恒运昌:北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

北京德恒律师事务所

关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

首次公开发行股票并在科创板上市

参与战略配售的投资者核查事项的

法律意见

北京市西城区金融街 19号富凯大厦 B座 12层

电话:010-52682888传真:010-52682999邮编:100033北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

德恒 01F20251905-01号

致：中信证券股份有限公司

北京德恒律师事务所（以下简称“本所”）接受保荐人、主承销商中信证券

股份有限公司（以下简称“中信证券”）的委托，作为其主承销深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“发行人”或“恒运昌”）科创板首次公开发行

股票项目的特聘专项法律顾问，依据《中华人民共和国证券法》《中华人民共和国公司法》《证券发行与承销管理办法》（证监会令[第228号]）（以下简称“《管理办法》”）、《上海证券交易所首次公开发行证券发行与承销业务实施细则》（上证发[2025]46号）（以下简称“《首发承销细则》”）、《首次公开发行证券承销业务规则》（中证协发[2023]18号）、《律师事务所从事证券法律业务管理办法》《律师事务所证券法律业务执业规则（试行）》等法律、行政法规、

规章、规范性文件的相关规定，严格履行了法定职责，遵循了勤勉尽责和诚实信用原则，在对发行人及参与战略配售的投资者提供的相关资料进行充分核查验证的基础上，独立、客观、公正地出具本法律意见，保证本法律意见所认定的事实真实、准确、完整，所发表的结论性意见合法、准确，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并承担相应法律责任。

为出具本法律意见，本所及本所律师特别声明如下：

1.本法律意见仅依据相关各方向本所提供的全部原始书面材料、副本材料、扫描文件及相关人员的证言出具。本所律师已得到相关各方主体的保证，其已提供了本所律师认为出具本法律意见所必需的全部材料或证言，该等材料或证言均

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并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述及重大遗漏；有关副本材料或复印件与原件一致；该等文件中的签字和印章均真实有效。

2.本所律师仅就本法律意见出具日前已经发生或存在的相关事实发表法律意见，并不对有关会计、审计、资产评估、专业技术、商业等非法律专业事项发表任何意见。对于出具本法律意见至关重要而又无法得到独立证据支持的事实，本所律师依赖于相关方出具的证明文件及证言。

3.本法律意见描述或引用法律问题时涉及的事实、信息和数据是截至本法

律意见出具日相关方提供给本所律师的受限于前述规定的有效的事实和数据。本所律师并不调查和认证文件所包含任何事实性陈述和保证的真实性及准确性。

本所同意将本法律意见作为发行人首次公开发行人民币普通股股票并在上

海证券交易所科创板上市（以下简称“本次发行”）所必备的法律文件，随同其他申请文件一起上报。本所同意主承销商引用本法律意见的内容，但不得因引用而导致法律上的歧义或曲解。

本法律意见仅供本次发行之目的使用，不得用作其他目的。

基于上述，本所律师根据相关法律、法规、规范性文件的要求，按照律师行业公认的业务标准、道德规范和勤勉尽责精神，出具本法律意见：

一、本次发行参与战略配售的投资者及配售数量

（一）战略配售方案

发行人发行前总股本5077.1129万股，本次拟公开发行股票1693.0559万股，发行股份占公司发行后股份总数的比例为25.01%，全部为公开发行新股，公司股东不进行公开发售股份。本次公开发行后公司总股本为6770.1688万股。

本次发行初始战略配售股票数量为338.6111万股，占本次发行股票数量的20%。

根据战略配售方案，并经核查发行人与参与战略配售的投资者之间签署的认购协议，拟参与发行人本次发行战略配售的投资者分别为：

序拟认购金额上拟认购股数战略配售对象名称类型号限（万元）上限（股）

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并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见中信证券投资有限公司

1参与科创板跟投的保荐人相—846527（以下简称“中证投资”）关子公司中信证券资管恒运昌员工参与科创板战略配售集合资产发行人的高级管理人员与核

2心员工参与本次战略配售设65041693055管理计划（以下简称“恒运昌立的专项资产管理计划员工资管计划”）拓荆科技股份有限公司（以下

34200—简称“拓荆科技”）

中微半导体（上海）有限公司

44000—（以下简称“中微临港”）北京屹唐半导体科技股份有5限公司（以下简称“屹唐股3500—份”）

长存鸿图股权投资（武汉）合

6伙企业（有限合伙）（以下简与发行人经营业务具有战略3500—称“长存鸿图”）合作关系或长期合作愿景的中电科投资控股有限公司（以大型企业或其下属企业

71000—下简称“中电科投资”）北京电控产业投资有限公司

81000—（以下简称“电控产投”）沈阳富创精密设备股份有限

91000—公司（以下简称“富创精密”）

豪威集成电路（集团）股份有10限公司（以下简称“豪威集1000—团”）

发行人首次公开发行证券数量不足1亿股（份）的，参与战略配售的投资者数量应当不超过10名，战略配售证券数量占本次公开发行证券数量的比例应当不超过20%。发行人的高级管理人员与核心员工设立的专项资产管理计划获配的股票数量不超过本次公开发行股票数量的10%，保荐人相关子公司初始认购比例不超过本次公开发行股票数量的5%，符合《首发承销细则》第三十八条、第五十一条和《管理办法》第二十二条、第二十三条的规定。

（二）参与战略配售的投资者的情况

1、中证投资

（1）基本情况

根据青岛市崂山区行政审批服务局于2025年5月27日核发的《营业执照》，

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并经本所律师登录国家企业信用信息公示系统查询，中证投资成立于2012年4月1日，截至本法律意见出具日，中证投资的基本情况如下：

公司名称中信证券投资有限公司

公司类型有限责任公司（自然人投资或控股的法人独资）

统一社会信用代码 91370212591286847J法定代表人方浩注册资本1300000万元营业期限2012年4月1日至无固定期限住所青岛市崂山区深圳路222号国际金融广场1号楼2001户金融产品投资，证券投资，股权投资（以上范围需经中国证券投资基金业协会登记，未经金融监管部门依法批准，不得从事向公众吸收存款、经营范围融资担保、代客理财等金融服务）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）

经核查中证投资现行有效的《营业执照》及公司章程，并经本所律师登录国家企业信用信息公示系统查询，本所律师认为，中证投资为依法设立并有效存续的有限责任公司，不存在根据相关法律法规以及公司章程规定须予以终止的情形。

（2）中证投资的股权结构及跟投资格

根据中证投资现行有效的公司章程，中证投资为中信证券全资子公司，中信证券持有中证投资100%的股权。

根据中国证券业协会于2018年1月17日公告的《证券公司私募投资基金子公司及另类投资子公司会员公示（第七批）》，中证投资为中信证券的另类投资子公司。

（3）控股股东经核查，中证投资系中信证券设立的全资子公司，中信证券持有其100%的股权。

（4）战略配售主体资格

根据《首发承销细则》第三章关于“战略配售”的规定、第四章关于“科创板保荐人相关子公司跟投”的规定，该参与战略配售的投资者作为参与科创板跟投的保荐人相关子公司，具有参与发行人本次发行战略配售的资格，符合《首发

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并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见承销细则》第四十一条第（四）项的规定。

（5）关联关系经核查，中证投资为中信证券的全资子公司。

本次公开发行股票前，中证投资持有发行人30.8470万股股份，占比为

0.6076%；此外，中信证券通过发行人其他直接股东间接合计持有发行人约3.3077

万股股份，占比0.0651%，合计占比0.6727%。

除上述关联关系外，中证投资与发行人、主承销商之间不存在其他关联关系。

（6）参与战略配售的认购资金来源

根据中信证券2024年年度报告，中证投资总资产2918684万元，净资产2616200万元，2024年实现营业收入111295万元，利润总额158331万元，

净利润121105万元。中证投资的流动资金足以覆盖其与发行人签署的认购协议的认购资金；同时，根据中证投资出具的承诺，中证投资用于缴纳本次战略配售的资金为其自有资金。中证投资为本次配售股票的实际持有人，不存在受其他投资者委托或委托其他投资者参与本次战略配售的情形。

（7）锁定期限及相关承诺中证投资承诺获得本次配售的股票持有期限为自发行人首次公开发行并上

市之日起24个月。限售期届满后，中证投资对获配股份的减持适用中国证监会和上海证券交易所关于股份减持的有关规定。

中证投资承诺不利用获配股份取得的股东地位影响发行人正常生产经营，不在获配股份限售期内谋求发行人控制权。

2、恒运昌员工资管计划

（1）董事会决议

根据发行人于2025年12月4日作出的第一届董事会第十二次会议决议，发行人审议通过了《关于公司员工战略配售相关事宜的议案》，同意公司高级管理

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人员和核心员工通过设立专项集合资产管理计划参与公司本次发行战略配售，资管计划获配的股份数量不超过本次公开发行股份数量10%。

（2）恒运昌员工资管计划基本情况

产品名称：中信证券资管恒运昌员工参与科创板战略配售集合资产管理计划

设立时间：2025年12月8日

备案时间：2025年12月12日

募集资金规模：6504万元

认购资金上限：6504万元

管理人：中信证券资产管理有限公司（以下简称“中信资管”）

实际支配主体：中信资管，实际支配主体非发行人高级管理人员恒运昌员工资管计划份额持有人的姓名、职务及份额持有比例如下：

劳动合同签认购金额资管计划序号姓名职务人员类型

署单位（万元）份额比例

1乐卫平恒运昌董事长、总经理高级管理人员3275.0050.35%

2庄丽华恒运昌董事会秘书高级管理人员360.005.54%

3林伟群恒运昌研发总监核心员工339.005.21%

4郑悦佳恒运昌财务总监高级管理人员250.003.84%

TAN YAN 副总经理、运营

5恒运昌高级管理人员230.003.54%

PENG 部总监

6曹立恒运昌行政总监核心员工200.003.08%

董事、战略发展

7刘涛恒运昌核心员工200.003.08%

总监

董事、高级销售

8俞日明恒运昌核心员工170.002.61%

经理

9钱莉恒运昌市场销售总监核心员工160.002.46%

职工董事、软件

10姚志毅恒运昌核心员工150.002.31%

研发经理

11郑跃锋恒运昌法务总监核心员工130.002.00%

12唐亚海恒运昌软件开发经理核心员工120.001.85%

13林桂浩恒运昌硬件研发经理核心员工120.001.85%

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并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见劳动合同签认购金额资管计划序号姓名职务人员类型

