其他长期福利，按照设定受益计划的有关规定进行会计处理，为简化相关会计处理，将其产生的职工薪酬成本确认为服务成本、其他长期职工福利净负债或净资产的利息净额以及重新计量其他长期职工福利净负债或净资产所产生的变动等组成项目的总净额计入当期损益或相关资产成本。

31、预计负债

√适用□不适用

1.因对外提供担保、诉讼事项、产品质量保证、亏损合同等或有事项形成的义务成为公司承

担的现时义务，履行该义务很可能导致经济利益流出公司，且该义务的金额能够可靠的计量时，公司将该项义务确认为预计负债。

2.公司按照履行相关现时义务所需支出的最佳估计数对预计负债进行初始计量，并在资产负

债表日对预计负债的账面价值进行复核。

32、股份支付

√适用□不适用

1.股份支付的种类

包括以权益结算的股份支付和以现金结算的股份支付。

2.实施、修改、终止股份支付计划的相关会计处理

(1)以权益结算的股份支付

授予后立即可行权的换取职工服务的以权益结算的股份支付，在授予日按照权益工具的公允价值计入相关成本或费用，相应调整资本公积。完成等待期内的服务或达到规定业绩条件才可行权的换取职工服务的以权益结算的股份支付，在等待期内的每个资产负债表日，以对可行权权益工具数量的最佳估计为基础，按权益工具授予日的公允价值，将当期取得的服务计入相关成本或费用，相应调整资本公积。

换取其他方服务的权益结算的股份支付，如果其他方服务的公允价值能够可靠计量的，按照其他方服务在取得日的公允价值计量；如果其他方服务的公允价值不能可靠计量，但权益工具的公允价值能够可靠计量的，按照权益工具在服务取得日的公允价值计量，计入相关成本或费用，相应增加所有者权益。

(2)以现金结算的股份支付

授予后立即可行权的换取职工服务的以现金结算的股份支付，在授予日按公司承担负债的公允价值计入相关成本或费用，相应增加负债。完成等待期内的服务或达到规定业绩条件才可行权的换取职工服务的以现金结算的股份支付，在等待期内的每个资产负债表日，以对可行权情况的最佳估计为基础，按公司承担负债的公允价值，将当期取得的服务计入相关成本或费用和相应的负债。

(3)修改、终止股份支付计划

如果修改增加了所授予的权益工具的公允价值，公司按照权益工具公允价值的增加相应地确认取得服务的增加；如果修改增加了所授予的权益工具的数量，公司将增加的权益工具的公允价值相应地确认为取得服务的增加；如果公司按照有利于职工的方式修改可行权条件，公司在处理可行权条件时，考虑修改后的可行权条件。

如果修改减少了授予的权益工具的公允价值，公司继续以权益工具在授予日的公允价值为基础，确认取得服务的金额，而不考虑权益工具公允价值的减少；如果修改减少了授予的权益工具的数量，公司将减少部分作为已授予的权益工具的取消来进行处理；如果以不利于职工的方式修改了可行权条件，在处理可行权条件时，不考虑修改后的可行权条件。

如果公司在等待期内取消了所授予的权益工具或结算了所授予的权益工具（因未满足可行权条件而被取消的除外），则将取消或结算作为加速可行权处理，立即确认原本在剩余等待期内确认的金额。

109/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

33、优先股、永续债等其他金融工具

□适用√不适用

34、收入

(1)按照业务类型披露收入确认和计量所采用的会计政策

√适用□不适用

1.收入确认原则

于合同开始日，公司对合同进行评估，识别合同所包含的各单项履约义务，并确定各单项履约义务是在某一时段内履行，还是在某一时点履行。

满足下列条件之一时，属于在某一时段内履行履约义务，否则，属于在某一时点履行履约义

务：(1)客户在公司履约的同时即取得并消耗公司履约所带来的经济利益；(2)客户能够控制公

司履约过程中在建商品；(3)公司履约过程中所产出的商品具有不可替代用途，且公司在整个合同期间内有权就累计至今已完成的履约部分收取款项。

对于在某一时段内履行的履约义务，公司在该段时间内按照履约进度确认收入。履约进度不能合理确定时，已经发生的成本预计能够得到补偿的，按照已经发生的成本金额确认收入，直到履约进度能够合理确定为止。对于在某一时点履行的履约义务，在客户取得相关商品或服务控制权时点确认收入。在判断客户是否已取得商品控制权时，公司考虑下列迹象：(1)公司就该商品享有现时收款权利，即客户就该商品负有现时付款义务；(2)公司已将该商品的法定所有权转移给客户，即客户已拥有该商品的法定所有权；(3)公司已将该商品实物转移给客户，即客户已实物占有该商品；(4)公司已将该商品所有权上的主要风险和报酬转移给客户，即客户已取得该商品所有权上的主要风险和报酬；(5)客户已接受该商品；(6)其他表明客户已取得商品控制权的迹象。

2.收入计量原则

(1)公司按照分摊至各单项履约义务的交易价格计量收入。交易价格是公司因向客户转让商品

或服务而预期有权收取的对价金额，不包括代第三方收取的款项以及预期将退还给客户的款项。

(2)合同中存在可变对价的，公司按照期望值或最可能发生金额确定可变对价的最佳估计数，但包含可变对价的交易价格，不超过在相关不确定性消除时累计已确认收入极可能不会发生重大转回的金额。

(3)合同中存在重大融资成分的，公司按照假定客户在取得商品或服务控制权时即以现金支付

的应付金额确定交易价格。该交易价格与合同对价之间的差额，在合同期间内采用实际利率法摊销。合同开始日，公司预计客户取得商品或服务控制权与客户支付价款间隔不超过一年的，不考虑合同中存在的重大融资成分。

(4)合同中包含两项或多项履约义务的，公司于合同开始日，按照各单项履约义务所承诺商品

的单独售价的相对比例，将交易价格分摊至各单项履约义务。

3.收入确认的具体方法

(1)商品销售业务

1)对于不附安装义务的销售：*内销：寄售业务，公司已将商品发运至客户指定仓库并移交

给客户签收，客户确认领用后确认收入；非寄售业务，公司已根据合同约定将产品交付给客户，客户签收后确认收入；*外销：公司已根据合同约定将产品报关出口并取得提单后确认收入。

2)对于附安装义务的销售：公司已根据合同约定将产品交付给客户并完成安装，客户确认验

收且取得验收单后确认收入。

(2)服务业务

公司已根据合同约定向客户提供服务，向客户交付最终的工作内容或成果，经客户确认服务完成后确认收入。

(2)同类业务采用不同经营模式涉及不同收入确认方式及计量方法

□适用√不适用

35、合同成本

√适用□不适用

110/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

合同取得成本、合同履约成本

公司为取得合同发生的增量成本预期能够收回的，作为合同取得成本确认为一项资产。

公司为履行合同发生的成本，不适用存货、固定资产或无形资产等相关准则的规范范围且同时满足下列条件的，作为合同履约成本确认为一项资产：

1.该成本与一份当前或预期取得的合同直接相关，包括直接人工、直接材料、制造费用（或类似费用）、明确由客户承担的成本以及仅因该合同而发生的其他成本；

2.该成本增加了公司未来用于履行履约义务的资源；

3.该成本预期能够收回。

公司对于与合同成本有关的资产采用与该资产相关的商品或服务收入确认相同的基础进行摊销，计入当期损益。

如果与合同成本有关的资产的账面价值高于因转让与该资产相关的商品或服务预期能够取得的剩

余对价减去估计将要发生的成本，公司对超出部分计提减值准备，并确认为资产减值损失。以前期间减值的因素之后发生变化，使得转让该资产相关的商品或服务预期能够取得的剩余对价减去估计将要发生的成本高于该资产账面价值的，转回原已计提的资产减值准备，并计入当期损益，但转回后的资产账面价值不超过假定不计提减值准备情况下该资产在转回日的账面价值。

36、政府补助

√适用□不适用

1.政府补助在同时满足下列条件时予以确认：(1)公司能够满足政府补助所附的条件；(2)

公司能够收到政府补助。政府补助为货币性资产的，按照收到或应收的金额计量。政府补助为非货币性资产的，按照公允价值计量；公允价值不能可靠取得的，按照名义金额计量。

2.与资产相关的政府补助判断依据及会计处理方法

政府文件规定用于购建或以其他方式形成长期资产的政府补助划分为与资产相关的政府补助。

政府文件不明确的，以取得该补助必须具备的基本条件为基础进行判断，以购建或其他方式形成长期资产为基本条件的作为与资产相关的政府补助。与资产相关的政府补助，冲减相关资产的账面价值或确认为递延收益。与资产相关的政府补助确认为递延收益的，在相关资产使用寿命内按照合理、系统的方法分期计入损益。按照名义金额计量的政府补助，直接计入当期损益。相关资产在使用寿命结束前被出售、转让、报废或发生毁损的，将尚未分配的相关递延收益余额转入资产处置当期的损益。

3.与收益相关的政府补助判断依据及会计处理方法

除与资产相关的政府补助之外的政府补助划分为与收益相关的政府补助。对于同时包含与资产相关部分和与收益相关部分的政府补助，难以区分与资产相关或与收益相关的，整体归类为与收益相关的政府补助。与收益相关的政府补助，用于补偿以后期间的相关成本费用或损失的，确认为递延收益，在确认相关成本费用或损失的期间，计入当期损益或冲减相关成本；用于补偿已发生的相关成本费用或损失的，直接计入当期损益或冲减相关成本。

4.与公司日常经营活动相关的政府补助，按照经济业务实质，计入其他收益或冲减相关成本费用。与公司日常活动无关的政府补助，计入营业外收支。

5.政策性优惠贷款贴息的会计处理方法

(1)财政将贴息资金拨付给贷款银行，由贷款银行以政策性优惠利率向公司提供贷款的，以

实际收到的借款金额作为借款的入账价值，按照借款本金和该政策性优惠利率计算相关借款费用。

(2)财政将贴息资金直接拨付给公司的，将对应的贴息冲减相关借款费用。

37、递延所得税资产/递延所得税负债

√适用□不适用1.根据资产、负债的账面价值与其计税基础之间的差额（未作为资产和负债确认的项目按照税法规定可以确定其计税基础的，该计税基础与其账面数之间的差额），按照预期收回该资产或清偿该负债期间的适用税率计算确认递延所得税资产或递延所得税负债。

111/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

2.确认递延所得税资产以很可能取得用来抵扣可抵扣暂时性差异的应纳税所得额为限。资

产负债表日，有确凿证据表明未来期间很可能获得足够的应纳税所得额用来抵扣可抵扣暂时性差异的，确认以前会计期间未确认的递延所得税资产。

3.资产负债表日，对递延所得税资产的账面价值进行复核，如果未来期间很可能无法获得足

够的应纳税所得额用以抵扣递延所得税资产的利益，则减记递延所得税资产的账面价值。在很可能获得足够的应纳税所得额时，转回减记的金额。

4.公司当期所得税和递延所得税作为所得税费用或收益计入当期损益，但不包括下列情况

产生的所得税：(1)企业合并；(2)直接在所有者权益中确认的交易或者事项。

5.同时满足下列条件时，公司将递延所得税资产及递延所得税负债以抵销后的净额列示：(1)

拥有以净额结算当期所得税资产及当期所得税负债的法定权利；(2)递延所得税资产和递延所得

税负债是与同一税收征管部门对同一纳税主体征收的所得税相关或者对不同的纳税主体相关，但在未来每一具有重要性的递延所得税资产和递延所得税负债转回的期间内，涉及的纳税主体意图以净额结算当期所得税资产及当期所得税负债或是同时取得资产、清偿债务。

38、租赁

√适用□不适用作为承租方对短期租赁和低价值资产租赁进行简化处理的判断依据和会计处理方法

√适用□不适用公司作为承租人

在租赁期开始日，公司将租赁期不超过12个月，且不包含购买选择权的租赁认定为短期租赁；将单项租赁资产为全新资产时价值较低的租赁认定为低价值资产租赁。公司转租或预期转租租赁资产的，原租赁不认定为低价值资产租赁。

