目录

一、以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的鉴证报告…第1—2页

二、以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的专项说明…第3—5页

三、附件………………………………………………………………第6—9页

（一）本所执业证书复印件………………………………………第6页

（二）本所营业执照复印件………………………………………第7页

（三）本所注册会计师执业证书复印件………………………第8-9页关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的鉴证报告

天健审〔2026〕3-229号

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司全体股东：

我们鉴证了后附的深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称恒运昌公司）管理层编制的《以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的专项说明》。

一、对报告使用者和使用目的的限定本鉴证报告仅供恒运昌公司为以募集资金置换预先投入募投项目及支付发

行费用的自筹资金之目的使用，不得用作任何其他目的。

二、管理层的责任恒运昌公司管理层的责任是提供真实、合法、完整的相关资料，按照《上市公司募集资金监管规则》（证监会公告〔2025〕10号）和《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作（2025年5月修订）（》上证发〔2025〕69号）的要求编制《以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的专项说明》，

并保证其内容真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏。

三、注册会计师的责任我们的责任是在实施鉴证工作的基础上对恒运昌公司管理层编制的上述说明独立地提出鉴证结论。

第1页共9页四、工作概述我们按照中国注册会计师执业准则的规定执行了鉴证业务。中国注册会计师执业准则要求我们计划和实施鉴证工作，以对鉴证对象信息是否不存在重大错报获取合理保证。在鉴证过程中，我们实施了包括核查会计记录等我们认为必要的程序。我们相信，我们的鉴证工作为发表意见提供了合理的基础。

五、鉴证结论我们认为，恒运昌公司管理层编制的《以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的专项说明》符合《上市公司募集资金监管规则》（证监会公告〔2025〕10号）和《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作

（2025年5月修订）》（上证发〔2025〕69号）的规定，如实反映了恒运昌公司以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的实际情况。

天健会计师事务所（特殊普通合伙）中国注册会计师：

中国·杭州中国注册会计师：

二〇二六年四月二十五日

第2页共9页深圳市恒运昌真空技术股份有限公司以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的专项说明

根据《上市公司募集资金监管规则》（证监会公告〔2025〕10号）和《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作（2025年5月修订）》（上证发〔2025〕

69号）的规定，将本公司以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的具体情况专项说明如下。

一、募集资金基本情况根据中国证券监督管理委员会《关于同意深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕2671号），本公司由主承销商中信证券股份有限责任公司采用向参与战略配售的投资者定向配售、网下向符合条件的投资者询价配售、

网上向持有上海市场非限售 A 股股份和非限售存托凭证市值的社会公众投资者定价发行

相结合的方式发行人民币普通股（A股）股票 16930559 股，每股面值 1元，发行价为每股人民币92.18元，募集资金总额为1560658928.62元。坐扣承销及保荐费

113110078.58元(其中实际不含税承销及保荐费为117110078.58元，前期已预付

4000000.00元)后的募集资金为1447548850.04元，已由主承销商中信证券股份有限

责任公司于2026年1月22日汇入贵公司在招商银行深圳宝安中心区支行开立的账号为

755950485310008的人民币账户内。另扣除律师费、审计及验资费、用于本次发行的信息

披露费等其他发行费用29791264.42元后，贵公司本次募集资金净额1413757585.62元。上述募集资金到位情况业经天健会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并由其出具《验资报告》（天健验〔2026〕3-9号）。

二、发行申请文件承诺募集资金投资项目情况

本公司《首次公开发行股票招股说明书》披露的募集资金项目及募集资金使用计划如

下：

第3页共9页金额单位:人民币万元募集资金项目备案项目名称总投资额资产投资其他投资额或核准文号沈阳半导体射频电源沈浑审批备字

16573.2414000.0015388.031185.21

系统产业化建设项目（2024）115号半导体与真空装备核深宝安发改备案

心零部件智能化生产69696.9669000.0066223.413473.55

（2025）638号运营基地项目研发与前沿技术创新深宝安发改备案

36267.0735000.0028930.077337.00

中心项目（2024）1817号营销及技术支持中心深宝安发改备案

12378.8612000.0012378.86

项目（2025）626号

补充流动资金16900.0011375.7616900.00

合计151816.13141375.76110541.5141274.62

三、自筹资金预先投入募集资金投资项目情况

截至2026年2月28日，本公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的实际投资金额为5948.31万元，具体情况如下：

金额单位:人民币万元自筹资金实际投入金额占总投资的项目名称总投资额其

资产投资合计比例（%）他沈阳半导体射频电源系统产业化

16573.245948.315948.3135.89

建设项目半导体与真空装备核心零部件智

69696.96

能化生产运营基地项目

研发与前沿技术创新中心项目36267.07

营销及技术支持中心项目12378.86

补充流动资金16900.00

合计151816.135948.315948.313.92

四、自筹资金预先支付发行费用情况

截至2026年2月28日，本公司以自筹资金预先支付发行费用金额为595.26万元，具体情况如下：

第4页共9页本复印件仅供深圳市恒运昌真空技术股份有限公司天健审〔2026〕3-229号报告后附之用，证明天健会计师事务所（特殊普通合伙）具有合法执业资质，他用无效且不得擅自外传。

第6页共9页本复印件仅供深圳市恒运昌真空技术股份有限公司天健审〔2026〕3-229号报告后附之用，证

明天健会计师事务所（特殊普通合伙）合法经营，他用无效且不得擅自外传。

第7页共9页本复印件仅供深圳市恒运昌真空技术股份有限公司天健审

〔2026〕3-229号报告后附之用，证明康雪艳是中国注册会计师，他用无效且不得擅自外传。

第8页共9页本复印件仅供深圳市恒运昌真空技术股份有限公司天健审

〔2026〕3-229号报告后附之用，证明孙惠是中国注册会计师，他用无效且不得擅自外传。