署单位（万元）份额比例

14王和平恒运昌供应链管理总监核心员工100.001.54%

15尹捷夫恒运昌售后服务总监核心员工100.001.54%

16章兵恒运昌工程支持经理核心员工100.001.54%

党支部书记兼总

17王志刚恒运昌核心员工100.001.54%

经理助理

18胡静恒运昌审计长核心员工100.001.54%

19皇甫刚恒运昌运营专家核心员工100.001.54%

总经办主任兼人

20郭东霞恒运昌核心员工100.001.54%

事部总监

21黄永镇恒运昌研发测试经理核心员工100.001.54%

合计6504.00100.00%

注：最终获配金额和获配股数待 T-2日确定发行价格后确认。

（3）恒运昌员工资管计划备案情况

2025年12月12日，恒运昌员工资管计划在中国证券投资基金业协会完成备案，经备案的产品编码为 SBLP02，管理人为中信资管。

（4）参与本次发行与战略配售的份额持有人的劳动关系参与本次战略配售的人员为公司的高级管理人员和核心员工。根据发行人出具的书面确认，公司核心员工的认定标准为：对公司发展作出较大贡献的核心骨干员工。

经核查恒运昌员工资管计划各份额持有人的用工合同并经发行人书面确认，除钱莉、皇甫刚为退休返聘人员外，其余参与本次发行战略配售的19名份额持有人均与发行人之间签署了劳动合同，钱莉、皇甫刚作为退休返聘人员，已与发行人签署退休返聘合同；以上21名份额持有人均在发行人处任职，且均为发行人的高级管理人员或核心员工，具备参与本次发行战略配售的资格。

（5）战略配售主体资格

根据《首发承销细则》第三章有关“战略配售”的规定，恒运昌员工资管计划作为发行人的高级管理人员与核心员工参与本次战略配售设立的专项资产管理计划，具有参与发行人本次发行战略配售的资格，符合《首发承销细则》第四十一条第（五）项的规定。

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（6）参与战略配售的认购资金来源

恒运昌员工资管计划为专项资产管理计划，根据资管计划合同约定、各认购对象签署的承诺函、收入证明、银行流水等资产证明并经本所律师核查，参与人员认购资金为自有资金，不存在使用贷款、发行债券等形式筹集的资金参与战略配售的情况，且该等资金投资于本次战略配售符合资管计划管理合同约定的投资方向。恒运昌员工资管计划各份额持有人为本次战略配售股票的实际持有人，不存在受其他投资者委托或委托其他投资者参与本次战略配售的情形。恒运昌员工资管计划及委托人与发行人或其他利益关系人之间不存在任何直接或间接进行不正当利益输送或谋取不正当利益的情形。

（7）恒运昌员工资管计划的获配股票限售期

恒运昌员工资管计划获配股票的限售期为12个月，限售期自本次公开发行的股票在上海证券交易所上市之日起开始计算。

3、拓荆科技

（1）基本情况

经核查拓荆科技提供的《营业执照》等文件并经本所律师登录国家企业信用

信息公示系统查询，拓荆科技的基本情况如下：

公司名称拓荆科技股份有限公司

公司类型股份有限公司（外商投资、上市）统一社会信用代码912101005507946696法定代表人刘静

注册资本27972.9118万人民币营业期限2010年4月28日至无固定期限

注册地址辽宁省沈阳市浑南区全运路109-3号（109-3号）14层

一般项目：企业总部管理；企业管理；企业管理咨询；自有资金投资的资产管理服务；以自有资金从事投资活动；财务咨询；社会经济咨经营范围

询服务；租赁服务（不含许可类租赁服务）；国内贸易代理；销售代理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）经核查拓荆科技现行有效的《营业执照》及公司章程，并经本所律师登录国家企业信用信息公示系统查询，本所律师认为，拓荆科技为依法设立并有效存续

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的股份有限公司，不存在根据相关法律法规以及公司章程规定须予以终止的情形。

（2）股权结构

拓荆科技（688072）为科创板上市公司，根据其披露的2025年三季度报告，截至2025年9月30日，拓荆科技前十大股东情况如下：

序号股东名称持股数量（股）持股比例

1国家集成电路产业投资基金股份有限公司5502669319.57%国投（上海）创业投资管理有限公司—国投（上

23788800013.48%

海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙）

3中微半导体设备（上海）股份有限公司205163057.30%

4香港中央结算有限公司51205081.82%

中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板

550815911.81%

50成份交易型开放式指数证券投资基金

招商银行股份有限公司华夏上证科创板50成份交

649015021.74%

易型开放式指数证券投资基金

中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证

742874061.52%

券投资基金

8中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司42853981.52%

中信证券股份有限公司嘉实上证科创板芯片交易

931756971.13%

型开放式指数证券投资基金

10 CHIANG CHIEN 2703588 0.96%

（3）控股股东与实际控制人

根据拓荆科技的公告信息，拓荆科技第一大股东国家集成电路产业投资基金股份有限公司的持股比例为19.57%，第二大股东国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙）的持股比例为13.48%。单一法人或自然人及其一致行动人所占股份比例均无法实现对公司的控制，因此拓荆科技无控股股东和实际控制人。

（4）战略配售主体资格

1）投资者类型

拓荆科技股份有限公司（以下简称“拓荆科技”）成立于2010年4月，并于2022年4月成功登陆上海证券交易所科创板（股票代码：688072）。拓荆科技主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务，重点聚焦半

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导体薄膜沉积设备的研发与产业化。目前，拓荆科技已经形成等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备、次常压化学气相沉积（SACVD）设备和高密度等离子体化学气相沉积设备（HDPCVD设备）为主

的薄膜设备系列产品及混合键合设备系列产品，在集成电路逻辑芯片、存储芯片制造等领域得到广泛应用。此外，拓荆科技推出了应用于晶圆级三维集成领域的混合键合设备（Hybrid Bonding）系列产品。截止 2025年 9月 30日，拓荆科技资产总额189.07亿元，2025年前三季度营业收入42.20亿元，实现净利润

5.36亿元。因此，拓荆科技系大型企业。

近年来，拓荆科技作为参与战略配售的投资者曾参与认购珂玛科技（301611）、富创精密（688409）首次公开发行的股票。

2）战略合作安排

根据发行人与拓荆科技签署的《战略合作协议》，发行人与拓荆科技的合作内容如下：

A、技术联合攻关与产品迭代升级恒运昌作为拓荆科技2024年度第一大等离子体射频电源系统供应商及前十

大零部件供应商，未来将持续深化与拓荆科技的供应链合作，构建稳定、高效的合作机制，共同维护长期共赢的发展前景。

拓荆科技作为薄膜沉积设备领域的龙头企业，与恒运昌的持续深度合作将有助于其突破关键零部件“卡脖子”难题。双方将围绕更先进的制程需求，重点在PEALD（high-k介质）应用中针对等离子体射频电源系统的快速响应能力、脉冲

技术、固态匹配器等方向展开联合研发，并协同拓展先进封装键合设备领域中等离子体射频电源应用场景，以满足下一代半导体制造对高性能、高可靠性的核心需求。同时，双方将通过推进国产化战略，降低对国际供应商的依赖，共同构建安全、可控的供应链体系，有效应对全球供应链波动风险。

B、市场资源共享与生态共建

恒运昌通过与拓荆科技的长期合作，已深度融入国产半导体装备供应链，未

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来有望借助拓荆科技的市场拓展能力，进一步扩大产品在刻蚀、薄膜沉积及先进封装领域的渗透率，实现“技术协同+市场共赢”的双向赋能。

根据《首发承销细则》第三章关于“战略配售”的规定，该参与战略配售的投资者作为与发行人经营业务具有战略合作关系或长期合作愿景的大型企业，具有参与发行人本次发行战略配售的资格，符合《首发承销细则》第四十一条第（一）项的规定。

（5）关联关系

根据拓荆科技出具的说明函并经核查，拓荆科技为发行人股东，直接持有发行人3.0856%的股权，并通过全资子公司上海岩泉科技有限公司间接持有发行人股权，直接及间接合计持有发行人3.4197%的股权。

除上述关联关系外，拓荆科技与主承销商、发行人不存在其他关联关系。

根据拓荆科技的说明，其参与本次战略配售为独立的决策结果，履行了内部的审批流程，未受上述关联关系的影响，不存在直接或间接进行利益输送的行为。

（6）参与战略配售的认购资金来源

根据拓荆科技2024年年度报告和2025年三季度报告，拓荆科技的流动资金足以覆盖其与发行人签署的认购协议的认购资金上限。同时，根据拓荆科技出具的承诺，其用于参与本次发行战略配售的认购资金为其自有资金，且符合该资金的投资方向。

（7）锁定期限及相关承诺拓荆科技承诺获得本次配售的股票持有期限为自发行人首次公开发行并上

市之日起12个月。限售期届满后，拓荆科技对获配股份的减持适用中国证监会和上海证券交易所关于股份减持的有关规定。

4、中微临港

（1）基本情况

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经核查中微临港提供的《营业执照》等文件并经本所律师登录国家企业信用