对于所有短期租赁和低价值资产租赁，公司在租赁期内各个期间按照直线法将租赁付款额计入相关资产成本或当期损益。

除上述采用简化处理的短期租赁和低价值资产租赁外，在租赁期开始日，公司对租赁确认使用权资产和租赁负债。

(1)使用权资产

使用权资产按照成本进行初始计量，该成本包括：1)租赁负债的初始计量金额；2)在租赁期开始日或之前支付的租赁付款额，存在租赁激励的，扣除已享受的租赁激励相关金额；3)承租人发生的初始直接费用；4)承租人为拆卸及移除租赁资产、复原租赁资产所在场地或将租赁资产恢复至租赁条款约定状态预计将发生的成本。

公司按照直线法对使用权资产计提折旧。能够合理确定租赁期届满时取得租赁资产所有权的，公司在租赁资产剩余使用寿命内计提折旧。无法合理确定租赁期届满时能够取得租赁资产所有权的，公司在租赁期与租赁资产剩余使用寿命两者孰短的期间内计提折旧。

(2)租赁负债

在租赁期开始日，公司将尚未支付的租赁付款额的现值确认为租赁负债。计算租赁付款额现值时采用租赁内含利率作为折现率，无法确定租赁内含利率的，采用公司增量借款利率作为折现率。租赁付款额与其现值之间的差额作为未确认融资费用，在租赁期各个期间内按照确认租赁付款额现值的折现率确认利息费用，并计入当期损益。未纳入租赁负债计量的可变租赁付款额于实际发生时计入当期损益。

租赁期开始日后，当实质固定付款额发生变动、担保余值预计的应付金额发生变化、用于确定租赁付款额的指数或比率发生变动、购买选择权、续租选择权或终止选择权的评估结果或实际

行权情况发生变化时，公司按照变动后的租赁付款额的现值重新计量租赁负债，并相应调整使用权资产的账面价值，如使用权资产账面价值已调减至零，但租赁负债仍需进一步调减的，将剩余金额计入当期损益。

作为出租方的租赁分类标准和会计处理方法

□适用√不适用

112/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

39、其他重要的会计政策和会计估计

□适用√不适用

40、重要会计政策和会计估计的变更

(1)重要会计政策变更

□适用√不适用

(2)重要会计估计变更

□适用√不适用

(3)2026年起首次执行新会计准则或准则解释等涉及调整首次执行当年年初的财务报表

□适用√不适用

41、其他

□适用√不适用

六、税项

1、主要税种及税率

主要税种及税率情况

√适用□不适用税种计税依据税率以按税法规定计算的销售货物和应税劳务收入为基础计算销

增值税项税额，扣除当期允许抵扣的19%、13%、6%进项税额后，差额部分为应交增值税

从价计征的，按房产原值一次房产税30%1.20%减除后余值的1.2%计缴

城市维护建设税实际缴纳的流转税税额7%

教育费附加实际缴纳的流转税税额3%

地方教育费附加实际缴纳的流转税税额2%

企业所得税应纳税所得额15%、20%、25%、15.825%

存在不同企业所得税税率纳税主体的，披露情况说明√适用□不适用

纳税主体名称所得税税率（%）

公司15%

深圳市百世达半导体设备有限公司20%

恒运昌真空技术（沈阳）有限公司25%

恒运昌京昇半导体科技（北京）有限公司20%

CSL Vacuum Science and Technology GmbH 15.825%

恒运昌申昇半导体科技（上海）有限公司20%

2、税收优惠

√适用□不适用

1. 公司于 2025 年取得证书编号为 GR202544205417 的高新技术企业证书，享受高新技术企

业所得税税收优惠政策，有效期为三年，2025-2027年享受15%的企业所得税优惠税率。

113/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告2.根据财政部、税务总局《关于进一步支持小微企业和个体工商户发展有关税费政策的公

告》（2023年第12号）文件的规定，对小型微利企业减按25%计算应纳税所得额，按20%的税

率缴纳企业所得税政策，延续执行至2027年12月31日。

子公司深圳市百世达半导体设备有限公司、恒运昌京昇半导体科技（北京）有限公司、恒运

昌申昇半导体科技（上海）有限公司享受上述优惠政策。

3.根据财政部、税务总局、国家发展改革委、工业和信息化部《关于提高集成电路和工业母机企业研发费用加计扣除比例的公告》（2023年第44号）的规定，集成电路企业和工业母机企业开展研发活动中实际发生的研发费用，未形成无形资产计入当期损益的，在按规定据实扣除的基础上，在2023年1月1日至2027年12月31日期间，再按照实际发生额的120%在税前扣除；形成无形资产的，在上述期间按照无形资产成本的220%在税前摊销。

公司享受上述优惠政策。

4.根据财政部税务总局《关于进一步支持小微企业和个体工商户发展有关税费政策的公

告》（2023年第12号）文件的规定，自2023年1月1日至2027年12月31日，对增值税小规

模纳税人、小型微利企业和个体工商户减半征收资源税（不含水资源税）、城市维护建设税、房

产税、城镇土地使用税、印花税（不含证券交易印花税）、耕地占用税和教育费附加、地方教育附加。

子公司深圳市百世达半导体设备有限公司、恒运昌京昇半导体科技（北京）有限公司、恒运

昌申昇半导体科技（上海）有限公司享受上述优惠政策。

6.根据财政部、税务总局《关于集成电路企业增值税加计抵减政策的通知》(财税〔2023〕

17号)文件的规定，自2023年1月1日至2027年12月31日，允许集成电路设计、生产、封

测、装备、材料企业，按照当期可抵扣进项税额加计15%抵减应纳增值税税额。

公司属于符合条件的集成电路企业，可享受上述增值税加计抵减优惠政策。

3、其他

□适用√不适用

七、合并财务报表项目注释

1、货币资金

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

银行存款1060169081.64481406340.46

其他货币资金538.48538.34

合计1060169620.12481406878.80其他说明

报告期各期末，其他货币资金均为证券账户余额，使用不受限制。

2、交易性金融资产

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额指定理由和依据

以公允价值计量且其变动计790788945.86/入当期损益的金融资产

其中：

结构性存款790788945.86/

合计790788945.86/

其他说明：

□适用√不适用

114/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

3、衍生金融资产

□适用√不适用

4、应收票据

(1)应收票据分类列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

银行承兑票据4608006.578648863.85

合计4608006.578648863.85

(2)期末公司已质押的应收票据

□适用√不适用

(3)期末公司已背书或贴现且在资产负债表日尚未到期的应收票据

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末终止确认金额期末未终止确认金额

银行承兑票据1538432.97

合计1538432.97

(4)按坏账计提方法分类披露

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额坏账准账面余额账面余额坏账准备备类别账面账面计提计提比例金价值比例金价值

金额(%)比例金额(%)比例额(%)额(%)按单项计提坏账准备

其中：

按组合计提4608006.57100.004608006.578648863.85100.008648863.85坏账准备

其中：

银行承兑汇4608006.57100.004608006.578648863.85100.008648863.85票

合计4608006.57//4608006.578648863.85//8648863.85

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

√适用□不适用

115/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

组合计提项目：账龄组合

单位：元币种：人民币期末余额名称

账面余额坏账准备计提比例（%）

银行承兑汇票组合4608006.57

合计4608006.57按组合计提坏账准备的说明

√适用□不适用

按组合计提坏账准备的确认标准及说明见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”

13.“应收账款”。

按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用各阶段划分依据和坏账准备计提比例无

对本期发生损失准备变动的应收账款账面余额显著变动的情况说明：

□适用√不适用

(5)坏账准备的情况

□适用√不适用

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

其他说明：

无

(6)本期实际核销的应收票据情况

□适用√不适用

其中重要的应收票据核销情况：

□适用√不适用

应收票据核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

5、应收账款

(1)按账龄披露

√适用□不适用

单位：元币种：人民币账龄期末账面余额期初账面余额

1年以内（含1年）124565513.54104758987.84

1至2年1320958.71520838.98

2至3年234078.00374091.80

3至4年12600.00-

116/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

4至5年19000.00181500.00

5年以上162500.00

合计126314650.25105835418.62

(2)按坏账计提方法分类披露

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额账面余额坏账准备账面余额坏账准备类别账面账面比例计提比比例计提比

金额(%)金额价值价值

例(%)金额(%)金额例(%)按单项计提坏账准备

其中：

126311196310026

按组合计提坏4650.2100.00668065.294007.3105835100.005573542.89418.6202.785.271915.8账准备564

其中：

1263166806119631058355573510026

账龄组合4650.2100.00

542.89

5.294007.3418.62100.0002.785.271915.864

12631

4650.2/66806

119631058355573510026

合计

542.89

/4007.3

6418.62

/02.78/1915.84

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

√适用□不适用

组合计提项目：账龄组合

单位：元币种：人民币期末余额名称

账面余额坏账准备计提比例（%）

1年以内124565513.546228275.685.00

1-2年1320958.71198143.8115.00

2-3年234078.0070223.4030.00

3-4年12600.006300.0050.00

4-5年19000.0015200.0080.00

5年以上162500.00162500.00100.00

合计126314650.256680642.895.29

按组合计提坏账准备的说明：

√适用□不适用

按组合计提坏账准备的确认标准及说明见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”

13.“应收账款”

按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用各阶段划分依据和坏账准备计提比例

117/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

无

对本期发生损失准备变动的应收账款账面余额显著变动的情况说明：

□适用√不适用

(3)坏账准备的情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期变动金额类别期初余额收回或转转销或核期末余额计提其他变动回销

按组合计提5573502.781107140.116680642.89坏账准备

合计5573502.781107140.116680642.89

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

(4)本期实际核销的应收账款情况

□适用√不适用其中重要的应收账款核销情况

□适用√不适用

应收账款核销说明：

□适用√不适用

(5)按欠款方归集的期末余额前五名的应收账款和合同资产情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币占应收账款应收账款和合和合同资产应收账款期末合同资产期坏账准备期单位名称同资产期末余期末余额合余额末余额末余额额计数的比例

（%）拓荆科技股

份有限公司93762920.8993762920.8974.234688146.04及其控制的

公司[注]中微半导体

设备（上海）股份有6130009.816130009.814.85306500.49限公司及其控制的公司

[注]北方华创科技集团股份

有限公司及3757702.003757702.002.97187885.10其控制的公

司[注]

118/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

湘潭宏大真

空技术股份3052760.003052760.002.42332315.50有限公司江苏微导纳

米科技股份3016309.003016309.002.39150815.45有限公司

合计109719701.70109719701.7086.865665662.58其他说明

[注]同一控制下的客户合并列示，下同客户名称控制的客户名称

拓荆科技股份有限公司及其控制的公司拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司

拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司

拓荆科技（上海）有限公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司及其控制的公司南昌中微半导体设备有限公司

中微半导体（上海）有限公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司

中微半导体设备（四川）有限公司北方华创科技集团股份有限公司及其控制的公司北京北方华创微电子装备有限公司北京北方华创半导体装备有限公司

其他说明：

□适用√不适用

6、合同资产

(1)合同资产情况

□适用√不适用

(2)报告期内账面价值发生重大变动的金额和原因

□适用√不适用

(3)按坏账计提方法分类披露

□适用√不适用

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按单项计提坏账准备的说明：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

□适用√不适用按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用各阶段划分依据和坏账准备计提比例

按组合计提坏账准备的确认标准及说明见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”

13.“应收账款”

对本期发生损失准备变动的合同资产账面余额显著变动的情况说明：

119/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

□适用√不适用

(4)本期合同资产计提坏账准备情况

□适用√不适用

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

其他说明：

无

(5)本期实际核销的合同资产情况

□适用√不适用其中重要的合同资产核销情况

□适用√不适用

合同资产核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

7、应收款项融资

(1)应收款项融资分类列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

银行承兑汇票19147389.4817952985.88

合计19147389.4817952985.88

(2)期末公司已质押的应收款项融资

□适用√不适用

(3)期末公司已背书或贴现且在资产负债表日尚未到期的应收款项融资

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末终止确认金额期末未终止确认金额

银行承兑汇票22611870.141538432.97

合计22611870.141538432.97

(4)按坏账计提方法分类披露

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额账面余额坏账准备账面余额坏账准备类别计提账面计提账面比例比例

