中信证券股份有限公司

关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

使用自有资金支付募投项目部分款项

并以募集资金等额置换的核查意见

中信证券股份有限公司（以下简称“中信证券”或“保荐人”）作为深圳市恒运

昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”或“公司”）首次公开发行股票并在

科创板上市持续督导阶段的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法规、规范性

文件的规定，对恒运昌使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换事项进行了审慎核查，发表意见如下：

一、募集资金的基本情况根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕2671号），并经上海证券交易所审核同意，公司首次公开发行人民币普通股（A 股）1693.0559 万股，发行价格92.18元/股，募集资金总额为156065.89万元人民币，扣除本次发行费用（不含增值税）14690.13万元人民币后，募集资金净额为人民币141375.76万元。

上述资金已全部到位，经天健会计师事务所（特殊普通合伙）审验并于2026年1月22日出具了《验资报告》（天健验〔2026〕3-9号）。公司及子公司已根据相关法律法规、规范性文件的规定，与保荐人及存放募集资金的商业银行签署了募集资金专户监管协议，对募集资金采取专户储存管理。

二、募集资金投资项目的基本情况根据《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》，公司本次募集资金投资项目及募集资金使用计划如下：

1单位：万元

拟使用募集资金序号项目内容项目投资总额金额

1沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目16573.2414000.00

半导体与真空装备核心零部件智能化生产

269696.9669000.00

运营基地项目

3研发与前沿技术创新中心项目36267.0735000.00

4营销及技术支持中心项目12378.8612000.00

5补充流动资金16900.0016900.00

合计151816.13146900.00

注：由于公司扣除发行费用后，公司本次募集资金净额为人民币141375.76万元，募集资金净额低于募集资金承诺投资总额，因此公司对补充流动资金项目的投资金额进行了相应的调整，补充流动资金项目调整后的投资总额为人民币11375.76万元，拟使用募集资金金额为人民币11375.76万元。

三、使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的原因

根据《上市公司募集资金监管规则》（证监会公告〔2025〕10号）第十五条

第二款之规定：“募集资金投资项目实施过程中，原则上应当以募集资金直接支付，在支付人员薪酬、购买境外产品设备等事项中以募集资金直接支付确有困难的，可以在以自筹资金支付后六个月内实施置换。”公司及子公司在募投项目实施过程中存在使用自有资金支付募投项目部分款项，后续再由募集资金专户等额置换划转资金至公司及子公司基本存款账户或一般存款账户的实际需求，具体情况如下：

1、公司募投项目在实施过程中需要支付募投项目相关人员工资、相应社会保险及住房公积金、奖金、补贴等人员薪酬及各项税费，根据中国人民银行《人民币银行结算账户管理办法》的规定及税务机关、社会保险及住房公积金等有关

部门的要求，人员薪酬及各项税费的支付应通过公司及子公司基本存款账户或一般存款账户统一划转。因此，公司不能通过募集资金专户直接支付前述款项。

2、为了提高经营效率、降低采购成本，部分项目涉及的材料、水电费等费

用将采取集中采购、统一结算的策略，一次集中采购过程中可能同时涉及到募投项目和非募投项目，不适合使用募集资金专户直接支付，需以自有资金先行统一支付。

23、公司募投项目支出涉及购买海外设备、材料等费用，需使用外币或信用

证进行支付，受募集资金专户功能限制，为提高资金使用效率，公司先通过外汇或信用证支付后，再以募集资金进行等额置换。此外，涉及海关、税务、进口增值税等支出仅能使用特定的扣款账户统一支付，募集资金账户无法作为扣款账户，公司需通过自有资金账户先行支付。

综上，为提高运营管理效率，确保募投项目款项及时支付及募集资金规范使用，保障募投项目顺利推进，公司拟根据实际需要在募投项目实施期间预先使用自有资金支付上述相关支出，后续定期从募集资金专户划转等额款项至公司及实施募投项目的子公司基本存款账户或一般存款账户，该部分等额置换资金视同募投项目使用资金。

四、使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的操作流程

1、根据募投项目实际资金使用需求，由经办部门发起付款申请流程，按公

司规定的资金使用审批程序逐级审核。财务部根据审批通过后的付款流程，对确需使用自有资金支付的，以自有资金先行支付。

2、财务部组织建立明细台账，定期统计以自有资金支付募投项目未置换的款项，综合考虑募投项目用款情况，提交置换申请流程，经相关负责人审批后，以自有资金支付后的6个月内，从募集资金专户等额划转款项至公司及子公司自有资金账户，并根据实际置换情况逐笔登记包括募集资金专户划转至自有资金账户的日期、金额、账户等信息。

3、保荐人有权定期或不定期对公司采取现场检查、书面问询等方式对募集

资金的使用与置换情况进行监督，公司和存放募集资金的银行应当配合保荐人的核查与问询。

五、使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换对公司日常经营的影响公司及实施募投项目的子公司使用自有资金支付募投项目部分款项并以募

集资金等额置换，有利于确保募投项目顺利推进，提高公司运营管理效率，降低3财务成本，不存在改变或变相改变募集资金投向或损害公司及股东利益的情形，

符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法规、

规范性文件及公司《募集资金管理制度》的规定。

六、公司已履行的审议程序

（一）董事会审计委员会审议情况

公司于2026年8月28日召开第一届董事会审计委员会第十四次会议，审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的议案》。审计委员会认为：公司及实施募投项目的子公司使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换事项，有利于提高公司运营管理效率、提高募集资金使用效率。公司已制定了相应操作流程，该事项不会影响公司募投项目的正常进行，未改变募集资金用途，不影响募集资金投资计划的正常进行，不存在改变或变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形；符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》

等有关规定，相关决策和审议程序合法、合规。因此，董事会审计委员会同意此事项并提交董事会审议。

（二）董事会审议情况公司于2026年8月28日召开第一届董事会第十六次会议，审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的议案》，同意公司及实施募投项目的子公司在募投项目实施过程中，根据实际需要，预先使用自有资金支付募投项目部分款项，再由募集资金专户等额置换划转资金至公司及子公司基本存款账户或一般存款账户，该部分等额置换资金视同募投项目使用资金。

该事项在董事会权限范围内，无需提交股东会审议。

七、保荐人核查意见经核查，保荐人认为：公司及实施募投项目的子公司使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换事项已经公司董事会审计委员会、董事会审议通过，履行了必要的审批程序，有利于募投项目的正常推进，提高公司运营管

4理效率，不存在改变或变相改变募集资金投向或损害公司及股东利益的情形，符

合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法规、规

范性文件及公司《募集资金管理制度》的规定。

综上，保荐人对公司及实施募投项目的子公司使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换事项无异议。

（以下无正文）

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