信息公示系统查询，中微临港的基本情况如下：

公司名称中微半导体（上海）有限公司

公司类型有限责任公司（非自然人投资或控股的法人独资）

统一社会信用代码 91310000MA1H33JQ23法定代表人尹志尧注册资本400000万元营业期限2020年6月12日至2050年6月11日

注册地址中国（上海）自由贸易试验区临港新片区江山路4168号许可项目：第二类医疗器械生产。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）一般项目：物联网科技、数据科技、电子信息科领域内的技术

服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；电子专用设备销售；电子专用设备制造；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；半导体照明器件制造；半导体照明器件销售；半导体分立器件制造；半导体分立器件销售；电子测量仪器制造；电子测量仪器销售；电子元器件制造；电子元器件与机电组件设备制造；电子元器件零售；电子元器件与机电组件设备销售；光电子器件销售；其他电子经营范围器件制造；电子产品销售；电子真空器件销售；新兴能源技术研发；环境保护专用设备制造；环境保护专用设备销售；智能控制系统集成；软

件开发（音像制品、电子出版物除外）；物联网设备销售；数据处理服务；信息系统集成服务；信息技术咨询服务；货物进出口；技术进出口；

智能家庭消费设备制造；智能家庭消费设备销售；第一类医疗器械生产；

第一类医疗器械销售；第二类医疗器械销售；企业管理；知识产权服务（除专利）；非居住房地产租赁；物业管理；会议及展览服务；社会经

济咨询服务（除金融）；咨询策划服务；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；礼仪服务。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）

经核查中微临港现行有效的《营业执照》及公司章程，并经本所律师登录国家企业信用信息公示系统查询，本所律师认为，中微临港为依法设立并有效存续的有限责任公司，不存在根据相关法律法规以及公司章程规定须予以终止的情形。

（2）股权结构

根据中微临港提供的股权结构图，截至本法律意见出具日，中微临港的股权结构如下：

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中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）（688012.SH）

持有中微临港100%的股权，为科创板上市公司，根据其披露的2025年三季度报告，截至2025年9月30日，中微公司前十大股东情况如下：

序号股东名称持股数量（股）持股比例

1上海创业投资有限公司9348353314.93%

2巽鑫（上海）投资有限公司7718872212.33%

3香港中央结算有限公司558938958.93%

4华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投232543493.71%

资基金二期股份有限公司

5中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50149453742.39%

成份交易型开放式指数证券投资基金

6招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交146335812.34%

易型开放式指数证券投资基金

7中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易99370331.59%

型开放式指数证券投资基金

8中国工商银行－上证50交易型开放式指数证券投资83663181.34%

基金

9中国工商银行股份有限公司－华泰柏瑞沪深300交易75035201.20%

型开放式指数证券投资基金

10中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片56723160.91%

交易型开放式指数证券投资基金

（3）控股股东与实际控制人

根据中微临港的股权结构，中微公司持有中微临港100%的股权，为中微临港的控股股东。

经核查中微公司的公告信息，中微公司第一大股东与第二大股东持股比例接近，无实际控制人。因此，中微临港无实际控制人。

（4）战略配售主体资格

13北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

1）投资者类型

中微公司（科创板上市，股票代码688012）是国内领先的半导体设备类企业，致力于开发微观加工所需的高端关键设备，包括等离子体刻蚀设备和薄膜沉积设备。中微公司开发的 CCP、ICP、TSV、MOCVD及薄膜沉积等设备，均达到国际先进水平。2024年，中微公司总资产达到262.18亿元人民币、营业收入达到90.65亿元人民币、归属于母公司所有者的净利润约为16.16亿元人民币。

因此，中微公司系大型企业。

中微临港位于上海临港新片区，是中微公司的全资子公司，在2024年度实现年产值超过85亿元人民币，系大型企业的下属企业。

近年来，中微临港作为参与战略配售的投资者曾参与认购珂玛科技（301611）、先锋精科（688605）首次公开发行的股票。

2）战略合作安排

根据发行人与中微临港签署的《战略合作协议》，发行人与中微临港的合作内容如下：

A、加强并深化在半导体零部件领域的深度合作：中微公司作为国内领先

的等离子体刻蚀与薄膜沉积设备制造商，将积极推动新产品测试与验证，共同投入资源，加速推动半导体核心零部件产品迭代升级。双方将围绕高端制造领域的核心需求，拓展合作品类覆盖范围。

B、供应链可持续发展：双方将基于现有合作基础，进一步强化在供应链环节的协同配合。恒运昌作为中微公司的重要零部件供应商，未来将为中微公司提供符合其设备需求的高可靠性产品及配套服务。中微公司也将通过技术适配与工艺验证支持，协助恒运昌优化产品性能。

C、产业链赋能与市场协同：中微公司依托其在等离子体刻蚀、薄膜沉积

设备领域的客户资源，协助恒运昌发展市场渠道、技术标准及行业生态资源。

双方将通过联合市场推广、客户资源协同等方式，共同拓展半导体设备商及晶圆厂客户群体，优化双方的供应链布局与市场渗透率，从而实现销售业绩的协

14北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见同增长，形成技术适配与市场拓展并进。

中微公司已就中微临港参与本次战略配售事宜出具《关于中微半导体（上海）有限公司参与深圳市恒运昌真空技术股份有限公司战略配售投资的说明》，认可并支持中微临港依托其在各领域的产业布局，与恒运昌开展战略合作。

根据《首发承销细则》第三章关于“战略配售”的规定，该参与战略配售的投资者作为与发行人经营业务具有战略合作关系或长期合作愿景的大型企业的

下属企业，具有参与发行人本次发行战略配售的资格，符合《首发承销细则》第四十一条第（一）项的规定。

（5）关联关系

根据中微临港出具的说明函并经核查，中微临港与发行人存在关联关系如下：

拓荆科技股份有限公司为发行人股东，直接持有发行人3.0856%的股份。

截至2025年9月30日中微临港控股股东中微公司持有拓荆科技股份有限公司

7.30%的股份。

除上述关联关系外，中微临港与发行人、主承销商之间不存在其他关联关系。

根据中微临港的说明，其参与本次战略配售为其独立的决策结果，履行了内部的审批流程，未受上述关联关系的影响，不存在直接或间接进行利益输送的行为。

（6）参与战略配售的认购资金来源

根据中微临港2024年度审计报告、2025年1-9月财务报表，中微临港的流动资金足以覆盖其与发行人签署的认购协议的认购资金上限。同时，根据中微临港出具的承诺，其用于参与本次发行战略配售的认购资金为其自有资金，且符合该资金的投资方向。

（7）锁定期限及相关承诺

15北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见中微临港承诺获得本次配售的股票持有期限为自发行人首次公开发行并上

市之日起12个月。限售期届满后，中微临港对获配股份的减持适用中国证监会和上海证券交易所关于股份减持的有关规定。

5、屹唐股份

（1）基本情况

经核查屹唐股份提供的《营业执照》等文件并经本所律师登录国家企业信用

信息公示系统查询，屹唐股份的基本情况如下：

公司名称北京屹唐半导体科技股份有限公司

公司类型股份有限公司（外商投资、上市）

统一社会信用代码 91110302MA002X200A法定代表人张文冬注册资本295556万元人民币营业期限2018年9月28日至无固定期限注册地址北京市北京经济技术开发区瑞合西二路9号

半导体的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务；销售电子产品、

机械设备、五金交电；货物进出口、技术进出口、代理进出口；生产半导体刻蚀、去胶、快速退火设备。（市场主体依法自主选择经营项目，经营范围

开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）经核查屹唐股份现行有效的《营业执照》及公司章程，并经本所律师登录国家企业信用信息公示系统查询，本所律师认为，屹唐股份为依法设立并有效存续的股份有限公司，不存在根据相关法律法规以及公司章程规定须予以终止的情形。

（2）股权结构

屹唐股份（688729）为科创板上市公司，根据其披露的2025年三季度报告，截至2025年9月30日，屹唐股份前十大股东情况如下：

序号股东名称持股数量（股）持股比例

1北京屹唐盛龙半导体产业投资中心（有限合伙）119845613340.55%

2 最佳第一持股有限公司（BEST Holdings #1 LLC） 262461892 8.88%

3 海松非凡有限公司（Oceanpine Marvelous Limited） 191752980 6.49%

4天津环旭创芯管理咨询有限公司1323295304.48%

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并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

5南京招银现代产业壹号股权投资基金（有限合伙）1011417073.42%宁波梅山保税港区鸿道致鑫投资管理合伙企业（有

6832261202.82%限合伙）

7共青城渐升投资合伙企业（有限合伙）701762632.37%

8天津和谐海河股权投资合伙企业（有限合伙）665808952.25%

9红杉鹏辰（厦门）股权投资合伙企业（有限合伙）532647161.80%

10 最佳第二持股有限公司（BEST Holdings #2 LLC） 52132842 1.76%

北京屹唐盛龙半导体产业投资中心（有限合伙）（以下简称“屹唐盛龙”）

持有屹唐股份40.55%的股权，屹唐盛龙的出资结构如下：

（3）控股股东与实际控制人

屹唐盛龙持有屹唐股份40.55%的股权，为屹唐股份直接控股股东，北京亦庄国际投资发展有限公司（以下简称“亦庄国投”）间接持有屹唐盛龙100%

的出资份额，为屹唐股份的间接控股股东；北京经济技术开发区财政国资局持有亦庄国投100%的股权，因此，北京经济技术开发区财政国资局为屹唐股份实际控制人。

（4）战略配售主体资格

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1）投资者类型

屹唐股份主要从事集成电路制造过程中所需晶圆加工设备的研发、生产和销售，面向全球集成电路制造厂商提供包括干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀及等离子体表面处理设备在内的集成电路制造设备及配套工艺解决方案。屹唐股份依靠自主研发的核心技术，致力于为集成电路制造环节提供更先进处理能力和更高生产效率的集成电路设备。主要设备相关技术达到国际领先水平，干法去胶设备、快速热处理设备已应用在多家国际知名集成电路制造商生产线上并实现大规模装机，干法刻蚀及等离子体表面处理设备已应用在多家国际知名集成电路制造商生产线上并正在持续进行市场开拓。屹唐股份坚持植根中国的国际化经营策略，以中国、美国、德国三地作为研发、制造基地，面向全球经营，用国际一流的技术和产品，长期服务全球客户。屹唐股份的产品已被多家全球领先的存储芯片制造厂商、逻辑电路制造厂商等集成电路制造厂