金额(%)金额比例价值金额价值

(%)(%)金额比例

(%)

120/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

按单项计提坏账准备

其中：

按组合计提19147389.100.0

191417951795

73892985.100.02985

坏账准备480.48880.88

其中：

1914

银行承兑汇7389.100.0

19141795

73892985.100.0

1795

002985票48.4888.88

1914191417951795

合计7389.//73892985.//2985

48.4888.88

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按单项计提坏账准备的说明：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

√适用□不适用

组合计提项目：账龄组合

单位：元币种：人民币期末余额名称

账面余额坏账准备计提比例（%）

银行承兑汇票组合19147389.48

合计19147389.48按组合计提坏账准备的说明

√适用□不适用

按组合计提坏账准备的确认标准及说明见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”

13.“应收账款”。

按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用各阶段划分依据和坏账准备计提比例无

对本期发生损失准备变动的应收款项融资账面余额显著变动的情况说明：

□适用√不适用

(5)坏账准备的情况

□适用√不适用

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

其他说明：

无

121/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(6)本期实际核销的应收款项融资情况

□适用√不适用其中重要的应收款项融资核销情况

□适用√不适用

核销说明：

□适用√不适用

(7)应收款项融资本期增减变动及公允价值变动情况：

□适用√不适用

(8)其他说明：

□适用√不适用

8、预付款项

(1)预付款项按账龄列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额账龄

金额比例(%)金额比例(%)

1年以内20775065.4499.8312862309.6680.66

1至2年36356.000.173084662.7019.34

合计20811421.44100.0015946972.36100.00

账龄超过1年且金额重要的预付款项未及时结算原因的说明：

无

(2)按预付对象归集的期末余额前五名的预付款情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币占预付款项期末余额合计数单位名称期末余额

的比例(%)

供应商 S 14061784.14 67.57

供应商W 3022918.42 14.53

供应商 T 739783.85 3.55

供应商 YST 400456.14 1.92

供应商 XR 276850.00 1.33

合计18501792.5588.90

其他说明：

无其他说明

□适用√不适用

9、其他应收款

项目列示

√适用□不适用

122/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

应收利息872602.74应收股利

其他应收款4433503.724018193.49

合计5306106.464018193.49

其他说明：

□适用√不适用应收利息

(1)应收利息分类

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

大额存单计提的利息872602.74

合计872602.74

(2)重要逾期利息

□适用√不适用

(3)按坏账计提方法分类披露

□适用√不适用

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按单项计提坏账准备的说明：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

□适用√不适用按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用

(4)坏账准备的情况

□适用√不适用

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

其他说明：

无

(5)本期实际核销的应收利息情况

□适用√不适用其中重要的应收利息核销情况

□适用√不适用

核销说明：

□适用√不适用

123/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

其他说明：

□适用√不适用应收股利

(6)应收股利

□适用√不适用

(7)重要的账龄超过1年的应收股利

□适用√不适用

(8)按坏账计提方法分类披露

□适用√不适用

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按单项计提坏账准备的说明：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

□适用√不适用按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用

(9)坏账准备的情况

□适用√不适用

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

其他说明：

无

(10)本期实际核销的应收股利情况

□适用√不适用其中重要的应收股利核销情况

□适用√不适用

核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用其他应收款

(11)按账龄披露

√适用□不适用

单位：元币种：人民币账龄期末账面余额期初账面余额

124/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

1年以内（含1年）2867655.032413804.89

1至2年1573506.701592150.70

2至3年61751.4661751.46

3至4年450145.00450145.00

4至5年517261.16517261.16

5年以上30000.0030000.00

合计5500319.355065113.21

(12)按款项性质分类情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币款项性质期末账面余额期初账面余额

押金保证金4730750.284516118.24

其他769569.07548994.97

合计5500319.355065113.21

(13)坏账准备计提情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币

第一阶段第二阶段第三阶段未来12个月整个存续期预整个存续期预期坏账准备合计

预期信用损期信用损失(未信用损失(已发生

失发生信用减值)信用减值)

2026年1月1日余额120690.24238822.61687406.871046919.72

2026年1月1日余额在

本期

--转入第二阶段-78675.3478675.34

--转入第三阶段-9262.729262.72

--转回第二阶段

--转回第一阶段

本期计提101367.85-72209.22-9262.7219895.91本期转回本期转销本期核销其他变动

2026年6月30日余额143382.75236026.01687406.871066815.63

各阶段划分依据和坏账准备计提比例期末数组合名称

账面余额坏账准备计提比例（%）

账龄组合5500319.351066815.6319.40

其中：1年以内2867655.03143382.755.00

1-2年1573506.70236026.0115.00

2-3年61751.4618525.4430.00

3-4年450145.00225072.5050.00

4-5年517261.16413808.9380.00

5年以上30000.0030000.00100.00

125/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

小计5500319.351066815.6319.40

对本期发生损失准备变动的其他应收款账面余额显著变动的情况说明：

□适用√不适用

本期坏账准备计提金额以及评估金融工具的信用风险是否显著增加的采用依据：

□适用√不适用

(14)坏账准备的情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期变动金额类别期初余额收回或转转销或核期末余额计提其他变动回销

按组合计提1046919.7219895.911066815.63坏账准备

合计1046919.7219895.911066815.63

其中本期坏账准备转回或收回金额重要的：

□适用√不适用其他说明无

(15)本期实际核销的其他应收款情况

□适用√不适用

其中重要的其他应收款核销情况：

□适用√不适用

其他应收款核销说明：

□适用√不适用

(16)按欠款方归集的期末余额前五名的其他应收款情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币占其他应收款期款项的性坏账准备单位名称期末余额末余额合计数的账龄

(%)质期末余额比例深圳市桃花1年以

源科技产业4462012.9781.12押金保证内、1-23-4956386.84运营有限公金年、

司年、4-5年北京麦沃菲

140400.002.55押金保证斯商务服务1-2年21060.00

金有限公司深圳市安居押金保证

和樾府管理55751.461.012-3年16725.44金有限公司

供应商 LB 30000.00 0.55 押金保证 5年以上 30000.00金

126/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

武汉地质资

源环境工业20000.000.36押金保证1年以内1000.00技术研究院金有限公司

合计4708164.4385.59//1025172.28

(17)因资金集中管理而列报于其他应收款

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

10、存货

(1)存货分类

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额存货跌价准存货跌价准

项目备/合同履约备/合同履约账面余额账面价值账面余额账面价值成本减值准成本减值准备备

原材料90733328.5015567183.3675166145.1487535337.5413949644.2673585693.28

在产品23799373.711117829.7222681543.9914050823.79462184.7313588639.06

库存商63272257.4710949787.1952322470.2866361151.969421550.0856939601.88品

发出商524465.57524465.57660062.29660062.29品

委托加4784115.674784115.673034839.963034839.96工物资

合计183113540.9227634800.27155478740.65171642215.5423833379.07147808836.47

(2)确认为存货的数据资源

□适用√不适用

(3)存货跌价准备及合同履约成本减值准备

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期增加金额本期减少金额项目期初余额期末余额计提其他转回或转销其他

原材料13949644.262903698.601286159.5015567183.36

在产品462184.731641804.55986159.561117829.72

库存商品9421550.085478757.833950520.7210949787.19

合计23833379.0710024260.986222839.7827634800.27本期转回或转销存货跌价准备的原因

√适用□不适用项确定可变现净值转销存货跌价目的具体依据准备的原因

127/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

本期将已计提存

原材相关产成品估计售价减去至完工估计将要发生的成本、估计的销售货跌价准备的存料费用以及相关税费后的金额确定可变现净值

货耗用/售出本期将已计提存库存相关产成品估计售价减去估计的销售费用以及相关税费后的金额货跌价准备的存商品确定可变现净值货售出按照所生产的产成品的估计售价减去至完工时估计将要发生的成本期将已计提存在产

本、估计的销售费用和相关税费后的金额确定其可变现净值，按照货跌价准备的存品存货成本高于可变现净值的差额计提存货跌价准备货售出按组合计提存货跌价准备

□适用√不适用按组合计提存货跌价准备的计提标准

□适用√不适用

(4)存货期末余额含有的借款费用资本化金额及其计算标准和依据

□适用√不适用

(5)合同履约成本本期摊销金额的说明

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

11、持有待售资产

□适用√不适用

12、一年内到期的非流动资产

□适用√不适用一年内到期的债权投资

□适用√不适用一年内到期的其他债权投资

□适用√不适用一年内到期的非流动资产的其他说明无

13、其他流动资产

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

待抵扣进项税6973771.396936657.14

预缴所得税3788973.60519.41

合计10762744.996937176.55补偿性资产相关信息

□适用√不适用

128/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

其他说明：

无

14、债权投资

(1)债权投资情况

□适用√不适用债权投资减值准备本期变动情况

□适用√不适用

(2)期末重要的债权投资

□适用√不适用

(3)减值准备计提情况

□适用√不适用

各阶段划分依据和减值准备计提比例：

无

对本期发生损失准备变动的债权投资账面余额显著变动的情况说明：

□适用√不适用

本期减值准备计提金额以及评估金融工具的信用风险是否显著增加的采用依据：

□适用√不适用

(4)本期实际的核销债权投资情况

□适用√不适用其中重要的债权投资情况核销情况

□适用√不适用

债权投资的核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

无

15、其他债权投资

(1)其他债权投资情况

□适用√不适用其他债权投资减值准备本期变动情况

□适用√不适用

(2)期末重要的其他债权投资

□适用√不适用

129/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(3)减值准备计提情况

□适用√不适用

(4)本期实际核销的其他债权投资情况

□适用√不适用其中重要的其他债权投资情况核销情况

□适用√不适用

其他债权投资的核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

16、长期应收款

(1)长期应收款情况

□适用√不适用

(2)按坏账计提方法分类披露

□适用√不适用

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按单项计提坏账准备的说明：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

□适用√不适用按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用

(3)坏账准备的情况

□适用√不适用

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

其他说明：

无

(4)本期实际核销的长期应收款情况

□适用√不适用其中重要的长期应收款核销情况

□适用√不适用

长期应收款核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

130/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

17、长期股权投资

(1)长期股权投资情况

□适用√不适用

(2)长期股权投资的减值测试情况

□适用√不适用其他说明无

18、其他权益工具投资

(1)其他权益工具投资情况

□适用√不适用

(2)本期存在终止确认的情况说明

□适用√不适用

其他说明：

√适用□不适用项目账面价值持股比例

辽宁聚芯智能装备创新中心有限公司5000000.005%

合计5000000.00

131/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

19、其他非流动金融资产

□适用√不适用

20、投资性房地产

投资性房地产计量模式不适用

21、固定资产

项目列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

固定资产89348509.2491810034.23

合计89348509.2491810034.23

其他说明：

无固定资产

(1)固定资产情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币房屋及建筑电子设备及项目机器设备运输工具合计物其他

一、账面原值：

1.期初余额51759008.2562963788.714185397.407748432.12126656626.48

2.本期增加金额3229204.665309.733684481.006918995.39

（1）购置2170416.695309.733684481.005860207.42

（2）在建工程转入117475.92117475.92

（3）存货转入固定资941312.05941312.05产

3.本期减少金额263270.7530901.83294172.58

（1）处置或报废263270.7530901.83294172.58

4.期末余额51759008.2565929722.624190707.1311402011.29133281449.29

二、累计折旧

1.期初余额2383049.1625903587.852652305.663907649.5834846592.25

2.本期增加金额1253250.246669710.02334498.16990396.579247854.99

（1）计提1253250.246669710.02334498.16990396.579247854.99

3.本期减少金额135395.0026112.19161507.19

（1）处置或报废135395.0026112.19161507.19

4.期末余额3636299.4032437902.872986803.824871933.9643932940.05

三、减值准备

1.期初余额

2.本期增加金额

（1）计提

132/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

3.本期减少金额

（1）处置或报废

4.期末余额

四、账面价值

1.期末账面价值48122708.8533491819.751203903.316530077.3389348509.24

2.期初账面价值49375959.0937060200.861533091.743840782.5491810034.23

(2)暂时闲置的固定资产情况

□适用√不适用

(3)通过经营租赁租出的固定资产

□适用√不适用

(4)未办妥产权证书的固定资产情况

□适用√不适用

(5)固定资产的减值测试情况

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用固定资产清理

□适用√不适用

22、在建工程

项目列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

在建工程22468604.09471439.51

合计22468604.09471439.51

其他说明：

无在建工程

(1)在建工程情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额项目账面余额减值准备账面价值账面余额减值准备账面价值

