证券代码：688785证券简称：恒运昌

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

投资者关系活动记录表

编号：2026-001

?特定对象调研□分析师会议

□媒体采访□业绩说明会

投资者关系活动□新闻发布会□路演活动

类别□现场参观

□其他（请文字说明其他活动内容）

博时基金、宝盈基金、摩根士丹利基金、易方达基金、Point72、大家

参与机构名称资产、嘉实基金、华西基金、盘京投资、兴业基金、国联基金、大成基

金、中信证券、东吴证券、华金证券、开源证券时间2026年2月4日

地点 深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋

董事、战略发展总监刘涛公司接待人员董事会秘书庄丽华姓名投资者关系专员郝一骏证券事务专员程懿萌

1.问题：公司2025年度的营业收入情况是怎样的？

回答：公司招股书已披露2025年度业绩预计；公司2025年度的营业投资者关系活动收入情况以公司最终披露的2025年年报及审计报告为准。

主要内容介绍

2.问题：公司与下游客户的合作进展如何？

回答：拓荆科技于2018年与公司开展等离子体射频电源系统的国产化

开发及验证工作，历经2年多的合作验证，公司产品于2020年下半年开始逐步批量交付拓荆科技。公司与拓荆科技合作范围不断扩展至PEALD 设备、HDPCVD 设备及先进封装的键合设备领域，相关设备目前均在持续推进等离子体射频电源系统的合作验证工作。此外，公司产品已实现批量交付中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等半导体设备商。公司正在为中微公司、微导纳米、北方华创、盛美上海的多种机型开发多款等离子体射频电源及匹配器。2025年上半年，公司还实现对屹唐股份、思锐智能和无锡邑文等细分领域头部客户的销售收入突破。公司还为国内多家晶圆厂开发多款原位替换等离子体射频电源及匹配器，客户结构持续多元化。

3.问题：公司目前的产品结构与产品技术水平是怎样的？

回答：公司主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵，自研产品具体包括等离子体射频电源系统（等离子体射频电源及匹配器）、等离子体激

发装置（远程等离子体源、射频离子源）、等离子体直流电源、配件（滤波器、阻抗调整器等），引进产品主要包括真空获得和流体控制分别所需的真空泵、质量流量计等核心零部件，同时还为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务。公司已构建了完善的技术体系，从测量、控制到架构形成了3大基石技术及8大产品化支撑技术，涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。历经十年，公司先后推出 CSL、Bestda、Aspen 三代产品系列，成功打破了美系两大巨头长达数十年在国内的垄断格局。公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。公司研发的最新一代等离子体射频电源系统Cedar系列产品，锚定更先进制程前沿领域，目前处于验证阶段。

4. 问题：公司产品远程等离子体源（RPS）的应用场景

回答:远程等离子体源是一种用于产生等离子体的装置，其特点是等离子体的产生腔与晶圆所在的反应腔隔离，故名“远程”。远程等离子体源常用于薄膜沉积后的反应腔清洗，也可以用于薄膜沉积，例如FCVD 或 PEALD。

5.问题：公司有自主研发真空泵及质量流量计的计划吗？

回答：真空泵与质量流量计均属于公司引进业务。公司已启动了质量流量计的自研工作，争取加快自研质量流量计的研发落地和出货，以引进业务带动自研产品的验证和销售。公司募投项目“研发与前沿技术创新中心项目”也将进行下一代等离子体射频电源及匹配器、电源

类新品、质量流量计、等离子体设备相关衍生产品等产品及技术的研究。

6.问题：公司产品的技术先进性如何？

回答：公司产品技术先进性获得了业界多家研究机构、半导体设备厂商的认可，包括获得国家工业信息安全发展研究中心出具的《科学技术成果评价报告》、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司出

具的《晶圆厂应用及核心技术水平认证报告》、广东省电源学会出具

的《科学技术成果鉴定证书》、拓荆科技的《关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司核心技术水平的评估》及《应用证明》、中微公司

的《恒运昌 Aspen 射频电源应用证明》、微导纳米、江苏鲁汶仪器

股份有限公司的《应用证明》。

7.问题：沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空

装备核心零部件智能生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心

项目发展方向分别是怎样的？

回答：“沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目”主要开展半导体

级等离子体射频电源系统产品的生产和销售，统筹区域内优势资源，健全总部与子公司之间的分工合作机制。项目在建设完成后，将进一步提升半导体级等离子体射频电源系统的生产能力，扩展公司在北方地区的业务服务范围，增加北方地区的客户覆盖深度。“半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目”、“研发与前沿技术创新中心项目”系在现有产品和核心技术的基础上，进一步丰富和拓展低频大功率等离子体射频电源、PVD 直流溅射电源、远程等离子体

源等产品，增加公司研发产品储备，并根据下游客户需求快速形成产品和解决方案，拓展光伏、显示面板、精密光学等领域的客户。同时，也将对现有产品的频率、功率覆盖范围进一步升级，与公司主营业务紧密相关。

8.问题：公司后续是否有出海计划？

回答：公司将加速推进境外业务拓展，拓展中国大陆以外的市场，包括优先组建中国台湾、欧洲的销售网络，布局相关地区客户，实现产品在中国大陆区域以外的销售，助力半导体设备核心零部件从“引进来”到“走出去”。