商所采用，服务的客户全面覆盖了全球前十大芯片制造商和国内行业领先芯片制造商。

2025年7月，屹唐股份正式在上海证券交易所科创板挂牌上市。截至2025年9月30日，屹唐股份总资产116.41亿元，净资产87.92亿元，2025年前三季度营业收入37.96亿元，归属于母公司股东的净利润5.16亿元。因此，屹唐股份属于大型企业。

近年来，屹唐股份作为参与战略配售的投资者曾参与认购晶合集成（688249）首次公开发行的股票。

2）战略合作安排

根据发行人与屹唐股份签署的《战略合作协议》，发行人与屹唐股份的合作内容如下：

A、强化业务合作：等离子体射频电源系统是屹唐股份集成电路设备产品的关键零部件。双方已建立业务合作关系，由恒运昌向屹唐股份提供其等离子体射频电源系统及技术服务，双方具有良好的合作前景。双方将共同努力进一步扩展

18北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

恒运昌产品、技术及服务在屹唐股份集成电路设备上的大规模应用，恒运昌将努力协调内部资源，为屹唐股份集成电路设备关键零部件本土化需求提供优质的产品和服务以及产能保障。屹唐股份将积极向恒运昌提供产品验证机会，与恒运昌建立合作研发机制，进一步拓展双方合作的深度和广度，提升恒运昌产品在屹唐股份所占份额。

B、拓展合作产品品类：恒运昌致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部

件整体解决方案的平台型公司，屹唐股份是国内为数不多具备多种集成电路设备研发生产能力的平台型集成电路设备公司，双方将共同努力在更多集成电路关键零部件产品品类上实现合作，助力恒运昌进一步丰富产品组合，在更多产品和应用上扩大市占率，并促进屹唐股份供应链本土化进程。

（5）关联关系

根据屹唐股份出具的说明函并经核查，屹唐股份与发行人、主承销商之间不存在关联关系。

（6）参与战略配售的认购资金来源

根据屹唐股份2024年年度报告和2025年三季度报告，屹唐股份的流动资金足以覆盖其与发行人签署的认购协议的认购资金上限。同时，根据屹唐股份出具的承诺，其用于参与本次发行战略配售的认购资金为其自有资金，且符合该资金的投资方向。

（7）锁定期限及相关承诺屹唐股份承诺获得本次配售的股票持有期限为自发行人首次公开发行并上

市之日起12个月。限售期届满后，屹唐股份对获配股份的减持适用中国证监会和上海证券交易所关于股份减持的有关规定。

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并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

6、长存鸿图

（1）基本情况

经核查长存鸿图提供的《营业执照》等文件并经本所律师登录国家企业信用

信息公示系统查询，长存鸿图的基本情况如下：

公司名称长存鸿图股权投资（武汉）合伙企业（有限合伙）公司类型有限合伙企业

统一社会信用代码 91420100MAEX02R427

执行事务合伙人长存（武汉）私募基金管理有限公司（委派代表：施文广）注册资本50000万元营业期限2025年9月22日至2035年9月22日湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号武汉未来科技城龙山创注册地址

新园一期 B4栋 18楼 745一般项目:以私募基金从事股权投资、投资管理、资产管理等活动（须经营范围在中国证券投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）。（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目）经本所律师登录中国证券投资基金业协会查询，长存鸿图为已备案的私募股权投资基金，其备案信息如下：

产品名称长存鸿图股权投资（武汉）合伙企业（有限合伙）基金类型股权投资基金

基金编号 SBGU94

管理人名称长存（武汉）私募基金管理有限公司备案日期2025年10月16日

经核查长存鸿图现行有效的《营业执照》及合伙协议，并经本所律师登录国家企业信用信息公示系统查询，本所律师认为，长存鸿图为依法设立并有效存续的有限合伙企业，不存在根据相关法律法规以及合伙协议规定须予以终止的情形。

长存鸿图已按照《中华人民共和国证券投资基金法》《私募投资基金监督管理条例》《私募投资基金监督管理暂行办法》等规定及中国证券投资基金业协会的要求办理了私募基金备案登记手续。

（2）出资结构

根据长存鸿图提供的出资结构图，截至本法律意见出具日，长存鸿图的出资结构如下：

20北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

注：根据长存鸿图出具的确认函并经核查，其上层自然人股东不存在不适合参与本次发行战略配售的情形。

长存鸿图普通合伙人（GP）为长存（武汉）私募基金管理有限公司（以下简称“长存基管”）和湖北国芯产业投资管理有限责任公司（以下称“国芯产投”），执行事务合伙人、基金管理人为长存基管。其中，长存基管系长江存储控股股份有限公司（以下称“长控集团”）全资二级子公司；国芯产投系长

控集团股东湖北国芯产业投资基金合伙企业（有限合伙）的执行事务合伙人，并系湖北集成电路产业投资基金股份有限公司（以下称“湖北产投”）全资子公司，湖北产投聚焦于集成电路产业进行投资，实际控制人系武汉市国资委。

根据长存鸿图提供的资料并经核查，长江存储控股股份有限公司（以下简称“长控集团”）的股权结构如下：

21北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见注：长控集团股权结构来源于《武汉新芯集成电路股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书（申报稿）》披露。

（3）实际控制人

长存鸿图为长控集团下属企业，具体情况如下：

A、从控制权角度而言，长控集团全资持股的长存基管系长存鸿图的执行事务合伙人，对长存鸿图的运营、维护、管理等事务拥有排他性的权力，国芯产投作为普通合伙人，未参与长存鸿图的日常经营管理。长存鸿图组建投资决策委员会，负责决策长存鸿图项目投资相关事项，投资决策委员会由3名委员组成，其中，长存资本（武汉）投资管理有限公司（以下简称“长存资本”）及长存基管有权联合推荐2名委员人选，武汉光谷半导体产业投资有限公司有权推荐1名委员人选，各主体推荐的人选经执行事务合伙人同意后成为投资决策委员会委员（以下称“投决委员”）。投资决策委员会设1名主席，由长存资本及长存基管联合推荐的投决委员担任。投决委员按照一人一票的方式独立形成决策意见决议，并经包括投资决策委员会主席在内的2名及以上（含本数）投决委员同意方可决议通过。因此，长控集团全资子公司长存基管担任长存鸿图执行事务合伙人及管理人，有权推荐2席投资决策委员会委员，并且由其所推荐委员担任投资决策委员会主席，能够决定长存鸿图的日常经营管理决策。

B、从收益权角度而言，长控集团通过长存资本、长存基管合计持有长存鸿图51.5%的合伙份额。

因此，长存鸿图系长控集团控制的下属企业。

长控集团公司章程规定其股东会一般事项由全体股东所持表决权三分之二

以上决议通过，董事会一般事项由三分之二以上董事决议通过。长控集团股权结构较为分散，任一股东无法单独控制股东会，任一股东提名的董事亦无法单独控制董事会，长控集团不存在可以实际支配其行为的主体，故长控集团无实际控制人。因此，长存鸿图无最终实际控制人。

（4）战略配售主体资格

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并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

1）投资者类型

长控集团成立于2016年12月，作为集团控股公司，拥有长存资本、长江存储科技有限责任公司（下称“长江存储”）、武汉新芯集成电路股份有限公司（以下简称“武汉新芯”）等多家子公司，并以长江存储为核心，形成了先进存储设计、制造、封装、测试全产业链能力，构建了闪存量产平台、技术创新平台、产融结合平台、科技服务平台，在推动创新驱动发展和经济转型升级等方面发挥积极作用。截至2025年6月末，长控集团母公司口径的总资产超过

1300亿元，净资产超过1300亿元，员工人数超过8000人。因此，长控集团属于大型企业。

长存资本是长控集团全资子公司，作为长控集团设立的产业投融资平台，牵头设立长存鸿图（出资占股51%），并由长存资本全资子公司长存基管担任执行事务合伙人及基金管理人，因此长存鸿图为长控集团的下属企业，系大型企业的下属企业。

近年来，长存鸿图作为参与战略配售的投资者曾参与认购恒坤新材（688727）首次公开发行的股票。

2）战略合作安排

根据发行人与长存资本、长存鸿图签署的《战略合作备忘录》，长存鸿图作为本次战略投资的主体参与恒运昌战略配售，合作内容如下：

A、加强在产品验证导入领域的深度合作：各方致力于建立长期稳定的合作关系，将对方视为重要的合作伙伴。基于各方现有的良好合作基础，各方将共同努力进一步扩大合作范围，持续提升各方在各自领域的竞争优势。

B、深化合作交流、构建产业生态：各方建立沟通机制，深化合作交流，并积极协调和促进产业链相关企业开展产业合作探讨，各方充分发挥各自资源与业务优势，为构建我国集成电路产业生态发挥重要作用。