厂房装修工程19461707.6219461707.62

需安装调试的设备3006896.473006896.47471439.51471439.51

合计22468604.0922468604.09471439.51471439.51

133/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(2)重要在建工程项目本期变动情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币其本中利本

期本：期工程息转期本利累计资期入其期息资投入本初本期增加金固他期末工程利资金项目名称预算数占预化余额定减余额进度息本来算比累额资少资化源例计

产金(%)本率金

金额化(%额

额金)额工程（深圳）自

-桃花源科技16717685.5616384223.316384223.398.098.0有

创新园 X2栋 6 6 1 1 资装修工程金工程（深圳）自

-桃花源科技

创新园 X2栋 2431646.35 2383013.42 2383013.42 98.0 98.0 有0 0 资装修项目弱电金工程软件（深圳）自

-MOM制造 2339681.02 1871744.82 1871744.82 80.0 80.0 有运营管理系统00资合同金

21489012.9320638981.620638981.6合计00////

(3)本期计提在建工程减值准备情况

□适用√不适用

(4)在建工程的减值测试情况

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用工程物资

□适用√不适用

23、生产性生物资产

(1)采用成本计量模式的生产性生物资产

□适用√不适用

(2)采用成本计量模式的生产性生物资产的减值测试情况

□适用√不适用

134/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(3)采用公允价值计量模式的生产性生物资产

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

24、油气资产

(1)油气资产情况

□适用√不适用

(2)油气资产的减值测试情况

□适用√不适用

其他说明：

无

25、使用权资产

(1)使用权资产情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目房屋及建筑物合计

一、账面原值

1.期初余额24472681.8724472681.87

2.本期增加金额15585417.2415585417.24

租入15585417.2415585417.24

3.本期减少金额

4.期末余额40058099.1140058099.11

二、累计折旧

1.期初余额11317859.7711317859.77

2.本期增加金额5907699.595907699.59

(1)计提5907699.595907699.59

3.本期减少金额

(1)处置

4.期末余额17225559.3617225559.36

三、减值准备

1.期初余额

2.本期增加金额

(1)计提

3.本期减少金额

(1)处置

4.期末余额

四、账面价值

1.期末账面价值22832539.7522832539.75

135/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

2.期初账面价值13154822.1013154822.10

(2)使用权资产的减值测试情况

□适用√不适用

其他说明：

无

26、无形资产

(1)无形资产情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目软件合计

一、账面原值

1.期初余额1676630.051676630.05

2.本期增加金额

(1)购置

(2)内部研发

(3)企业合并增加

3.本期减少金额

(1)处置

4.期末余额1676630.051676630.05

二、累计摊销

1.期初余额1226816.721226816.72

2.本期增加金额205742.82205742.82

（1）计提205742.82205742.82

3.本期减少金额

(1)处置

4.期末余额1432559.541432559.54

三、减值准备

1.期初余额

2.本期增加金额

（1）计提

3.本期减少金额

(1)处置

4.期末余额

四、账面价值

1.期末账面价值244070.51244070.51

2.期初账面价值449813.33449813.33

本期末通过公司内部研发形成的无形资产占无形资产余额的比例0%

136/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(2)确认为无形资产的数据资源

□适用√不适用

(3)未办妥产权证书的土地使用权情况

□适用√不适用

(4)无形资产的减值测试情况

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

27、商誉

(1)商誉账面原值

□适用√不适用

(2)商誉减值准备

□适用√不适用

(3)商誉所在资产组或资产组组合的相关信息

□适用√不适用资产组或资产组组合发生变化

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

(4)可收回金额的具体确定方法可收回金额按公允价值减去处置费用后的净额确定

□适用√不适用可收回金额按预计未来现金流量的现值确定

□适用√不适用前述信息与以前年度减值测试采用的信息或外部信息明显不一致的差异原因

□适用√不适用公司以前年度减值测试采用信息与当年实际情况明显不一致的差异原因

□适用√不适用

(5)业绩承诺及对应商誉减值情况形成商誉时存在业绩承诺且报告期或报告期上一期间处于业绩承诺期内

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

137/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

28、长期待摊费用

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期增加金本期摊销金项目期初余额其他减少金额期末余额额额租入资产的

装修改造工3055535.27820172.48835066.173040641.58程

合计3055535.27820172.48835066.173040641.58

其他说明：

无

29、递延所得税资产/递延所得税负债

(1)未经抵销的递延所得税资产

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额项目可抵扣暂时性递延所得税可抵扣暂时性递延所得税差异资产差异资产

资产减值准备31561238.094734185.7227328166.004099224.90

租赁负债25451497.313831876.7314573197.602205880.39

预计负债3197305.23479595.782078811.94311821.79

递延收益3594351.68539152.755026847.27754027.09

销售返利3272188.03490828.2021609410.253241411.54

合计67076580.3410075639.1870616433.0610612365.71

(2)未经抵销的递延所得税负债

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额项目应纳税暂时性递延所得税应纳税暂时性递延所得税差异负债差异负债

使用权资产22832539.753439033.1013115407.681987211.90

合计22832539.753439033.1013115407.681987211.90

(3)以抵销后净额列示的递延所得税资产或负债

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额递延所得税资递延所得税资项目抵销后递延所抵销后递延所产和负债互抵产和负债互抵得税资产余额得税资产余额金额金额

递延所得税资产3439033.106636606.081987211.908625153.81

递延所得税负债3439033.101987211.90

(4)未确认递延所得税资产明细

√适用□不适用

138/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

可抵扣暂时性差异4586211.883125635.57

可抵扣亏损17045709.1910516515.01

合计21631921.0713642150.58

(5)未确认递延所得税资产的可抵扣亏损将于以下年度到期

√适用□不适用

单位：元币种：人民币年份期末金额期初金额备注

2029年3261576.453261576.45

2030年7189913.567189913.56

2031年6475475.40

系德国子公司 CSL

无固定期限 118743.78 65025.00 Vacuum Science and

Technology GmbH

合计17045709.1910516515.01/

其他说明：

□适用√不适用

30、其他非流动资产

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额项目账面余额减值准备账面价值账面余额减值准备账面价值

预付工程设2680720.672680720.67540106.82540106.82备款

合计2680720.672680720.67540106.82540106.82补偿性资产相关信息

□适用√不适用

其他说明：

无

31、所有权或使用权受限资产

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末期初项目受限受限受限受限账面余额账面价值账面余额账面价值类型情况类型情况未终未终止确止确认已认已

应收1538432.971538432.97质押背书3335908.853335908.85质押背书票据未到未到期的期的应收应收

139/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

票据票据使用使用权受权受限限

合计1538432.971538432.97//3335908.853335908.85//

其他说明：

无

32、短期借款

(1)短期借款分类

□适用√不适用

(2)已逾期未偿还的短期借款情况

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

33、交易性金融负债

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

34、衍生金融负债

□适用√不适用

35、应付票据

□适用√不适用

36、应付账款

(1)应付账款列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

货款45223540.6821545404.02

工程设备款14839744.183100066.13

费用款9370812.555393331.39

合计69434097.4130038801.54

(2)账龄超过1年或逾期的重要应付账款

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

140/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

37、预收款项

(1)预收款项列示

□适用√不适用

(2)账龄超过1年的重要预收款项

□适用√不适用

(3)报告期内账面价值发生重大变动的金额和原因

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

38、合同负债

(1)合同负债情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

预收货款2513542.692306130.27

销售返利3272188.0321609410.25

合计5785730.7223915540.52

(2)账龄超过1年的重要合同负债

□适用√不适用

(3)报告期内账面价值发生重大变动的金额和原因

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

39、应付职工薪酬

(1)应付职工薪酬列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期初余额本期增加本期减少期末余额

一、短期薪酬10702217.8248617322.7449285674.3110033866.25

二、离职后福利-设定提7090.382048543.242048543.247090.38存计划

三、辞退福利18267.008600.009667.00

合计10709308.2050684132.9851342817.5510050623.63

(2)短期薪酬列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期初余额本期增加本期减少期末余额

141/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

一、工资、奖金、津贴和10698021.6243865874.3844534326.9510029569.05补贴

二、职工福利费2442493.872442493.87

三、社会保险费4196.20645305.00645204.004297.20

其中：医疗保险费4110.28531338.06531237.064211.28

工伤保险费85.9234576.9034576.9085.92

生育保险费79390.0479390.04

四、住房公积金1660221.491660221.49

五、工会经费和职工教育3428.003428.00经费

六、短期带薪缺勤

七、短期利润分享计划

合计10702217.8248617322.7449285674.3110033866.25

(3)设定提存计划列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期初余额本期增加本期减少期末余额

1、基本养老保险6875.521993359.201993359.206875.52

2、失业保险费214.8655184.0455184.04214.86

合计7090.382048543.242048543.247090.38

其他说明：

□适用√不适用

40、应交税费

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

增值税2927532.092721208.48

企业所得税6913452.01

个人所得税3040875.82903042.41

印花税44367.8030298.63

城市维护建设税205757.13118568.35

地方教育附加58787.7533876.67

教育费附加88181.6350815.01

其他43483.0021741.52

合计6408985.2210793003.08

其他说明：

无

41、其他应付款

(1)项目列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

其他应付款67330.32166022.76

合计67330.32166022.76

142/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(2)应付利息

□适用√不适用

(3)应付股利

□适用√不适用

(4)其他应付款按款项性质列示其他应付款

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

应付报销款及其他67330.32166022.76

合计67330.32166022.76账龄超过1年或逾期的重要其他应付款

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

42、持有待售负债

□适用√不适用

43、一年内到期的非流动负债

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

一年内到期的租赁负债12218321.168005143.06

一年内到期的预计负债3197305.232078811.94

合计15415626.3910083955.00

其他说明：

无

44、其他流动负债

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

待转销项税额326760.52198327.91

期末未到期已背书的银行1538432.973335908.85承兑汇票

合计1865193.493534236.76

短期应付债券的增减变动：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

143/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

45、长期借款

(1)长期借款分类

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

46、应付债券

(1)应付债券

□适用√不适用

(2)应付债券的具体情况：（不包括划分为金融负债的优先股、永续债等其他金融工具）

□适用√不适用

(3)可转换公司债券的说明

□适用√不适用转股权会计处理及判断依据

□适用√不适用

(4)划分为金融负债的其他金融工具说明

期末发行在外的优先股、永续债等其他金融工具基本情况

□适用√不适用

期末发行在外的优先股、永续债等金融工具变动情况表

□适用√不适用其他金融工具划分为金融负债的依据说明

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

47、租赁负债

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

尚未支付的租赁付款额13605668.856728223.18

减：未确认融资费用359898.87160168.64

合计13245769.986568054.54

其他说明：

无

144/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

48、长期应付款

项目列示

□适用√不适用长期应付款

□适用√不适用专项应付款

□适用√不适用

49、长期应付职工薪酬

□适用√不适用

50、预计负债

□适用√不适用

51、递延收益

递延收益情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期初余额本期增加本期减少期末余额形成原因

政府补助5026847.271432495.593594351.68尚未使用或未达到摊销期限

合计5026847.271432495.593594351.68/

其他说明：

□适用√不适用

52、其他非流动负债

□适用√不适用

53、股本

√适用□不适用

单位：元币种：人民币

本次变动增减（+、-）公积期初余额发行期末余额送股金其他小计新股转股

股份总50771129.0016930559.0016930559.0067701688.00数

其他说明：

公司于2026年1月28日在上海证券交易所科创板首次公开发行股票并上市增加股本。

145/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

54、其他权益工具

(1)期末发行在外的优先股、永续债等其他金融工具基本情况

□适用√不适用

(2)期末发行在外的优先股、永续债等金融工具变动情况表

□适用√不适用

其他权益工具本期增减变动情况、变动原因说明，以及相关会计处理的依据：

□适用√不适用

其他说明:

