深圳市恒运昌真空技术股份有限公司投资者关系活动记录表

证券代码：688785 公司简称：恒运昌

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

投资者关系活动记录表

编号：2026-020投资者关系业绩说明会活动类别

活动主题 恒运昌 2026 年半年度业绩说明会

时间 2026-09-16 11:00-12:00

地点/方式 上证路演中心 https://roadshow.sseinfo.com 网络文字互动

董事长、总经理：乐卫平

董事、战略发展总监：刘涛

参会人员 独立董事：王天东

财务总监：郑悦佳

董事会秘书：庄丽华参与机构名参与本次业绩说明会的线上投资者称

1、公司在调研中明确屹唐股份、菲沃泰等新客户“逐步导入放量”。

请问这两家 H1 是否已产生营收？从导入到批量交付的周期预

期？券商交流提到的屹唐（预计 2027 年前五大）、菲沃泰（2026 首次前五），H1 是否已开始小批量供货回答:尊敬的投资者，您好！报告期内，公司实现营业收入 27836.07万元，包括自研产品 24272.21 万元，公司营收结构以现有头部客户为主；同时，屹唐股份、菲沃泰等新客户也在逐步导入放量中。

报告期内，公司所承接的研发产品数量不断扩大。随着合作产品数投资者关系

量尤其是验证导入中的产品数量的不断增加，公司主要客户的新增活动主要内

定制需求均在不断增加。公司将持续加大研发投入力度，承接更多容介绍客户的需求。感谢您的关注！2、自 2021 年起已实现真空电容、陶瓷电容国产化；券商交流称第

三代及以后用碳化硅、LD MOS，控制芯片和高速采样芯片国产化，

第四代 C 档已 100%国产化、瞄准 5nm 以下。请问：第四代 C 档

的“100% 国产化”是通过客户验证的结论，还是公司内部设计口径？整机国产化率（含外购结构件）当前多少？

回答:尊敬的投资者，您好！公司自 2021 年开始，先后在上游采购深圳市恒运昌真空技术股份有限公司投资者关系活动记录表中实现了真空电容、陶瓷电容、MCU 以及 SiC MOS、LDMOS、部分 ADC

和 FPGA 等元器件的国产化，确认上游元器件的全国产化方案并先后在多种定制产品中实现了国产化应用，持续推进元器件的全面国产化验证工作。在研发过程中公司结合技术参数、客户要求、物料来源等因素综合考量原材料的选型，通过有针对性的研发设计调整，不断提高产品的性能和品质。在采购过程中，公司积极推进国产化率的提升，注重使用本土元器件，以促进国产替代。感谢您的关注！3、请问公司主要客户为拓荆科技，拓荆科技 25 年年报、26 年半年

报收入都有大幅增长，对应零部件采购应该同步增长，公司收入没有相应变化，主要什么原因，谢谢回答:尊敬的投资者，您好！主要原因系公司部分客户根据自身经营及生产节奏动态调整对公司的采购进度。公司作为半导体核心零部件企业，订单一般随客户验证及量产逐步释放，公司一方面根据市场需求释放速度及公司发展规划进行了适度的产能预增，另一方面积极推进新技术突破和重点客户新产品研发与验证导入。感谢您的关注！

4、公司除射频电源外，直流电源、RPS 也在发力；MFC 传感器处

于样品改造升级阶段。请问这几条非射频电源产品线的 H1 营收量级？MFC 传感器样品改造完成后是否已有送样客户？

回答:尊敬的投资者，您好！报告期内，公司持续推进自研产品矩阵中等离子体射频电源系统（等离子体射频电源及匹配器）、远程等离

子体源、射频离子源、等离子体直流电源、滤波器、阻抗调整器等

产品项目的进度；公司在研项目“MFC MEMS 传感器项目”已达到样品

升级改造阶段；公司将持续加大技术研发投入、积极拓展技术应用领域，探索更多行业场景，形成多元化产品矩阵，并致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。关于以上产品的研发进展情况请留意公司在官方渠道披露的相关公告。

感谢您的关注！

5、连续三年超负荷运行，产能瓶颈已成业务拓展隐患。公司产能

利用率达到 102.46%，请问公司未来是否有扩产计划？回答:尊敬的投资者，您好！公司 2024 年度、2025 年度、2026 半年度的产能利用率分别达到 111.24%、98.51%、102.46%。公司通过多个措施提升产能：截至 2026 年 7 月底，子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司已通过客户验厂，下半年将逐步释放产能，公司将持续助力其实现从试产到量产的转换。公司也在同时推进深圳产能建设，包括不断挖掘现有产能潜力、新增租赁场地以扩大产能建设。