C、供应链多元化：发行人将努力配合长控集团下属企业完成供应链多元化，支持长控集团下属企业通过逐步实施供应链多元化转移降低材料成本，建立起具

23北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见备高可靠性和高稳定性的境内供应链。

下属企业，具有参与发行人本次发行战略配售的资格，符合《首发承销细则》第四十一条第（一）项的规定。

（5）关联关系

根据长存鸿图出具的说明函并经核查，长存鸿图与发行人、主承销商之间不存在关联关系。

（6）参与战略配售的认购资金来源

根据长存鸿图2025年11月财务报表，长存鸿图的流动资金足以覆盖其与发行人签署的认购协议的认购资金上限。同时，根据长存鸿图出具的承诺，其用于参与本次发行战略配售的认购资金为其自有资金，且符合该资金的投资方向。

（7）锁定期限及相关承诺长存鸿图承诺获得本次配售的股票持有期限为自发行人首次公开发行并上

市之日起12个月。限售期届满后，长存鸿图对获配股份的减持适用中国证监会和上海证券交易所关于股份减持的有关规定。

7、中电科投资

（1）基本信息

经核查中电科投资提供的《营业执照》等文件并经本所律师登录国家企业信

用信息公示系统查询，中电科投资的基本情况如下：

企业名称中电科投资控股有限公司

企业类型有限责任公司（法人独资）

统一社会信用代码 9111000071783888XG法定代表人靳彦彬注册资本500000万元营业期限2014年4月18日至无固定期限注册地址北京市石景山区金府路30号院2号楼7层

24北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见投资管理、股权投资、投资咨询；产权经纪。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准经营范围后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）经核查中电科投资现行有效的《营业执照》及公司章程，并经本所律师登录国家企业信用信息公示系统查询，本所律师认为，中电科投资为依法设立并有效存续的有限责任公司，不存在根据相关法律法规以及公司章程规定须予以终止的情形。

（2）股权结构

根据中电科投资提供的股权结构图，截至本法律意见出具日，中电科投资的股权结构如下：

（3）控股股东与实际控制人

中国电子科技集团有限公司（以下简称“中国电科”）持有中电科投资100%的股权，为中电科投资的控股股东，国务院国有资产监督管理委员会持有中国电科100%的股权，因此，国务院国有资产监督管理委员会为中电科投资的实际控制人。

（4）战略配售主体资格

1）投资者类型

中国电科是中央直接管理的国有重要骨干企业，是我国军工电子主力军、网信事业国家队、国家战略科技力量。中国电科拥有电子信息领域相对完备的科技创新体系，在电子装备、网信体系、网络安全等领域占据技术主导地位。

25北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见目前，中国电科拥有包括47家国家级研究院所、19家上市公司在内的700余家企事业单位；拥有41个国家级重点实验室、研究中心和创新中心，并持续多年入选《财富》世界500强。截至2024年6月30日，中国电科总资产6249.22亿元，净资产3566.63亿元；2024年1-6月营业收入1985.39亿元，利润总额

147.10亿元，净利润135.58亿元。因此，中国电科为国有大型企业。

中电科投资控股有限公司创立于2014年，总部位于北京，注册资本50亿元，资产规模超过200亿元，是中国电科的全资子公司、中国电科战略投资的核心支撑单位，系大型企业的下属企业。

近年来，中电科投资作为参与战略配售的投资者曾参与认购雷电微力

（301050）、艾罗能源（688717）、中巨芯（688549）、高凌信息（688175）、中汽股份（301215）、华强科技（688151）、西安奕材（688783）、中国铀业（001280）等公司首次公开发行的股票。

2）战略合作安排

根据发行人与中电科投资签署的《战略合作协议》，发行人与中电科投资的合作内容如下：

A、加深半导体装备领域合作

半导体装备是中国电科重要的产业布局领域之一，形成了以沉积设备、离子注入机、平坦化装备、清洗设备等为代表的微电子前道工艺设备研究开发与

生产制造体系，以及以划片机、减薄机、倒装键合设备为代表的后道封装工艺设备研发生产体系，具备集成电路局部成套和系统集成能力。恒运昌是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，其核心产品等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源等产品技术指标优良，已批量导入国内知名半导体设备厂商。

中电科投资依托中国电科在半导体装备领域布局，积极推动恒运昌与中国电科在新产品验证、技术研发、科研专项申报等方面全面开展合作。

B、加强半导体制造领域合作

26北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见半导体元器件是中国电科重要的产业布局领域之一，以中电科芯片技术（集团）有限公司、中国电科产业基础研究院、中国电子科技集团第五十五研究所、

中国电子科技集团公司第五十八研究所等单位作为主要经营主体，涵盖数模混合芯片、射频/功率芯片、逻辑类数字芯片、化合物半导体芯片等多项产品。恒运昌基于半导体设备核心零部件技术优势，可为晶圆制造企业提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务，相关技术及服务能力受到国内龙头晶圆制造企业认可。

中电科投资依托中国电科在半导体制造领域布局，积极推动恒运昌与中国电科下属晶圆制造企业开展交流合作，提高设备运行稳定性、优化流程工艺、降低生产成本。

C、加强资本运作合作

中电科投资作为中国电科旗下的资本运作和战略投资平台，在中国电科资产重组、资本运作等方面发挥关键作用。中电科投资将利用自身资源，发挥专业化、市场化和体系化优势，以资本为纽带，为恒运昌提供资本运作咨询与资源对接等服务，促进恒运昌长期良好发展。

中国电科已就中电科投资参与本次战略配售事宜出具《关于下属企业参与深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市战略配售的声明》：中国电科系由国务院国资委履行出资人职责的国有大型企业；中国电科下属企业中电科投资参与恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市的战

略配售事宜已经中电科投资内部决策通过，符合中国电科对下属企业对外投资的相关规定；中国电科支持中电科投资与恒运昌深化战略协同，联合开展半导体材料、资本运营等方面的交流合作。

下属企业，具有参与发行人本次发行战略配售的资格，符合《首发承销细则》第四十一条第（一）项的规定。

27北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

（5）关联关系

根据中电科投资出具的说明函并经核查，中电科投资与发行人存在关联关系如下：

中电科核心技术研发股权投资基金（北京）合伙企业（有限合伙）（以下简称“中电科基金”）和扬州乾益投资合伙企业（有限合伙）（以下简称“扬州乾益”）系发行人股东，本次发行前，中电科基金和扬州乾益分别持有发行人股份比例为1.5188%、0.0304%，扬州乾益为中电科基金跟投平台。

中电科基金的基金管理人为中电科投资的全资子公司中电科网信私募基金

管理有限公司（基金管理人登记编号 P1070496），同时，中电科投资为中电科基金的有限合伙人，直接及间接合计持有其25.6174%的合伙份额。

除上述关联关系外，中电科投资与发行人、主承销商之间不存在其他关联关系。

根据中电科投资的说明，其参与本次战略配售为其独立的决策结果，履行了内部的审批流程，未受上述关联关系的影响，不存在直接或间接进行利益输送的行为。

（6）参与战略配售的认购资金来源

根据中电科投资2024年度审计报告、2025年1-9月财务报表，中电科投资的流动资金足以覆盖其与发行人签署的认购协议的认购资金上限。同时，根据中电科投资出具的承诺，其用于参与本次发行战略配售的认购资金为其自有资金，且符合该资金的投资方向。

（7）锁定期限及相关承诺中电科投资承诺获得本次配售的股票持有期限为自发行人首次公开发行并

上市之日起12个月。限售期届满后，中电科投资对获配股份的减持适用中国证监会和上海证券交易所关于股份减持的有关规定。

8、电控产投

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并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

（1）基本情况

经核查电控产投提供的《营业执照》等文件并经本所律师登录国家企业信用

信息公示系统查询，电控产投的基本情况如下：

企业名称北京电控产业投资有限公司企业类型其他有限责任公司

统一社会信用代码 91110105681951767F法定代表人吕延强

注册资本185670.66万元营业期限2008年10月30日至无固定期限

注册地址北京市朝阳区三里屯西五街 5号 C 区 5层 502投资及投资管理。（“1、未经有关部门批准，不得以公开方式募集资金；2、不得公开开展证券类产品和金融衍生品交易活动；3、不得发

放贷款；4、不得对所投资企业以外的其他企业提供担保；5、不得向经营范围投资者承诺投资本金不受损失或者承诺最低收益”；市场主体依法自

主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）经核查电控产投现行有效的《营业执照》及公司章程，并经本所律师登录国家企业信用信息公示系统查询，本所律师认为，电控产投为依法设立并有效存续的有限责任公司，不存在根据相关法律法规以及公司章程规定须予以终止的情形。

（2）股权结构

根据电控产投提供的股权结构图，截至本法律意见出具日，电控产投的股权结构如下：

29北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

京东方科技集团股份有限公司（以下简称“京东方”）（000725.SZ）为深

圳证券交易所主板上市公司，根据其披露的2025年三季度报告，截至2025年9月30日，京东方的控股股东为北京电子控股有限责任公司（以下简称“北京电控”），其前十大股东情况如下：