□适用√不适用

55、资本公积

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期初余额本期增加本期减少期末余额资本溢价（股本464777830.761396827026.621861604857.38溢价）

其他资本公积9421662.481030197.5910451860.07

合计474199493.241397857224.211872056717.45

其他说明，包括本期增减变动情况、变动原因说明：

1.2026年1-6月份确认股份支付费用导致资本公积-其他资本公积增加1030197.59元；

2.公司于2026年1月28日在上海证券交易所科创板上市发行股票并上市增加股本溢价。

56、库存股

□适用√不适用

57、其他综合收益

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期发生金额

减：税

前期减：前后计入期计入归

期初其他其他综减：所属期末项目本期所得税税后归属于余额综合合收益得税费于余额前发生额母公司收益当期转用少当期入留存数转入收益股损益东

一、不能分类进损益的其他综合收益

二、将6525.00-138939.51-138939.51-132414.51重分类

146/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

本期发生金额

减：税

前期减：前后计入期计入归

期初其他其他综减：所属期末项目本期所得税税后归属于余额综合合收益得税费于余额前发生额母公司收益当期转用少当期入留存数转入收益股损益东进损益的其他综合收益外币财

务报表6525.00-138939.51-138939.51-132414.51折算差额其他综

合收益6525.00-138939.51-138939.51-132414.51合计

其他说明，包括对现金流量套期损益的有效部分转为被套期项目初始确认金额调整：

无

58、专项储备

□适用√不适用

59、盈余公积

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期初余额本期增加本期减少期末余额

法定盈余公积25385564.5025385564.50

合计25385564.5025385564.50

盈余公积说明，包括本期增减变动情况、变动原因说明：

无

60、未分配利润

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期上年度

调整前上期末未分配利润249890246.90144689127.93调整期初未分配利润合计数（调增+，调减-）调整后期初未分配利润249890246.90144689127.93

加：本期归属于母公司所有者的净52350514.07113840339.46利润

减：提取法定盈余公积8639220.49提取任意盈余公积

147/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

提取一般风险准备

应付普通股股利54161350.40转作股本的普通股股利

期末未分配利润248079410.57249890246.90

调整期初未分配利润明细：

1、由于《企业会计准则》及其相关新规定进行追溯调整，影响期初未分配利润0元。

2、由于会计政策变更，影响期初未分配利润0元。

3、由于重大会计差错更正，影响期初未分配利润0元。

4、由于同一控制导致的合并范围变更，影响期初未分配利润0元。

5、其他调整合计影响期初未分配利润0元。

61、营业收入和营业成本

(1)营业收入和营业成本情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期发生额上期发生额项目收入成本收入成本

主营业务278360652.04139483585.14304056343.03155043094.55其他业务

合计278360652.04139483585.14304056343.03155043094.55

(2)营业收入、营业成本的分解信息

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期数上年同期数合同分类营业收入营业成本营业收入营业成本商品类型

自研产品242722064.15110692731.20257874390.41116930895.97

引进产品31362870.8126232633.2944579209.3737603899.79

技术服务4275717.082558220.651602743.25508298.79按经营地分类

境内地区278277557.15139433623.20303757571.09154909067.79

境外地区83094.8949961.94298771.94134026.76

在某一时点确认收入278360652.04139483585.14304056343.03155043094.55

合计278360652.04139483585.14304056343.03155043094.55其他说明

□适用√不适用

(3)履约义务的说明

√适用□不适用

单位：元币种：人民币公司承诺公司承担的预公司提供的质履行履约义重要的支是否为主项目转让商品期将退还给客量保证类型及务的时间付条款要责任人的性质户的款项相关义务付款期限保证类质量保销售商品商品交付时销售商品是无一般为预证

148/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

收或者产

品交付/验收后的

30-90天到期，不存在重大融资成分和可变对价一般为预提供服务服务提供时提供服务是无无收

合计/////

(4)分摊至剩余履约义务的说明

□适用√不适用

(5)重大合同变更或重大交易价格调整

□适用√不适用

其他说明：

无

62、税金及附加

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

城市维护建设税209220.78831451.71

教育费附加89666.05356336.45

地方教育费附加59777.36237557.62

房产税147029.0899647.78

土地使用税26903.0031962.76

车船使用税1200.001200.00

印花税262606.96132174.48

合计796403.231690330.80

其他说明：

无

63、销售费用

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

职工薪酬3631948.052893326.62

办公差旅费982233.29394801.61

业务招待费814145.65709207.80

业务宣传费284107.91228841.01

股份支付156755.64142241.22

其他189905.05243180.27

149/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

合计6059095.594611598.53

其他说明：

无

64、管理费用

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

职工薪酬15993602.6216367771.47

办公差旅费1504566.441679960.61

中介及咨询费2426316.122189292.15

租赁物业水电费737364.97591336.62

折旧摊销费5809485.784151119.59

招待费2027186.69572617.93

股份支付607754.40551480.82

其他575232.16987303.10

合计29681509.1827090882.29

其他说明：

无

65、研发费用

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

人工费21296829.8718880498.93

材料费7679809.818212018.59

折旧摊销费5658519.705913858.92

产品测评费2790405.862934609.39

办公差旅费805026.191377237.18

服务费2867881.29853339.91

租赁物业水电费1273342.811196665.68

委托研发费2857494.743174165.02

股份支付194432.51178780.44

其他328640.81587182.99

合计45752383.5943308357.05

其他说明：

无

66、财务费用

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

利息费用456819.75378979.26

减：利息收入2777241.613100959.02

汇兑损益253646.72528887.11

手续费及其他27359.3722163.14财政贴息

合计-2039415.77-2170929.51

150/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

其他说明：

无

67、其他收益

√适用□不适用

单位：元币种：人民币按性质分类本期发生额上期发生额

与资产相关的政府补助1432495.591759665.18

与收益相关的政府补助104812.324190135.74

代扣个人所得税手续费返还150345.85111190.85

增值税加计抵减2897162.583078480.66

合计4584816.349139472.43

其他说明：

无

68、投资收益

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

交易性金融资产在持有期间的投资193315.07收益

合计193315.07

其他说明：

无

69、净敞口套期收益

□适用√不适用

70、公允价值变动收益

√适用□不适用

单位：元币种：人民币产生公允价值变动收益的来源本期发生额上期发生额

交易性金融资产788945.86

合计788945.86

其他说明：

无

71、资产处置收益

□适用√不适用

72、信用减值损失

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

应收账款坏账损失-1107140.11-3201756.94

其他应收款坏账损失-19897.32-123821.16

151/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

合计-1127037.43-3325578.10

其他说明：

无

73、资产减值损失

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

一、合同资产减值损失1585.00

二、存货跌价损失及合同履约成-8593643.10-5561780.42本减值损失

合计-8593643.10-5560195.42

其他说明：

无

74、营业外收入

√适用□不适用

单位：元币种：人民币计入当期非经常性损项目本期发生额上期发生额益的金额

其他911.508538.78911.50

合计911.508538.78911.50

其他说明：

□适用√不适用

75、营业外支出

√适用□不适用

单位：元币种：人民币计入当期非经常性损项目本期发生额上期发生额益的金额

非流动资产处置损132240.52132240.52失合计

其中：固定资产处132240.52132240.52置损失

罚款及滞纳金83.00145261.9083.00

其他523.3746069.75523.37

对外捐赠373494.32

合计132846.89564825.97132846.89

其他说明：

无

76、所得税费用

(1)所得税费用表

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

152/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

当期所得税费用2490.635751381.07

递延所得税费用1988547.73-918574.85

合计1991038.364832806.22

(2)会计利润与所得税费用调整过程

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额

利润总额54341552.43

按法定/适用税率计算的所得税费用8151232.86

子公司适用不同税率的影响979379.13

调整以前期间所得税的影响2490.63非应税收入的影响

不可抵扣的成本、费用和损失的影响239645.78

本期未确认递延所得税资产的可抵扣暂时性141044.30差异或可抵扣亏损的影响

研发加计的影响-7522754.34可抵扣以前年度亏损

所得税费用1991038.36

其他说明：

□适用√不适用

77、其他综合收益

√适用□不适用

详见第八节“财务报告”附注“七、57其他综合收益”相关内容

78、现金流量表项目

(1)与经营活动有关的现金收到的其他与经营活动有关的现金

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

利息收入2777241.613100959.02

政府补助104812.323197026.13

押金保证金1350190.6160070.81

其他150345.85158810.81

合计4382590.396516866.77

收到的其他与经营活动有关的现金说明：

无支付的其他与经营活动有关的现金

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

付现费用18031847.8016952408.21

押金保证金2242893.68809680.46

153/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

其他2225378.29189647.39

合计22500119.7717951736.06

支付的其他与经营活动有关的现金说明：

无

(2)与投资活动有关的现金收到的重要的投资活动有关的现金

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

收回理财产品及利息180193315.07

合计180193315.07收到的重要的投资活动有关的现金无支付的重要的投资活动有关的现金

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

投资理财产品970000000.00

其他权益工具投资5000000.00

合计975000000.00支付的重要的投资活动有关的现金无收到的其他与投资活动有关的现金

□适用√不适用支付的其他与投资活动有关的现金

□适用√不适用

(3)与筹资活动有关的现金收到的其他与筹资活动有关的现金

□适用√不适用支付的其他与筹资活动有关的现金

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

租赁付款额6015887.453718848.59

发行费用37100446.71

合计43116334.163718848.59

支付的其他与筹资活动有关的现金说明：

公司于2026年1月28日在上海证券交易所科创板首次公开发行股票并上市，报告期内支付相关发行费用。

筹资活动产生的各项负债变动情况

□适用√不适用

154/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(4)以净额列报现金流量的说明

□适用√不适用

(5)不涉及当期现金收支、但影响企业财务状况或在未来可能影响企业现金流量的重大活动及财务影响

□适用√不适用

79、现金流量表补充资料

(1)现金流量表补充资料

√适用□不适用

单位：元币种：人民币补充资料本期金额上期金额

1．将净利润调节为经营活动现金

流量：

净利润52350514.0769347614.82

加：资产减值准备8593643.105560195.42

信用减值损失1127037.433325578.10

固定资产折旧、油气资产折耗、生9247854.998104946.27产性生物资产折旧

使用权资产摊销5907699.593548177.22

无形资产摊销205742.82211455.24

长期待摊费用摊销835066.171146548.54

处置固定资产、无形资产和其他长期资产的损失（收益以“-”号填列）固定资产报废损失（收益以“-”号填列）公允价值变动损失（收益以“-”号-788945.86填列）

财务费用（收益以“-”号填列）-2039415.77907866.37

投资损失（收益以“-”号填列）-193315.07递延所得税资产减少（增加以“-”1988547.73-918574.85号填列）递延所得税负债增加（减少以“-”号填列）

存货的减少（增加以“-”号填列）-17694165.16-23062041.96经营性应收项目的减少（增加以“-”-28898615.46-84660893.86号填列）经营性应付项目的增加（减少以“-”6029525.87号填列）2153237.93