未来，公司将重点推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设，这些都将有助于后续产能的释放，为公司产能持续提升奠定基础。感谢您的关注！6、公司产品矩阵覆盖 CSL、Bestda、Aspen/Basalt、Cedar 四代，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司投资者关系活动记录表

Bestda 支持 28nm、Aspen 覆盖 7-14nm。请问 H1 各代产品的营收结构？第三代仍是主力收入来源还是已被 Cedar 部分替代

回答:尊敬的投资者，您好！本报告期内，公司实现营业收入

27836.07 万元，包括自研产品 24272.21 万元，主要以拓荆科技、中微公司、微导纳米、北方华创等客户为主。感谢您的关注！7、沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目已通过客户验厂审核；

券商交流提到 2027 年七八月才形成稳定产能、年底深圳+沈阳规

划产能 2.5 万台。请问：沈阳基地设计产能多少台？H1 已投入的设备/人员规模？从验厂到稳定量产的爬坡曲线公司如何预期？

回答:尊敬的投资者，您好！沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目通过在沈阳购置厂房，引进先进的软件、硬件生产设备，招募专业技术人才，实施半导体级等离子体射频电源系统产业化建设项目。

项目建成达产后，公司将进一步扩大半导体级等离子体射频电源、匹配器的生产规模。本项目的建设期为 3年（36 个月），报告期内，沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目按计划稳步推进中。感谢您的关注！

8、Cedar 系列将射频电源与匹配器合二为一，部分机型已小批量试产，可支撑更先进制程。请问：小批量试产对应的是 7nm 还是

5nm 以下节点？薄膜沉积领域已小批量出货的机型，验证客户是哪

家、处于 POC 还是批量导入？预计何时从“小批量”跨到“规模化放量”？

回答:尊敬的投资者，您好！截至 2026 年半年度，公司新一代等离子体射频电源系统 Cedar 系列将射频电源和匹配器整合为一体化平台，产品可支撑 5纳米及以下更先进制程，已处于部分机型小批量试产阶段。公司将持续推进该系列产品的验证。感谢您的关注！9、报告期末拓荆科技应收账款 9376 万元、占应收及合同资产余

额 74.23%。请问 H1 对拓荆科技确认收入多少？该客户动态调整采购节奏的具体表现是订单延后还是减量？下半年对其出货能否

回到去年同期水平？

回答:尊敬的投资者，您好！报告期内，公司实现营业收入 27836.07万元，包括自研产品 24272.21 万元，主要以拓荆科技、中微公司、微导纳米、北方华创等客户为主。公司与拓荆科技合作历史长、 合作关系稳固，报告期内，公司所承接的研发产品数量不断扩大，随着合作产品数量尤其是验证导入中的产品数量的不断增加，公司主要客户的新增定制需求均在不断增加，在手订单充盈。感谢您的关注！

10、H1 境外收入几乎为零；德国子公司 CSL Vacuum Science and

Technology GmbH 承载海外研发、技术融合、市场拓展职能，但境外资产仅 233.30 万元。请问德国子公司 H1 是否签下首单？海外拓展是先攻设备商还是晶圆厂？MKS 等海外对手的供应链动态是深圳市恒运昌真空技术股份有限公司投资者关系活动记录表

否带来替代机会？

回答：尊敬的投资者，您好！为进一步拓展海外市场、搭建海外研发平台、建设海外购销系统、推进国际化进程，公司于 2025 年 11月在德国以境外直接投资的方式设立全资子公司 CSL Vacuum

Science and Technology GmbH（德国恒运昌）。在未来发展规划上，子公司德国恒运昌将作为恒运昌承担海外研发、技术融合、市场拓

展三大职能，是恒运昌全球化布局中的重要战略支点，德国恒运昌目前处于早期投入阶段，尚未形成规模收入。感谢您的关注！以上如涉及公司所处行业发展趋势、公司发展规划等相关内容，不代表公司或公司管理层对

行业发展、公司发展或业绩的预测和承诺，不构成公司或公司管理层对投资者的实质性承诺，敬请广大投资者注意投资风险。