序号股东名称持股数量（股）持股比例

1北京国有资本运营管理有限公司406333333310.86%

2香港中央结算有限公司27047955657.23%

3北京京东方投资发展有限公司8220921802.20%

4北京京国瑞国企改革发展基金（有限合伙）7181328541.92%

5合肥建翔投资有限公司6661957721.78%

中国工商银行股份有限公司－华泰柏瑞沪深300

66260331471.67%

交易型开放式指数证券投资基金

7福清市汇融创业投资集团有限公司5385996401.44%

中国建设银行股份有限公司－易方达沪深300交

84519600231.21%

易型开放式指数发起式证券投资基金

上海高毅资产管理合伙企业（有限合伙）－高毅

93520000000.94%

晓峰2号致信基金

中国工商银行股份有限公司-华夏沪深300交易型

103372717000.90%

开放式指数证券投资基金

合计11280414214.0030.15%

北京电子城高科技集团股份有限公司（以下简称“电子城”）（600658.SH）

为上海证券交易所主板上市公司，根据其披露的2025年三季度报告，截至2025年9月30日，电子城的控股股东为北京电控，其前十大股东情况如下：

30北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

序号股东名称持股数量（股）持股比例

1北京电子控股有限责任公司50880130445.49%

2孙金海185743841.66%

3香港中央結算有限公司144408161.29%

4京东方科技集团股份有限公司137472901.23%

5钟格126800001.13%

6北京兆维电子（集团）有限责任公司100040980.89%

中国工商银行股份有限公司-南方中证全指房地产

784935200.76%

交易型开放式指数证券投资基金

8苏州创朴新材料科技合伙企业(有限合伙)62087000.56%

9北京市将台经济技术开发有限公司45824300.41%

10颜学良36718000.33%

合计60120434253.75%

北方华创创新投资（北京）有限公司（以下简称“华创创投”）为北方华

创科技集团股份有限公司（以下简称“北方华创”）的全资子公司，北方华创

（002371.SZ）为深圳证券交易所主板上市公司，根据北方华创披露的 2025年

三季度报告，截至2025年9月30日，北方华创的实际控制人为北京电控，其前十大股东情况如下：

序号股东名称持股数量（股）持股比例

1北京七星华电科技集团有限责任公司24053722333.21%

2香港中央结算有限公司9248710012.77%

3北京电子控股有限责任公司674363379.31%

4国家集成电路产业投资基金股份有限公司362039425.00%

5国新投资有限公司85919041.19%

中国工商银行股份有限公司-华泰柏瑞沪深300交

673633091.02%

易型开放式指数证券投资基金

华芯投资管理有限责任公司-国家集成电路产业投

763928730.88%

资基金二期股份有限公司

8北京京国瑞国企改革发展基金（有限合伙）53350720.74%

中国建设银行股份有限公司－易方达沪深300交

953236720.73%

易型开放式指数发起式证券投资基金

中国建设银行股份有限公司-华夏国证半导体芯片

1048549000.67%

交易型开放式指数证券投资基金

合计47452633265.52%

（3）控股股东与实际控制人

根据电控产投的股权结构图，北京电控直接持有其50%的股权，为电控产

31北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

投控股股东，并通过京东方、电子城、华创创投间接控制电控产投50%股权的表决权，因此，北京电控合计直接及间接控制电控产投100%股权的表决权。

京东方持有电控产投21.5435%的股权，电子城持有电控产投10.7718%的股权，北方华创的全资子公司华创创投持有电控产投17.6847%的股权。根据京东方、电子城、北方华创披露的公告，北京电控为京东方、电子城的控股股东及实际控制人，为北方华创的间接控股股东及实际控制人。穿透计算，北京电控直接及间接合计约持有电控产投63%的股权和收益权。

北京市人民政府国有资产监督管理委员会通过北京国有资本运营管理有限

公司持有北京电控100%的股权，因此，北京市人民政府国有资产监督管理委员会为电控产投的实际控制人。

（4）战略配售主体资格

1）投资者类型

北京电控是北京市国资委授权的以电子信息产业为主业的国有特大型高科技产业集团。北京电控旗下拥有16家二级企业（含4家上市公司），从事产业涵盖半导体显示、集成电路装备、集成电路制造、智能装备、仪器仪表、新能

源、信息服务、科技服务等领域。截至2024年12月31日，北京电控总资产

5534.38亿元，净资产2654.91亿元；2024年度北京电控营业收入2354.36亿元，利润总额95.01亿元，净利润72.54亿元，规模效益位居市属国企前列，属于大型企业。

电控产投构建北京电控“产业+资本”发展模式的重要支撑，致力于成为北京电控专业资本运作、股权投资及产业未来布局的重要资本支撑平台。电控产投依托于北京电控在电子信息产业领域雄厚的产业基础，专注基金管理和股权投资。截至2025年12月，电控产投共主导、参与投资9只基金，基金总规模

139.14亿元。完成燕东微、诚志永华、屹唐股份、摩尔线程等股权直投项目投资。主要围绕集成电路、显示领域的上下游产业链开展投资以及资源整合。电控产投作为北京电控的控股子公司，系大型企业的下属企业。

32北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见近年来，电控产投作为参与战略配售的投资者曾参与认购屹唐股份（688729）、新相微（688593）、西安奕材（688783）、摩尔线程（688795）首次公开发行的股票。

2）战略合作安排

根据发行人与电控产投签署的《战略合作协议》，发行人与电控产投的合作内容如下：

A、促进半导体装备业务合作：电控产投控股股东为北京电控，其他直接或间接股东包括北方华创（002371）、京东方（000725）和电子城（600658）。

其中，北方华创作为恒运昌的前五大客户，双方保持良好的合作关系，在 PVD、刻蚀设备方面已建立稳定的供应关系。双方将共同努力进一步扩展产品、技术及服务在业务层面的应用和占比。恒运昌将努力协同内部资源，为北方华创的工艺升级和改进提供优质的产品和技术服务。

B、拓展合作产品品类和新工艺应用：电控产投将促使北方华创向恒运昌

提供新产品测试和验证机会，双方建立合作研发机制，将北方华创新工艺和新需求与恒运昌的新产品、新技术开发过程密切结合，进一步拓展双方在产品合作方面的深度和广度。

C、供应链本土化：电控产投将利用北京电控在集成电路产业链的广泛资源，包括但不限于北方华创及燕东微（688172）的供应链资源，助力恒运昌快速推进供应链本土化进程。恒运昌将努力配合相关供应链本土化安排。

北京电控已就电控产投参与本次战略配售事宜出具《北京电子控股有限责任公司关于授权北京电控产业投资有限公司参与恒运昌战略配售的授权说明》，将支持电控产投与恒运昌开展协同。

下属企业，具有参与发行人本次发行战略配售的资格，符合《首发承销细则》第四十一条第（一）项的规定。

33北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

（5）关联关系

根据电控产投出具的说明函并经核查，电控产投与发行人存在关联关系如下：

北京光电融合产业投资基金（有限合伙）（以下简称“光电融合基金”）系

发行人股东，本次发行前，光电融合基金持有发行人0.9113%的股份，光电融合基金的执行事务合伙人为电控产投的全资子公司北京电控创业投资管理有限公司；同时，电控产投为光电融合基金的有限合伙人，合计持有其22%的出资份额。

除上述关联关系外，电控产投与发行人、主承销商之间不存在其他关联关系。

根据电控产投的说明，其参与本次战略配售为其独立的决策结果，履行了内部的审批流程，未受上述关联关系的影响，不存在直接或间接进行利益输送的行为。

（6）参与战略配售的认购资金来源

根据电控产投2024年度审计报告、2025年1-9月财务报表，电控产投的流动资金足以覆盖其与发行人签署的认购协议的认购资金上限。同时，根据电控产投出具的承诺，其用于参与本次发行战略配售的认购资金为其自有资金，且符合该资金的投资方向。

（7）锁定期限及相关承诺电控产投承诺获得本次配售的股票持有期限为自发行人首次公开发行并上

市之日起12个月。限售期届满后，电控产投对获配股份的减持适用中国证监会和上海证券交易所关于股份减持的有关规定。

9、富创精密

（1）基本情况

经核查富创精密提供的《营业执照》等文件并经本所律师登录国家企业信用

信息公示系统查询，富创精密的基本情况如下：

公司名称沈阳富创精密设备股份有限公司

公司类型其他股份有限公司（上市）

34北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

统一社会信用代码 91210112675314948L法定代表人郑广文

注册资本30621.0771万元营业期限2008年6月24日至无固定期限

注册地址辽宁省沈阳市浑南区飞云路18甲-1号许可项目：货物进出口，技术进出口，进出口代理（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准）一般项目：机械零件、零部件加工，机械零件、零部件销售，半导经营范围体器件专用设备制造，金属表面处理及热处理加工，金属切割及焊接设备制造，金属加工机械制造，增材制造，3D 打印服务，技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）经核查富创精密现行有效的《营业执照》及公司章程，并经本所律师登录国家企业信用信息公示系统查询，本所律师认为，富创精密为依法设立并有效存续的股份有限任公司，不存在根据相关法律法规以及公司章程规定须予以终止的情形。

（2）股权结构

富创精密（688409）为科创板上市公司，根据其披露的2025年三季度报告，截至2025年9月30日，富创精密前十大股东情况如下：

序号股东名称持股数量（股）持股比例

1沈阳先进制造技术产业有限公司5305374517.33%

2泰州祥浦创业投资基金合伙企业（有限合伙）5003998416.34%

3国投（上海）创业投资管理有限公司－国投（上294271789.61%

海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙）

4郑广文148393554.85%

5辽宁科发实业有限公司148000004.83%

6宁波芯富投资管理合伙企业（有限合伙）88800002.90%

7海通新能源私募股权投资管理有限公司－辽宁中71692052.34%

德产业股权投资基金合伙企业（有限合伙）

8中国建设银行股份有限公司－银华集成电路混合70000002.29%

型证券投资基金

9中国建设银行股份有限公司－南方信息创新混合60121901.96%

型证券投资基金

10中国农业银行股份有限公司－东方人工智能主题58671831.92%

混合型证券投资基金

（3）控股股东与实际控制人

截至2025年9月30日，沈阳先进制造技术产业有限公司持有富创精密

17.33%的股份，为富创精密第一大股东；沈阳先进制造技术产业有限公司是郑广

35北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

文投资半导体产业的控股平台，郑广文直接及间接合计控制其100%的表决权。

此外，郑广文直接持有富创精密4.85%的股份，郑广文通过沈阳先进制造技术产业有限公司（持有富创精密17.33%股份）、宁波芯富投资管理合伙企业（有限合伙）（持有富创精密2.90%股份）、宁波良芯投资管理合伙企业（有限合伙）（持有富创精密0.48%股份）、宁波芯芯投资管理合伙企业（有限合伙）（持有富创精密0.48%股份），合计控制富创精密26.04%的股权，系富创精密的实际控制人。