其他402298.00937159.83

经营活动产生的现金流量净额33197184.51-9522442.99

2．不涉及现金收支的重大投资和

筹资活动：

债务转为资本一年内到期的可转换公司债券

新增使用权资产15585417.241150508.61

155/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

3．现金及现金等价物净变动情

况：

现金的期末余额1060169620.12400096151.00

减：现金的期初余额481406878.80427113311.44

加：现金等价物的期末余额

减：现金等价物的期初余额

现金及现金等价物净增加额578762741.32-27017160.44

(2)本期支付的取得子公司的现金净额

□适用√不适用

(3)本期收到的处置子公司的现金净额

□适用√不适用

(4)现金和现金等价物的构成

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

一、现金1060169620.12481406878.80

其中：库存现金

可随时用于支付的银行存款1060169081.64481406340.46

可随时用于支付的其他货币资538.48538.34金可用于支付的存放中央银行款项存放同业款项拆放同业款项

二、现金等价物

其中：三个月内到期的债券投资

三、期末现金及现金等价物余额1060169620.12481406878.80

其中：母公司或集团内子公司使用受限制的现金和现金等价物

(5)使用范围受限但仍作为现金和现金等价物列示的情况

□适用√不适用

(6)不属于现金及现金等价物的货币资金

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

80、所有者权益变动表项目注释

说明对上年期末余额进行调整的“其他”项目名称及调整金额等事项：

□适用√不适用

156/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

81、外币货币性项目

(1)外币货币性项目

√适用□不适用

单位：元期末折算人民币项目期末外币余额折算汇率余额

货币资金2525976.27

其中：美元28754.836.8109195846.27

欧元300000.007.76712330130.00

应收账款174495.26

其中：美元25620.006.8109174495.26

应付账款596046.65

其中：美元79436.006.8109541030.65

欧元7083.107.767155016.00

其他说明：

无

(2)货币缺乏可兑换性的性质及其财务影响、所采用的即期汇率及其估计过程，以及企业因货币缺乏可兑换性而面临的风险

□适用√不适用

(3)境外经营实体说明，包括对于重要的境外经营实体，应披露其境外主要经营地、记账本位币

及选择依据，记账本位币发生变化的还应披露原因□适用√不适用

(4)境外经营的记账本位币与企业的列报货币之间缺乏可兑换性的情况

□适用√不适用

82、租赁

(1)作为承租人

√适用□不适用未纳入租赁负债计量的可变租赁付款额

□适用√不适用简化处理的短期租赁或低价值资产的租赁费用

√适用□不适用

公司对短期租赁和低价值资产租赁的会计政策详见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”38.“租赁”。

1）计入当期损益的短期租赁费用和低价值资产租赁费用金额如下：

单位：元币种：人民币项目本期数上年同期数

短期租赁费用24111.21281183.20

合计24111.21281183.20

2)与租赁相关的当期损益及现金流

单位：元币种：人民币项目本期数上年同期数

157/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

租赁负债的利息费用456819.75378979.26

与租赁相关的总现金流出5175454.664000031.79售后租回交易及判断依据

□适用√不适用

与租赁相关的现金流出总额5175454.66(单位：元币种：人民币)

(2)作为出租人作为出租人的经营租赁

□适用√不适用作为出租人的融资租赁

□适用√不适用未折现租赁收款额与租赁投资净额的调节表

□适用√不适用未来五年未折现租赁收款额

□适用√不适用

(3)作为生产商或经销商确认融资租赁销售损益

□适用√不适用其他说明无

83、数据资源

□适用√不适用

84、其他

□适用√不适用

八、研发支出

1、按费用性质列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

人工费21296829.8718880498.93

材料费7679809.818212018.59

折旧摊销费5658519.705913858.92

产品测评费2790405.862934609.39

办公差旅费805026.191377237.18

服务费2867881.29853339.91

租赁物业水电费1273342.811196665.68

委托研发费2857494.743174165.02

股份支付194432.51178780.44

其他328640.81587182.99

158/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

合计45752383.5943308357.05

其中：费用化研发支出45752383.5943308357.05资本化研发支出

其他说明：

无

2、符合资本化条件的研发项目开发支出

□适用√不适用重要的资本化研发项目

□适用√不适用开发支出减值准备

□适用√不适用其他说明无

3、重要的外购在研项目

□适用√不适用

九、合并范围的变更

1、非同一控制下企业合并

□适用√不适用

2、同一控制下企业合并

□适用√不适用

3、反向购买

□适用√不适用

159/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

4、处置子公司

本期是否存在丧失子公司控制权的交易或事项

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用是否存在通过多次交易分步处置对子公司投资且在本期丧失控制权的情形

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

5、其他原因的合并范围变动

说明其他原因导致的合并范围变动（如，新设子公司、清算子公司等）及其相关情况：

√适用□不适用

2026年4月28日新设子公司恒运昌申昇半导体科技（上海）有限公司，注册资本3000万元人民币，投资比例100%。

6、其他

□适用√不适用

十、在其他主体中的权益

1、在子公司中的权益

(1)企业集团的构成

√适用□不适用

单位：元币种：人民币

持股比例(%)取得子公司名称主要经营地注册资本注册地业务性质直接间接方式深圳市百世达

广东省深圳市1000000.00广东省深圳市制造业100.00设立半导体设备有

160/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

限公司恒运昌真空技术（沈阳）有辽宁省沈阳市108880000.00辽宁省沈阳市制造业100.00设立限公司恒运昌京昇半导体科技（北北京市大兴区10000000.00北京市大兴区制造业100.00设立京）有限公司

CSL Vacuum

Science and

Technology 德国 250000欧元 德国 制造业 100.00 设立

GmbH恒运昌申昇半导体科技（上上海市30000000.00上海市制造业100.00设立海）有限公司

在子公司的持股比例不同于表决权比例的说明：

无

持有半数或以下表决权但仍控制被投资单位、以及持有半数以上表决权但不控制被投资单位的依据：

不适用

对于纳入合并范围的重要的结构化主体，控制的依据：

不适用

确定公司是代理人还是委托人的依据：

不适用

其他说明：

无

(2)重要的非全资子公司

□适用√不适用

161/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(3)重要非全资子公司的主要财务信息

□适用√不适用

162/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(4)使用企业集团资产和清偿企业集团债务的重大限制：

□适用√不适用

(5)向纳入合并财务报表范围的结构化主体提供的财务支持或其他支持：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

2、在子公司的所有者权益份额发生变化且仍控制子公司的交易

□适用√不适用

3、在合营企业或联营企业中的权益

□适用√不适用

4、重要的共同经营

□适用√不适用

5、在未纳入合并财务报表范围的结构化主体中的权益

未纳入合并财务报表范围的结构化主体的相关说明：

□适用√不适用

6、其他

□适用√不适用

十一、政府补助

1、报告期末按应收金额确认的政府补助

□适用√不适用未能在预计时点收到预计金额的政府补助的原因

□适用√不适用

2、涉及政府补助的负债项目

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期计

本期新与资产/财务报入营业本期转入其本期其期初余额增补助期末余额收益相表项目外收入他收益他变动金额关金额

递延收3592467.091432495.592159971.50与资产益相关

递延收1434380.181434380.18与收益益相关

合计5026847.271432495.593594351.68/

3、计入当期损益的政府补助

√适用□不适用

163/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

单位：元币种：人民币类型本期发生额上期发生额

与收益相关1537307.915949800.92其他

合计1537307.915949800.92

其他说明：

无

十二、与金融工具相关的风险

1、金融工具的风险

√适用□不适用

本公司从事风险管理的目标是在风险和收益之间取得平衡，将风险对本公司经营业绩的负面影响降至最低水平，使股东和其他权益投资者的利益最大化。基于该风险管理目标，本公司风险管理的基本策略是确认和分析本公司面临的各种风险，建立适当的风险承受底线进行风险管理，并及时可靠地对各种风险进行监督，将风险控制在限定的范围内。

本公司在日常活动中面临各种与金融工具相关的风险，主要包括信用风险、流动性风险及市场风险。管理层已审议并批准管理这些风险的政策，概括如下：

(一)信用风险

信用风险，是指金融工具的一方不能履行义务，造成另一方发生财务损失的风险。

1.信用风险管理实务

(1)信用风险的评价方法公司在每个资产负债表日评估相关金融工具的信用风险自初始确认后是否已显著增加。在确定信用风险自初始确认后是否显著增加时，公司考虑在无须付出不必要的额外成本或努力即可获得合理且有依据的信息，包括基于历史数据的定性和定量分析、外部信用风险评级以及前瞻性信息。公司以单项金融工具或者具有相似信用风险特征的金融工具组合为基础，通过比较金融工具在资产负债表日发生违约的风险与在初始确认日发生违约的风险，以确定金融工具预计存续期内发生违约风险的变化情况。

当触发以下一个或多个定量、定性标准时，公司认为金融工具的信用风险已发生显著增加：

1)定量标准主要为资产负债表日剩余存续期违约概率较初始确认时上升超过一定比例；

2)定性标准主要为债务人经营或财务情况出现重大不利变化、现存的或预期的技术、市

场、经济或法律环境变化并将对债务人对公司的还款能力产生重大不利影响等。

(2)违约和已发生信用减值资产的定义

当金融工具符合以下一项或多项条件时，公司将该金融资产界定为已发生违约，其标准与已发生信用减值的定义一致：

1)债务人发生重大财务困难；

2)债务人违反合同中对债务人的约束条款；

3)债务人很可能破产或进行其他财务重组；

4)债权人出于与债务人财务困难有关的经济或合同考虑，给予债务人在任何其他情况下

都不会做出的让步。

2.预期信用损失的计量

预期信用损失计量的关键参数包括违约概率、违约损失率和违约风险敞口。公司考虑历史统计数据（如交易对手评级、担保方式及抵质押物类别、还款方式等）的定量分析及前瞻性信息，建立违约概率、违约损失率及违约风险敞口模型。

3.金融工具损失准备期初余额与期末余额调节表详见第八节“财务报告”七、“合并财务报表项目注释”4.“应收票据”、5.“应收账款”、7.“应收款项融资”、9.“其他应收款”之说明。

4.信用风险敞口及信用风险集中度

164/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

本公司的信用风险主要来自货币资金和应收款项。为控制上述相关风险，本公司分别采取了以下措施。

(1)货币资金

本公司将银行存款和其他货币资金存放于信用评级较高的金融机构，故其信用风险较低。

(2)应收款项和合同资产

本公司持续对采用信用方式交易的客户进行信用评估。根据信用评估结果，本公司选择与经认可的且信用良好的客户进行交易，并对其应收款项余额进行监控，以确保本公司不会面临重大坏账风险。

由于本公司仅与经认可的且信用良好的第三方进行交易，所以无需担保物。信用风险集中按照客户进行管理。截至2026年6月30日，本公司存在一定的信用集中风险，本公司应收账款和合同资产的86.86%（2025年12月31日：87.31%）源于余额前五名客户。本公司对应收账款和合同资产余额未持有任何担保物或其他信用增级。

本公司所承受的最大信用风险敞口为资产负债表中每项金融资产的账面价值。

(二)流动性风险

流动性风险，是指本公司在履行以交付现金或其他金融资产的方式结算的义务时发生资金短缺的风险。流动性风险可能源于无法尽快以公允价值售出金融资产；或者源于对方无法偿还其合同债务；或者源于提前到期的债务；或者源于无法产生预期的现金流量。

为控制该项风险，本公司综合运用票据结算、银行借款等多种融资手段，并采取长、短期融资方式适当结合，优化融资结构的方法，保持融资持续性与灵活性之间的平衡。本公司已从多家商业银行取得银行授信额度以满足营运资金需求和资本开支。

金融负债按剩余到期日分类

单位：元币种：人民币期末数

3年

项目

账面价值未折现合同金额1年以内1-3年以上

应付账款69434097.4169434097.4169434097.41

租赁负债(含一年内

)25464091.1426582383.6812976714.8313605668.85到期的租赁负债

其他应付款67330.3267330.3267330.32

其他流动负债-期末

未到期已背书的银1538432.971538432.971538432.97行承兑汇票

小计96503951.8497622244.3884016575.5313605668.85（续上表）上年年末数

3年

项目

账面价值未折现合同金额1年以内1-3年以上

应付账款30038801.5430038801.5430038801.54

租赁负债(含一年内

)14573197.6015206012.208477789.026728223.18到期的租赁负债

其他应付款166022.76166022.76166022.76

其他流动负债-期末

未到期已背书的银3335908.853335908.853335908.85行承兑汇票

小计48113930.7548746745.3542018522.176728223.18

(三)市场风险

165/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

市场风险，是指金融工具的公允价值或未来现金流量因市场价格变动而发生波动的风险。

市场风险主要包括利率风险和外汇风险。

1.利率风险

利率风险，是指金融工具的公允价值或未来现金流量因市场利率变动而发生波动的风险。

固定利率的带息金融工具使本公司面临公允价值利率风险，浮动利率的带息金融工具使本公司面临现金流量利率风险。本公司根据市场环境来决定固定利率与浮动利率金融工具的比例，并通过定期审阅与监控维持适当的金融工具组合。本公司面临的现金流量利率风险主要与本公司以浮动利率计息的银行借款有关。

