证券代码：688785证券简称：恒运昌

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

投资者关系活动记录表

编号：2026-008

?特定对象调研□分析师会议

□媒体采访□业绩说明会

投资者关系活动□新闻发布会□路演活动

类别□现场参观

□其他（请文字说明其他活动内容）

华西证券、施罗德 (Schroder)、开源证券、平安证券、香元基金、

参与机构名称金鹰基金、长城基金、博普资产、远望角投资、天风证券、和沣资

产、恒昇投资、申万宏源、颐和久富（此排名不分先后）

时间2026年5月12日、2026年5月15日

地点 深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋公司接待人员董事会秘书庄丽华姓名投资者关系专员郝一骏

1.请介绍一下公司2025年度及2026年一季度的业绩情况

投资者关系活动回答：2025年公司实现营业收入约5.29亿元，同比下滑2.09%。下主要内容介绍滑原因主要是半导体行业具有周期波动的特性，下游半导体设备客户的采购量需依据自身承接的晶圆厂订单数量、产品验证导入进度

及交付验收节奏动态调整，进而导致对公司的采购呈现波动。2025年公司实现归属于上市公司股东的净利润约1.14亿元，同比下滑约

19.57%，主要原因是持续加大较高水平的研发投入，提高技术指标要求，推进新产品开发、产品持续升级迭代等，不断加强产品竞争力，研发费用较上年同期大幅增加所致。2026年一季度，公司实现营业收入1.24亿元，同比下降12.08%，原因延续2025年年底以来的情况；公司实现归属于上市公司股东的净利润1758.28万元，与上年同期相比减少，主要系公司全面提升公司运营管理，并持续推进研发投入和各类型人才引进；同时政府补助相对去年同期减少，且公司按照会计准则要求计提相应的资产减值损失所致。

2.请介绍一下公司2025年主营业务收入分产品情况

回答：公司2025年的主营业务收入按产品分类为三大板块。来自自研产品的收入约4.15亿元，占营收比例为78.38%；来自引进产品的收入约0.87亿元，占营收比例为16.36%；来自技术服务的收入约

0.28亿元，占营收比例为5.27%。

3.请介绍一下公司在手订单及客户拓展情况

回答：截至公司2025年年度报告披露日，公司持有尚未交付的在手订单共约1.57亿元。公司将充分发挥研发和技术优势，结合市场发展前景和客户需求，不断进行新产品的研发设计，结合公司丰富的技术和生产经验，积极响应拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、北京屹唐等行业头部半导体设备商需求，加快推动更先进工艺制程等离子体射频电源系统的产业化应用，为客户提供性能更优、可靠性更高的产品，推进公司长期稳定发展。同时，公司还将积极推动主营业务产品向光伏、显示面板、精密光学等领域的拓展，通过内生研发等方式，不断提升公司产品性能与质量，并拓宽公司产品品类，助力公司长期稳定发展。

4.请介绍一下公司的研发投入情况

回答：公司一直以来高度重视研发工作，结合行业发展趋势和客户需求持续推进技术创新，不断加大研发投入，报告期内，公司研发投入金额达到8015.92万元，同比增长45.01%，研发投入占营业收入比例达15.14%。报告期内，公司不断通过内生研发优化现有产品并拓宽产品品类，不断完善研发管理机制和创新激励机制，优化研发环境；同时，密切追踪最新的技术及发展趋势，开展对先进技术、先进工艺的研究，为技术突破和产品升级提供重要的基础和保障。

5.请介绍一下公司的技术服务业务

回答：公司技术服务主要系为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务。等离子体射频电源系统在晶圆厂使用过程中会出现老化、故障等问题，需要及时进行更换或维修。国内主要晶圆厂被列入实体清单后，无法继续向原海外设备供应商采购备件或申请维修服务，公司为此承接了进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修业务。

6.请介绍一下公司产品上游元器件的情况

回答：公司等离子体射频电源系统等自研产品所使用的主要原材料

包括电容、电阻、芯片等电子元器件、功率模块等电气件以及钣金件等结构件。公司在研发过程中结合技术参数、客户要求、物料来源等因素综合考量原材料的选型，通过有针对性地研发设计调整，不断提高产品的性能和品质。自2021年开始，公司先后在上游采购中实现了真空电容、陶瓷电容、MCU 以及 SiC MOS、LDMOS、部分

ADC 和 FPGA 等元器件的国产化应用。

7.请介绍一下公司的盈利模式和销售模式

回答：公司主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、

等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售，通过向半导体、光伏、显示面板、其他工业等领域的客户销售以等离子体射频电

源系统为代表的自研产品，以及引进真空泵、质量流量计等真空获得和流体控制相关的核心零部件，同时公司为晶圆厂和设备商提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务，以此实现收入和利润。公司产品销售采取直销模式，公司向下游客户直接销售与设备配套的等离子体射频电源系统等自研产品，以及真空泵、质量流量计等引进产品。

8.请介绍一下公司募投项目的进度

回答：公司产能已连续三年超负荷运行，2025年公司的产能利用率达到98.51%，公司将通过扩产和生产流程优化等方式提升产能，包括积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设与正式运营，助力其由试产到正式投产；同时，公司将新增全资子公司恒运昌京昇半导体科技（北京）有限公司（简称北京恒运昌）、上海恒运昌、武汉恒运昌、合肥恒运昌作为募投项目“营销及技术支持中心项目”的实施主体。北京恒运昌已处于正式运营阶段，上海恒运昌、武汉恒运昌、合肥恒运昌处于前期准备阶段。公司也将尽快推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目及研发与前

沿技术创新中心项目的建设，持续推进产能及研发水平的提升。公司将密切关注行业发展趋势及市场需求变化，在确保项目质量与预期效益的前提下，加快推进募投项目建设。

9.请介绍一下公司目前的人才培育制度

回答：公司根据业务发展需求，制定短期、中期和长期相结合的人力资源规划，建立、健全公司科学化、规范化的人力资源管理系统，全面提升员工素质及公司管理水平与业务水平。公司根据未来技术发展规划和现有人才储备状况，将不断加强人才队伍的建设工作，通过各种方式重点激励在技术研发、产品创新、专利申请等方面

做出贡献的研发人才。公司还将持续引进各类专业人才，包括招募更多具备前瞻性、共性基础技术研究能力的技术人才，注重国内外高端专业技术人才、各领域高端管理人才的引进，优化人才结构。

公司将进一步加强人才梯队建设，坚持内部培养和外部招聘相结合的战略方针，加大人力资源成本投入，优化并完善更具竞争力的薪酬福利体系，吸引更多优秀人才，打造一流的人才队伍，满足公司快速发展的需要。截至公司2025年年报披露之日，公司计划引进海外高端人才。此外，公司还将进一步扩大与有关高校科研院所的合作，以实训基地、校外实验室、联合实验室、研究生联合培养站点等为载体，丰富产、学、研、训多种合作模式，内外并举，实现公司未来可持续发展。

10.请介绍一下中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统市场规

模

回答：根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场规模达65.6亿元，未来中国大陆半导体行业等离子体射频电源市场规模将继续快速增长，2025-2029年复合增长率预计为15.6%。

以上如涉及公司所处行业发展趋势、公司发展规划等相关内容，不代表公司或公司管理层对行业发展、公司发展或业绩的预测和承诺，不构成公司或公司管理层对投资者的实质性承诺，敬请广大投资者注意投资风险。