（4）战略配售资格

1）投资者类型

富创精密是国内半导体设备精密零部件的领军企业，是国内少有的能够提供满足甚至超过国际主流客户标准的精密零部件产品的供应商。富创精密专注于金属材料零部件精密制造技术，陆续构建并完善精密制造全链条的核心技术体系，主要包括精密机械制造技术、表面处理特种工艺、焊接工艺及气体传输系统集成技术，通过持续研发投入形成差异化技术壁垒。基于半导体设备向更先进制程迭代的产业需求，富创精密相关核心技术已在工艺性能优化、量产良率提升及成本控制等方面产生一定效益，为半导体装备关键零部件的国产化替代进程赋能。主要产品包括机械及机电零组件和气体传输两大类，应用于集成电路和非集成电路领域。

富创精密是国家级企业技术中心、国家高新技术企业、国家“02重大专项”

及国家智能制造新模式应用项目承担单位、集成电路装备零部件精密制造技术

国家地方联合工程研究中心依托单位。截至2025年9月30日，富创精密总资产为90.26亿元；净资产为47.14亿元；营业收入达27.30亿元、净利润3748.41万元。因此，富创精密系大型企业。

2）战略合作安排

根据发行人与富创精密签署的《战略合作协议》，发行人与富创精密的合作内容如下：

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并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

A、核心零部件研发协同与技术适配。恒运昌在等离子体射频电源系统及匹配器等核心零部件领域具备技术积累，而富创深耕半导体设备工艺零部件、结构零部件等精密零部件的开发，双方在核心零部件领域形成互补优势。未来，双方将围绕半导体设备关键部件展开联合研发，通过技术共享与工艺适配，提升产品性能稳定性与交付效率。

B、产业链资源整合与本地化生产协同。富创精密作为沈阳本地产业龙头，拥有丰富的产业资源、供应链网络及产业集群优势，而恒运昌已在沈阳设立子公司，具备本地化生产基础。富创将依托其在国内北方市场的客户基础（如华海清科、北方华创等），为恒运昌射频电源系统提供更多验证场景；恒运昌则通过技术赋能，协助富创精密零部件产品进入更多设备商供应链。

（5）关联关系

根据富创精密出具的说明函并经核查，富创精密与发行人、主承销商之间不存在关联关系。

（6）参与战略配售的认购资金来源

根据富创精密2024年年度报告和2025年三季度报告，富创精密的流动资金足以覆盖其与发行人签署的认购协议的认购资金上限。同时，根据富创精密出具的承诺，其用于参与本次发行战略配售的认购资金为其自有资金，且符合该资金的投资方向。

（7）锁定期限及相关承诺富创精密承诺获得本次配售的股票持有期限为自发行人首次公开发行并上

市之日起12个月。限售期届满后，富创精密对获配股份的减持适用中国证监会和上海证券交易所关于股份减持的有关规定。

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并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

10、豪威集团

（1）基本情况

经核查豪威集团提供的《营业执照》、披露的公告等文件并经本所律师登录

国家企业信用信息公示系统查询，豪威集团的基本情况如下：

公司名称豪威集成电路（集团）股份有限公司

公司类型其他股份有限公司（上市）

统一社会信用代码 9131000066244468X3法定代表人高文宝

注册资本121442.6982万元营业期限2007年5月15日至2057年5月14日

注册地址中国（上海）自由贸易试验区龙东大道 3000号 1幢 C楼 7层

集成电路、计算机软硬件的设计、开发、销售，商务信息咨询，从事货经营范围物及技术的进出口业务，自有房屋租赁。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】

经核查豪威集团现行有效的《营业执照》及公司章程，并经本所律师登录国家企业信用信息公示系统查询，本所律师认为，豪威集团为依法设立并有效存续的股份有限公司，不存在根据相关法律法规以及公司章程规定须予以终止的情形。

（2）股权结构

根据豪威集团提供的股权结构图，截至2025年9月30日，其股权结构如下：

豪威集团（603501）为上海证券交易所上市公司，根据其披露的2025年三季度报告，截至2025年9月30日，豪威集团前十大股东情况如下：

38北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

序号股东名称持股数量（股）持股比例

1虞仁荣33347225027.64%

2香港中央结算有限公司14201704611.77%

3绍兴市韦豪股权投资基金合伙企业（有限合伙）741326626.15%

4宁波东方理工大学教育基金会406001003.37%

5青岛融通民和投资中心（有限合伙）223756761.85%

6中国工商银行－上证50交易型开放式指数证券投162536831.35%

资基金

7中国工商银行股份有限公司－华泰柏瑞沪深300145514051.21%

交易型开放式指数证券投资基金

8高盛国际－自有资金109051980.90%

9中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯106070930.88%

片交易型开放式指数证券投资基金

10中国建设银行股份有限公司－易方达沪深300交104825060.87%

易型开放式指数发起式证券投资基金

（3）控股股东与实际控制人

虞仁荣直接持有豪威集团27.64%的股份；虞仁荣控制的绍兴市韦豪股权投

资基金合伙企业(有限合伙)持有豪威集团6.15%的股份；虞仁荣一致行动人虞

小荣持有豪威集团0.08%的股份，因此虞仁荣共计控制了豪威集团33.87%的股份，为豪威集团的控股股东。虞仁荣依其控制的股份所享有的表决权足以对公司的股东大会决议产生重大影响，因此虞仁荣为豪威集团的实际控制人。

（4）战略配售资格

1）投资者类型

豪威集团(603501)是全球排名前十的 Fabless 半导体设计公司。自其 2007年成立以来，持续致力于半导体技术的研发与创新，并于2017年5月4日在上海证券交易所挂牌上市。豪威集团在全球多地设立了研发和运营中心，为公司获取全球领先技术资讯，招募高科技人才提供良好的发展环境，目前全球员工数量逾5000人。

豪威集团于2019年完成了对全球前三大图像传感器芯片设计公司豪威科

技的收购，通过持续的收购与整合，公司不断拓展产品线及研发能力，逐步构建了图像传感器解决方案、显示解决方案和模拟解决方案三大业务体系，形成了协同发展的半导体设计业务布局。作为全球知名的提供先进数字成像解决方

39北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见案的芯片设计公司公司产品已经广泛应用于消费电子和工业应用领域包括汽

车、智能手机、家居安防、医疗、智能眼镜、工业/机器视觉、新兴市场等领域。

豪威集团持续稳定的加大在各产品领域的研发投入，为产品升级及新产品的研发提供充分的保障，近五年研发投入突破140亿元，已拥有授权专利4761项其中发明专利4552项，实用新型专利205项，外观设计专利4项。2025年上半年，豪威集团实现主营业务收入139.40亿元，公司归属于母公司股东的净利润为20.28亿元。因此，豪威集团为大型企业。

近年来，豪威集团作为参与战略配售的投资者曾参与认购恒坤新材（688727）首次公开发行的股票。

2）战略合作安排

根据发行人与豪威集团签署的《战略合作协议》，发行人与豪威集团的合作内容如下：

A、核心元器件协同创新和解决方案助力。恒运昌持续发力产业链上游核心元器件的国产化，力争实现全国产化供应；豪威在传感器解决方案、模拟解决方案等领域拥有深厚的技术积累，针对射频电源系统的设计，豪威的传感器解决方案、模拟解决方案能从电源管理、射频开关、信号链等多个方面提供助力，提供多元化、定制化的解决方案。

B、产业链资源整合与深度工艺协同。豪威是全球排名前列的 Fabless 半导体设计公司，拥有丰富的产业资源，而恒运昌的主要客户中，国内薄膜沉积、刻蚀应用的龙头企业均位于上海，长三角区域更是国内集成电路产业的聚集高地，恒运昌也即将落子上海。豪威将依托其在长三角的客户基础，为恒运昌射频电源系统牵引更多工艺验证的机会；恒运昌则通过不断的技术迭代促进豪威的设计快速定型、落地。

根据《首发承销细则》第三章关于“战略配售”的规定，该参与战略配售的投资者作为与发行人经营业务具有战略合作关系或长期合作愿景的大型企业，具有参与发行人本次发行战略配售的资格，符合《首发承销细则》第四十一条第（一）

40北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见项的规定。

（5）关联关系

根据豪威集团出具的说明函并经核查，豪威集团与发行人、主承销商之间不存在关联关系。

（6）参与战略配售的认购资金来源

根据豪威集团2024年年度报告和2025年三季度报告，豪威集团的流动资金足以覆盖其与发行人签署的认购协议的认购资金上限。同时，根据豪威集团出具的承诺，其用于参与本次发行战略配售的认购资金为其自有资金，且符合该资金的投资方向。

（7）锁定期限及相关承诺豪威集团承诺获得本次配售的股票持有期限为自发行人首次公开发行并上

市之日起12个月。限售期届满后，豪威集团对获配股份的减持适用中国证监会和上海证券交易所关于股份减持的有关规定。

二、参与战略配售的投资者的选取标准及配售资格

（一）参与战略配售的投资者的选取标准

本次参与战略配售的投资者为参与科创板跟投的保荐人相关子公司、发行人

的高级管理人员与核心员工参与本次战略配售设立的专项资产管理计划、与发行

人经营业务具有战略合作关系或长期合作愿景的大型企业或其下属企业，本所律师认为，本次战略配售符合《首发承销细则》第四十一条关于参与发行人战略配售投资者选取标准的规定。

（二）参与战略配售的投资者的配售资格和配售条件

1、中证投资经核查，中证投资已与发行人签署配售协议。

中证投资出具《关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

41北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见并在科创板上市战略配售相关事宜的承诺函》，承诺中证投资为中信证券的全资子公司，为参与跟投的保荐人相关子公司，符合《首发承销细则》第四十条和第四十一条规定的战略投资者的选取标准；承诺本次战略配售认购证券资金来源为