2.外汇风险

外汇风险，是指金融工具的公允价值或未来现金流量因外汇汇率变动而发生波动的风险。

本公司面临的汇率变动的风险主要与本公司外币货币性资产和负债有关。对于外币资产和负债，如果出现短期的失衡情况，本公司会在必要时按市场汇率买卖外币，以确保将净风险敞口维持在可接受的水平。

本公司期末外币货币性资产和负债情况详见第八节“财务报告”七、“合并财务报表项目注释”

81“外币货币性项目”(1)之说明。

2、套期

(1)公司开展套期业务进行风险管理

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

(2)公司开展符合条件套期业务并应用套期会计

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

(3)公司开展套期业务进行风险管理、预期能实现风险管理目标但未应用套期会计

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

3、金融资产转移

(1)转移方式分类

√适用□不适用

单位：元币种：人民币已转移金融资产已转移金融资产终止确认情况的转移方式终止确认情况性质金额判断依据

票据背书应收票据1538432.97保留了其几乎所未终止确认有的风险和报酬已经转移了其几

票据背书应收款项融资22611870.14终止确认乎所有的风险和报酬

合计/24150303.11//

166/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(2)因转移而终止确认的金融资产

√适用□不适用

单位：元币种：人民币终止确认的金融资产与终止确认相关的利项目金融资产转移的方式金额得或损失

应收款项融资背书22611870.14

合计/22611870.14

(3)继续涉入的转移金融资产

√适用□不适用

单位：元币种：人民币继续涉入形成的资产继续涉入形成的负债项目资产转移方式金额金额

应收票据背书1538432.97

合计/1538432.97其他说明

□适用√不适用

十三、公允价值的披露

1、以公允价值计量的资产和负债的期末公允价值

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末公允价值

项目第一层次公第二层次公允价第三层次公允合计允价值计量值计量价值计量

一、持续的公允价值计量

（一）交易性金融资产790788945.86790788945.86

1.以公允价值计量且变动计入当790788945.86790788945.86

期损益的金融资产

（1）债务工具投资

（2）权益工具投资

（3）衍生金融资产

（4）结构性存款790788945.86790788945.86

2.指定以公允价值计量且其变动

计入当期损益的金融资产

（1）债务工具投资

（2）权益工具投资

（二）其他债权投资

（三）其他权益工具投资5000000.005000000.00

（四）投资性房地产

1.出租用的土地使用权

2.出租的建筑物

3.持有并准备增值后转让的土地

使用权

（五）生物资产

1.消耗性生物资产

167/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

2.生产性生物资产

（六）应收款项融资19147389.4819147389.48

持续以公允价值计量的资产总额790788945.8624147389.48814936335.34

（七）交易性金融负债

1.以公允价值计量且变动计入当

期损益的金融负债

其中：发行的交易性债券衍生金融负债其他

2.指定为以公允价值计量且变动

计入当期损益的金融负债持续以公允价值计量的负债总额

二、非持续的公允价值计量

（一）持有待售资产非持续以公允价值计量的资产总额非持续以公允价值计量的负债总额

2、持续和非持续第一层次公允价值计量项目市价的确定依据

□适用√不适用

3、持续和非持续第二层次公允价值计量项目，采用的估值技术和重要参数的定性及定量信息

√适用□不适用

公司持有的理财产品、结构性存款，按照理财产品类型及收益率预测未来现金流量作为公允价值。

公司持有的基金，公司使用证券公司每月提供的对账单确定后续计量时的公允价值。

4、持续和非持续第三层次公允价值计量项目，采用的估值技术和重要参数的定性及定量信息

√适用□不适用

1.本公司持有的第三层次公允价值计量的应收款项融资为应收银行承兑汇票，其信用风险较小且

剩余期限较短，本公司以其票面余额确定其公允价值。

2.本公司持有的第三层次公允价值计量的其他权益工具投资为非上市公司股权。对于被投资企业

经营环境和经营情况财务状况未发生重大变化的，本公司以投资成本作为公允价值的合理估计进行计量。

5、持续的第三层次公允价值计量项目，期初与期末账面价值间的调节信息及不可观察参数敏感

性分析

□适用√不适用

6、持续的公允价值计量项目，本期内发生各层级之间转换的，转换的原因及确定转换时点的政

策

□适用√不适用

168/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

7、本期内发生的估值技术变更及变更原因

□适用√不适用

8、不以公允价值计量的金融资产和金融负债的公允价值情况

√适用□不适用

本公司不以公允价值计量的金融资产和金融负债主要包括：货币资金、应收票据、应收账款、其

他应收款、应付账款、其他应付款、租赁负债等，其账面价值与公允价值差异较小。

9、其他

□适用√不适用

十四、关联方及关联交易

1、本企业的母公司情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币母公司对本企业母公司对本企业母公司名称注册地业务性质注册资本

的持股比例(%)的表决权比例(%)深圳市恒运昌

深圳市投资500000.0019.3619.36投资有限公司本企业的母公司情况的说明

深圳市恒运昌投资有限公司持有本企业19.36%股份，为公司控股股东。

本企业最终控制方是乐卫平

其他说明：

本公司的实际控制人为乐卫平，截至本报告期末，其直接持有公司17.31%的股份表决权，并通过深圳市恒运昌投资有限公司、深圳市恒运昌投资中心（有限合伙）、深圳市恒运昌投资发展中心（有限合伙）分别间接控制公司19.36%、15.58%和2.39%的股份表决权，合计控制公司54.64%的股份表决权。

1、本企业的子公司情况

本企业子公司的情况详见本节附注十、在其他主体中的权益。

□适用√不适用

2、本企业合营和联营企业情况

本企业重要的合营或联营企业详见本节附注十、在其他主体中的权益。

□适用√不适用

本期与本公司发生关联方交易，或前期与本公司发生关联方交易形成余额的其他合营或联营企业情况如下

□适用√不适用

3、其他关联方情况

√适用□不适用其他关联方名称其他关联方与本企业关系

169/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

实际控制人乐卫平的配偶、间接持有公司5%以上股份的股东，行政总曹立监

刘涛董事，战略发展总监林伟群间接持有公司5%以上股份的股东，研发总监姚志毅董事，原监事会主席，软件研发经理俞日明董事，原监事，高级销售经理TAN YAN PENG 副总经理，运营总监郑悦佳财务总监庄丽华董事会秘书

乐子毅实际控制人乐卫平的儿子，专员乐卫国 实际控制人乐卫平的哥哥，IT兼厂务其他说明无

4、关联交易情况

(1)购销商品、提供和接受劳务的关联交易

采购商品/接受劳务情况表

□适用√不适用

出售商品/提供劳务情况表

□适用√不适用

购销商品、提供和接受劳务的关联交易说明

□适用√不适用

(2)关联受托管理/承包及委托管理/出包情况

本公司受托管理/承包情况表：

□适用√不适用

关联托管/承包情况说明

□适用√不适用

本公司委托管理/出包情况表：

□适用√不适用

关联管理/出包情况说明

□适用√不适用

(3)关联租赁情况

本公司作为出租方：

□适用√不适用

本公司作为承租方：

□适用√不适用关联租赁情况说明

□适用√不适用

170/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(4)关联担保情况本公司作为担保方

□适用√不适用本公司作为被担保方

□适用√不适用关联担保情况说明

□适用√不适用

(5)关联方资金拆借

□适用√不适用

(6)关联方资产转让、债务重组情况

□适用√不适用

(7)关键管理人员报酬

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额

关键管理人员报酬2799917.645737285.63

(8)其他关联交易

□适用√不适用

5、应收、应付关联方等未结算项目情况

(1)应收项目

□适用√不适用

(2)应付项目

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目名称关联方期末账面余额期初账面余额其他应付款

其他应付款乐卫平1139.64

其他应付款刘涛-1445.9710999.73

其他应付款姚志毅3287.10

其他应付款 TAN YAN PENG 92.19 92.19

其他应付款曹立401.00

其他应付款郑悦佳308.00588.10

其他应付款庄丽华1214.17

其他应付款俞日明3181.10

其他应付款乐卫国1843.74

其他应付款乐子毅3378.00

小计5315.6019763.39

171/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(3)其他项目

□适用√不适用

6、关联方承诺

□适用√不适用

7、其他

□适用√不适用

十五、股份支付

1、各项权益工具

(1)明细情况

□适用√不适用

(2)期末发行在外的股票期权或其他权益工具

□适用√不适用

2、以权益结算的股份支付情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币以权益结算的股份支付对象授予日权益工具公允价值的确定方法近期外部投资者入股价增资价格授予日权益工具公允价值的重要参数近期外部投资者入股价增资价格可行权权益工具数量的确定依据授予的员工持股平台权益份额本期估计与上期估计有重大差异的原因无

以权益结算的股份支付计入资本公积的累计金额6195554.65其他说明无

3、以现金结算的股份支付情况

□适用√不适用

4、本期股份支付费用

√适用□不适用

单位：元币种：人民币授予对象类别以权益结算的股份支付费用以现金结算的股份支付费用

管理人员607754.40

研发人员194432.51

销售人员156755.64

生产人员71255.04

合计1030197.59其他说明无

5、股份支付的修改、终止情况

□适用√不适用

172/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

6、其他

□适用√不适用

十六、承诺及或有事项

5、重要承诺事项

□适用√不适用

6、或有事项

(1)资产负债表日存在的重要或有事项

□适用√不适用

(2)公司没有需要披露的重要或有事项，也应予以说明：

□适用√不适用

7、其他

□适用√不适用

十七、资产负债表日后事项

1、重要的非调整事项

□适用√不适用

2、利润分配情况

□适用√不适用

3、销售退回

□适用√不适用

4、其他资产负债表日后事项说明

□适用√不适用

十八、其他重要事项

1、前期会计差错更正

(1)追溯重述法

□适用√不适用

(2)未来适用法

□适用√不适用

2、重要债务重组

□适用√不适用

3、资产置换

(1)非货币性资产交换

□适用√不适用

173/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(2)其他资产置换

□适用√不适用

4、年金计划

□适用√不适用

5、终止经营

□适用√不适用

6、分部信息

(1)报告分部的确定依据与会计政策

□适用√不适用

(2)报告分部的财务信息

□适用√不适用

(3)公司无报告分部的，或者不能披露各报告分部的资产总额和负债总额的，应说明原因

√适用□不适用

本公司主要业务为生产和销售等离子体电源系统产品。公司将此业务视作为一个整体实施管理、评估经营成果。因此，本公司无需披露分部信息。本公司收入分解信息详见“第八节财务报告”附注七、61之说明。

(4)其他说明

□适用√不适用

7、其他对投资者决策有影响的重要交易和事项

□适用√不适用

8、其他

□适用√不适用

十九、母公司财务报表主要项目注释

1、应收账款

(1)按账龄披露

√适用□不适用

单位：元币种：人民币账龄期末账面余额期初账面余额

1年以内（含1年）124573112.51105708837.31

1至2年1320958.71520838.98

2至3年234078.00374091.80

3至4年12600.00

4至5年19000.00181500.00

5年以上162500.00

合计126322249.22106785268.09

174/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(2)按坏账计提方法分类披露

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额账面余额坏账准备账面余额坏账准备类别账面计提账面比例计提比比例

金额价值价值(%)金额金额例(%)(%)金额比例(%)按单项计提坏账准备

其中：

按组合计提坏12632221196410121

49.22100

66806

42.895.291606.3

1067855573502

账准备3268.09

100.00.785.221765.31

其中：

12631461196310121

账龄组合50.2599.99

66806

42.895.294007.3

106785

268.09100.00

5573502.785.221765.361

合并范围内关7598.970.017598.9联方组合7

1263222/66806

1196410121

合计49.2242.89/1606.3

106785/5573502

3268.09.78

/1765.3

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

√适用□不适用

组合计提项目：账龄组合

单位：元币种：人民币期末数账龄

账面余额坏账准备计提比例（%）

1年以内124565513.546228275.685.00

1-2年1320958.71198143.8115.00

2-3年234078.0070223.4030.00

3-4年12600.006300.0050.00

4-5年19000.0015200.0080.00

5年以上162500.00162500.00100.00

小计126314650.256680642.895.29

组合计提项目：合并范围内关联方组合

单位：元币种：人民币期末余额名称

账面余额坏账准备计提比例（%）

合并范围内关联方7598.97组合

小计7598.97

按组合计提坏账准备的说明：

√适用□不适用

175/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

按组合计提坏账准备的确认标准及说明见第八节“财务报告”五、“重要会计政策及会计估计”

13.“应收账款”。

按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用各阶段划分依据和坏账准备计提比例

对本期发生损失准备变动的应收账款账面余额显著变动的情况说明：

□适用√不适用

(3)坏账准备的情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期变动金额类别期初余额收回或转转销或核期末余额计提其他变动回销单项计提坏账准备

按组合计提5573502.781107140.116680642.89坏账准备

合计5573502.781107140.116680642.89

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用其他说明无

(4)本期实际核销的应收账款情况

□适用√不适用其中重要的应收账款核销情况

□适用√不适用

应收账款核销说明：

□适用√不适用

(5)按欠款方归集的期末余额前五名的应收账款和合同资产情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币占应收账款应收账款和合和合同资产应收账款期末合同资产期坏账准备期单位名称同资产期末余期末余额合余额末余额末余额额计数的比例

（%）拓荆科技股

份有限公司93762920.8993762920.8974.234688146.04及其控制的

公司[注]

176/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

中微半导体

设备（上海）股份有6130009.816130009.814.85306500.49限公司及其控制的公司

[注]北方华创科技集团股份

有限公司及3757702.003757702.002.97187885.10其控制的公

司[注]湘潭宏大真

空技术股份3052760.003052760.002.42332315.50有限公司江苏微导纳

米科技股份3016309.003016309.002.39150815.45有限公司

小计109719701.70109719701.7086.865665662.58其他说明

[注]同一控制下的客户合并列示，详见“第八节财务报告”附注七、“5、应收账款”之说明。

其他说明：

□适用√不适用

2、其他应收款

项目列示

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

应收利息872602.74应收股利

其他应收款144152119.813844312.89

合计145024722.553844312.89

其他说明：

□适用√不适用应收利息

(1)应收利息分类

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目期末余额期初余额

大额存单计提的利息872602.74

合计872602.74

(2)重要逾期利息

□适用√不适用

177/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(3)按坏账计提方法分类披露

□适用√不适用

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按单项计提坏账准备的说明：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

□适用√不适用按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用

(4)坏账准备的情况

□适用√不适用

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

其他说明：

无

(5)本期实际核销的应收利息情况

□适用√不适用其中重要的应收利息核销情况

□适用√不适用

核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用应收股利

(6)应收股利

□适用√不适用

(7)重要的账龄超过1年的应收股利

□适用√不适用

(8)按坏账计提方法分类披露

□适用√不适用

按单项计提坏账准备：

□适用√不适用

按单项计提坏账准备的说明：

□适用√不适用

按组合计提坏账准备：

178/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

□适用√不适用按预期信用损失一般模型计提坏账准备

□适用√不适用

(9)坏账准备的情况

□适用√不适用

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用√不适用

其他说明：

无

(10)本期实际核销的应收股利情况

□适用√不适用其中重要的应收股利核销情况

□适用√不适用

核销说明：

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用其他应收款

(11)按账龄披露

√适用□不适用

单位：元币种：人民币账龄期末账面余额期初账面余额

1年以内（含1年）142705050.372374288.47

1至2年1431750.701431750.70

2至3年61751.4661751.46

3至4年450145.00450145.00

4至5年517261.16517261.16

5年以上30000.0030000.00

合计145195958.694865196.79

(12)按款项性质分类情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币款项性质期末账面余额期初账面余额

押金保证金4585965.114354362.24

其他738331.26510834.55

合并范围内关联方组合139871662.32

合计145195958.694865196.79

(13)坏账准备计提情况

√适用□不适用

179/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

单位：元币种：人民币

第一阶段第二阶段第三阶段整个存续期预期信整个存续期预期信坏账准备未来12个月预合计

用损失(未发生信用损失(已发生信期信用损失

用减值)用减值)

2026年1月1日余118714.42214762.61687406.871020883.90

额

2026年1月1日余——————

额在本期

--转入第二阶段-71587.5471587.54-

--转入第三阶段-9262.729262.72-

--转回第二阶段

--转回第一阶段

本期计提94542.52-62324.82-9262.7222954.98本期转回本期转销本期核销其他变动

2026年6月30日141669.40214762.61687406.871043838.88

余额各阶段划分依据和坏账准备计提比例

单位：元币种：人民币期末数组合名称

账面余额坏账准备计提比例（%）

合并范围内关联方组合139871662.32

账龄组合5324296.371043838.8819.61

其中：1年以内2833388.05141669.405.00

1-2年1431750.70214762.6115.00

2-3年61751.4618525.4430.00

3-4年450145.00225072.5050.00

4-5年517261.16413808.9380.00

5年以上30000.0030000.00100.00

小计145195958.691043838.880.72

对本期发生损失准备变动的其他应收款账面余额显著变动的情况说明：

□适用√不适用

本期坏账准备计提金额以及评估金融工具的信用风险是否显著增加的采用依据：

□适用√不适用

(14)坏账准备的情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期变动金额类别期初余额收回或转转销或核期末余额计提其他变动回销单项计提坏

180/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

账准备

按组合计提1020883.9022954.981043838.88坏账准备

合计1020883.9022954.981043838.88

其中本期坏账准备转回或收回金额重要的：

□适用√不适用其他说明无

(15)本期实际核销的其他应收款情况

□适用√不适用

其中重要的其他应收款核销情况：

□适用√不适用

其他应收款核销说明：

□适用√不适用

(16)按欠款方归集的期末余额前五名的其他应收款情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币占其他应收款款项的坏账准备单位名称期末余额期末余额合计账龄

数的比例(%)性质期末余额恒运昌真空技术（沈阳）有限公139871662.3296.33关联方1年以内-司

深圳市桃花源科1年以内、

4462012.973.07押金保技产业运营有限1-2年、3-4956386.84

证金

公司年、4-5年深圳市安居和樾55751.460.04押金保2-3年16725.44府管理有限公司证金

供应商 LB 30000.00 0.02 押金保 5年以上 30000.00证金武汉地质资源环押金保

境工业技术研究20000.000.011年以内1000.00证金院有限公司

合计144439426.7599.47//1004112.28

(17)因资金集中管理而列报于其他应收款

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

181/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

3、长期股权投资

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期末余额期初余额项目账面余额减值准备账面价值账面余额减值准备账面价值

对子公司投资120409150.00120409150.0090409150.0090409150.00

合计120409150.00120409150.0090409150.0090409150.00

(1)对子公司投资

√适用□不适用

单位：元币种：人民币期初余额（账减值准备期初本期增减变动期末余额（账减值准备期末被投资单位面价值）余额追加投资减少投资计提减值准备其他面价值）余额深圳市百世达半

导体设备有限公1000000.001000000.00司恒运昌真空技术（沈阳）有限公78880000.0030000000.00108880000.00司恒运昌京昇半导

体科技(北京)有8000000.008000000.00限公司

CSL Vacuum

Science and

Technology 2529150.00 2529150.00

GmbH

合计90409150.0030000000.00120409150.00

(2)对联营、合营企业投资

□适用√不适用

182/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(3)长期股权投资的减值测试情况

□适用√不适用

其他说明：

□适用√不适用

183/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

4、营业收入和营业成本

(1)营业收入和营业成本情况

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期发生额上期发生额项目收入成本收入成本

主营业务278975401.43140467295.62307750133.21158682556.52其他业务

合计278975401.43140467295.62307750133.21158682556.52

(1)营业收入、营业成本的分解信息

√适用□不适用

单位：元币种：人民币本期发生额上年同期数合同分类营业收入营业成本营业收入营业成本商品类型

自研产品243336813.54111990274.04259498959.36118501136.71

引进产品31362870.8126240281.8444579209.3737603899.79

技术服务4275717.082236739.741602743.25508298.79

其他2069221.232069221.23按经营地区分类

境内地区278892306.54140417333.68307451361.27158548529.76

境外地区83094.8949961.94298771.94134026.76按商品转让的时间分类

在某一时点确认278975401.43140467295.62307750133.21158682556.52收入

合计278975401.43140467295.62307750133.21158682556.52其他说明

□适用√不适用

(2)履约义务的说明

√适用□不适用

单位：元币种：人民币公司承担公司提供公司承诺是否为履行履约义的预期将的质量保项目重要的支付条款转让商品主要责务的时间退还给客证类型及的性质任人户的款项相关义务付款期限一般为预

收或者产品交付/验

销售商品商品交付时收后的30-90保证类质天到销售商品是无量保证期，不存在重大融资成分和可变对价提供服务服务提供时一般为预收提供服务是无无

合计/////

184/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

(3)分摊至剩余履约义务的说明

□适用√不适用

(4)重大合同变更或重大交易价格调整

□适用√不适用

其他说明：

无

5、投资收益

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目本期发生额上期发生额成本法核算的长期股权投资收益权益法核算的长期股权投资收益处置长期股权投资产生的投资收益

交易性金融资产在持有期间的投资收益193315.07其他权益工具投资在持有期间取得的股利收入债权投资在持有期间取得的利息收入其他债权投资在持有期间取得的利息收入处置交易性金融资产取得的投资收益处置其他权益工具投资取得的投资收益处置债权投资取得的投资收益处置其他债权投资取得的投资收益债务重组收益

合计193315.07

其他说明：

无

6、其他

□适用√不适用

二十、补充资料

1、当期非经常性损益明细表

√适用□不适用

单位：元币种：人民币项目金额说明

非流动性资产处置损益，包括已计提资产减-132240.52值准备的冲销部分

计入当期损益的政府补助，但与公司正常经营业务密切相关、符合国家政策规定、按照1537307.91

确定的标准享有、对公司损益产生持续影响的政府补助除外除同公司正常经营业务相关的有效套期保值业务外，非金融企业持有金融资产和金融负982260.93债产生的公允价值变动损益以及处置金融资

185/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

项目金额说明产和金融负债产生的损益计入当期损益的对非金融企业收取的资金占用费委托他人投资或管理资产的损益对外委托贷款取得的损益

因不可抗力因素，如遭受自然灾害而产生的各项资产损失单独进行减值测试的应收款项减值准备转回

企业取得子公司、联营企业及合营企业的投资成本小于取得投资时应享有被投资单位可辨认净资产公允价值产生的收益同一控制下企业合并产生的子公司期初至合并日的当期净损益非货币性资产交换损益债务重组损益企业因相关经营活动不再持续而发生的一次性费用，如安置职工的支出等因税收、会计等法律、法规的调整对当期损益产生的一次性影响

因取消、修改股权激励计划一次性确认的股份支付费用

对于现金结算的股份支付，在可行权日之后，应付职工薪酬的公允价值变动产生的损益采用公允价值模式进行后续计量的投资性房地产公允价值变动产生的损益交易价格显失公允的交易产生的收益与公司正常经营业务无关的或有事项产生的损益受托经营取得的托管费收入

除上述各项之外的其他营业外收入和支出305.13其他符合非经常性损益定义的损益项目

减：所得税影响额372309.40

少数股东权益影响额（税后）

合计2015324.05

对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。

□适用√不适用其他说明

□适用√不适用

2、净资产收益率及每股收益

√适用□不适用加权平均净资产每股收益报告期利润

收益率（%）基本每股收益稀释每股收益

186/187深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年半年度报告

归属于公司普通股股东的净2.620.810.81利润

扣除非经常性损益后归属于2.520.780.78公司普通股股东的净利润

3、境内外会计准则下会计数据差异

□适用√不适用

4、其他

□适用√不适用

法定代表人：乐卫平

董事会批准报送日期：2026年8月28日修订信息

□适用√不适用