中证投资自有资金，符合本次战略配售投资方向及用途，且该等资金投资于本次战略配售符合中证投资关于自有资金投资方向的相关规定；承诺中证投资为本次

配售证券的实际持有人，不存在接受其他投资者委托或委托其他投资者参与本次战略配售的情形，将按照相关规定及时足额缴纳认购资金；承诺中证投资已开立专用证券账户存放获配证券，并与自营、资管等其他业务的证券有效隔离、分别管理、分别记账，未与其他业务进行混合操作，开立的专用证券账户仅用于在限售期届满后卖出或者按照中国证监会及上海证券交易所有关规定向证券金融公

司借出和收回获配证券，不会买入股票或者其他证券，因上市公司实施配股、向原股东优先配售股票或可转换公司债券、转增股本的除外；承诺中证投资获得本

次配售的证券持有期限为自发行人首次公开发行并上市之日起24个月，承诺不通过任何形式在限售期内转让所持有本次配售的证券，限售期届满后，中证投资将依据中国证监会和上海证券交易所关于股份减持的有关规定对获配股份进行减持；承诺中证投资不会利用获配股份取得的股东地位影响发行人正常生产经营，不在获配股份限售期内谋求发行人控制权；承诺中证投资作为战略投资者不参与

本次公开发行证券网上发行与网下发行，承诺按照最终确定的发行价格认购承诺认购数量的证券；承诺已就本次战略配售的核查事项向发行人、主承销商及主承

销商律师进行了充分的披露并提供了相应证明材料，并保证所披露信息不存在任何隐瞒、虚假和重大遗漏，确保所提供材料的真实性、准确性和完整性。

根据上述承诺函并经核查，本所律师认为，中证投资作为参与科创板跟投的保荐人相关子公司，符合《管理办法》第二十一条、第二十三条以及《首发承销细则》第四十条和第四章科创板保荐人相关子公司跟投关于参与战略配售的投资者的配售资格和配售条件相关规定。

2、恒运昌员工资管计划经核查，恒运昌员工资管计划的管理人中信资管代表资管计划已与发行人签

42北京德恒律师事务所关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票

并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见署配售协议。

中信资管作为资管计划管理人出具《关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市战略配售相关事宜的承诺函》，承诺中信资管接受发行人高级管理人员与核心员工的委托设立恒运昌员工资管计划，恒运昌员工资管计划符合《首发承销细则》第四十一条规定的参与战略配售的投资者的

选取标准；恒运昌员工资管计划参与本次发行战略配售不存在《首发承销细则》

第四十二条规定的禁止性情形；承诺资管计划作为本次配售股票的实际持有人，代表发行人高级管理人员、核心员工持有本次战略配售的证券，不存在接受发行人公告披露外的投资者委托或者委托其他投资者参与本次战略配售的情形；承诺

中信资管为恒运昌员工资管计划的管理人和实际控制主体，对恒运昌员工资管计划的投资决策安排、相关股东权利行使安排、发行人股东大会表决的实施安排、恒运昌员工资管计划的独立运营均具有实际支配权；承诺恒运昌员工资管计划用于参与本次战略配售的资金均来自于发行人高级管理人员或核心员工的自有资金，且投资于本次战略配售符合关于自有资金投资方向的相关规定，参与发行人战略配售符合管理合同约定的投资范围；承诺恒运昌员工资管计划获得本次配售

的证券限售期限为自发行人首次公开发行并上市之日起12个月，不通过任何形式在限售期内转让所持有本次配售的证券；承诺恒运昌员工资管计划不参与首次

公开发行证券的网上发行和网下发行，承诺按照最终确定的发行价格认购其承诺认购数量的证券。

恒运昌员工资管计划全体份额持有人均出具《关于参与深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市之战略配售事宜承诺函》，承诺其委托中信资管设立恒运昌员工资管计划，其本人为发行人的高级管理人员或核心员工；承诺其本人为本次配售证券的最终实际持有人，不存在接受其他投资者委托或者委托其他投资者参与本次战略配售的情形；承诺其参与本次战略配售

的资金均为合法自有资金，且该等资金投资于本次战略配售符合资管计划合同约定的投资方向，不存在使用贷款、发行债券等形式筹集的资金参与战略配售的情况；承诺其通过恒运昌员工资管计划获得本次配售的证券限售期限为自发行人首

次公开发行并上市之日起12个月，限售期内将不转让或委托他人管理该部分证

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并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见券，也不由发行人回购该部分证券，亦不会委托或转让或采取其他方式处置所持有的本资管计划份额。

根据上述承诺函并经核查，本所律师认为，恒运昌员工资管计划作为发行人的高级管理人员与核心员工参与本次战略配售设立的专项资产管理计划，符合《管理办法》第二十一条、第二十三条以及《首发承销细则》第四十条关于参与战略配售的投资者的配售资格和配售条件相关规定。

3、拓荆科技、中微临港、屹唐股份、长存鸿图、中电科投资、电控产投、富创精密、豪威集团经核查，拓荆科技、中微临港、屹唐股份、长存鸿图、中电科投资、电控产投、富创精密、豪威集团已分别与发行人签署战略配售的认购协议。

拓荆科技、中微临港、屹唐股份、长存鸿图、中电科投资、电控产投、富创精密、豪威集团已分别出具《关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市的战略配售的承诺函》，承诺其作为与发行人经营业务具有战略合作关系或长期合作愿景的大型企业或其下属企业，具备良好的市场声誉和影响力，具有较强资金实力，认可发行人长期投资价值，并按照最终确定的发行价格认购其承诺认购数量的发行人证券，符合《首发承销细则》关于参与战略配售的投资者的选取标准、配售资格的要求的规定；不存在不适合参与本次战

略配售的情形；承诺本次战略配售认购资金来源为其自有资金，该等资金投资于本次战略配售符合其关于自有资金投资方向的相关规定且已履行完毕内外部决

策程序；承诺其为本次配售证券的实际持有人，不存在接受其他投资者委托或委托其他投资者参与本次战略配售的情形，不存在受托参与或者以本主体作为平台募资参与本次战略配售的情况；承诺其作为与发行人经营业务具有战略合作关系

或长期合作愿景的大型企业或其下属企业，参与本次战略配售的收益或损失最终由大型企业享有或承担；承诺获得本次配售的证券限售期限为自发行人首次公开

发行并上市之日起12个月，承诺不通过任何形式在限售期内转让所持有本次配售的证券；承诺其作为参与战略配售的投资者，不参与本次公开发行证券网上发行和网下发行。

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并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

根据上述承诺函并经核查，本所律师认为，拓荆科技、中微临港、屹唐股份、长存鸿图、中电科投资、电控产投、富创精密、豪威集团作为与发行人经营业务

具有战略合作关系或长期合作愿景的大型企业或其下属企业，符合《管理办法》

第二十一条和《首发承销细则》第四十条关于参与战略配售的投资者的配售资格和配售条件相关规定。

三、本次战略配售不存在相关禁止性情形经核查，发行人已出具《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司关于首次公开发行股票并在科创板上市参与战略配售的投资者核查之承诺函》（以下简称“《发行人承诺函》”）。

根据《发行人承诺函》和参与战略配售的投资者出具的承诺函并经本所律师核查，本次战略配售不存在《首发承销细则》第四十二条第（一）项“发行人和主承销商向参与战略配售的投资者承诺上市后股价将上涨，或者股价如未上涨将由发行人购回证券或者给予任何形式的经济补偿”的情形；本次战略配售不存在《首发承销细则》第四十二条第（二）项“主承销商以承诺对承销费用分成、介绍参与其他发行人战略配售等作为条件引入参与战略配售的投资者”的情形；本次战略配售不存在《首发承销细则》第四十二条第（三）项“发行人上市后认购参与战略配售的投资者管理的证券投资基金”的情形；本次战略配售不存在《首发承销细则》第四十二条第（四）项“发行人承诺在参与战略配售的投资者获配证券的限售期内，委任与该投资者存在关联关系的人员担任发行人的董事、监事及高级管理人员，但发行人的高级管理人员与核心员工设立专项资产管理计划参与战略配售的除外”的情形；本次战略配售不存在《首发承销细则》第四十二条

第（五）项“除本细则第四十一条第三项规定的情形外，参与战略配售的投资者使用非自有资金认购发行人证券，或者存在接受其他投资者委托或委托其他投资者参与本次战略配售的情形”的情形；本次战略配售不存在《首发承销细则》第

四十二条第（六）项“其他直接或间接进行利益输送的行为”的情形。

基于上述，本所律师认为，发行人和主承销商向中证投资、恒运昌员工资管计划、拓荆科技、中微临港、屹唐股份、长存鸿图、中电科投资、电控产投、富

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并在科创板上市参与战略配售的投资者核查事项的法律意见

创精密、豪威集团战略配售证券不存在《首发承销细则》第四十二条规定的禁止性情形。

四、结论综上所述，本所律师认为，本次发行参与战略配售的投资者符合《首发承销细则》第四十一条关于参与发行人战略配售的投资者选取标准的规定；中证投资、

恒运昌员工资管计划、拓荆科技、中微临港、屹唐股份、长存鸿图、中电科投资、

电控产投、富创精密、豪威集团作为战略配售对象符合《管理办法》第二十一条、

第二十三条和《首发承销细则》第四十条和第四章关于参与战略配售的投资者的

配售资格相关规定，具备战略配售资格；发行人和主承销商向中证投资、恒运昌员工资管计划、拓荆科技、中微临港、屹唐股份、长存鸿图、中电科投资、电控

产投、富创精密、豪威集团战略配售证券不存在《首发承销细则》第四十二条规定的禁止性情形。