中信证券股份有限公司

关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

使用募集资金置换募投项目预先投入的

自筹资金及已支付发行费用的核查意见

中信证券股份有限公司（以下简称“中信证券”或“保荐人”）作为深圳市

恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”或“公司”）首次公开发行股票并在科创板上市持续督导阶段的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法规，对恒运昌使用募集资金置换募投项目预先投入的自筹资金及已支付发行费用的

事项进行了审慎核查，发表意见如下：

一、募集资金的基本情况根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕2671号），并经上海证券交易所审核同意，公司首次公开发行人民币普通股（A 股）1693.0559 万股，发行价格92.18元/股，募集资金总额为156065.89万元人民币，扣除本次发行费用（不含增值税）14690.13万元人民币后，募集资金净额为人民币141375.76万元。

上述资金已全部到位，经天健会计师事务所（特殊普通合伙）审验并于2026年1月22日出具了《验资报告》（天健验〔2026〕3-9号）。公司及子公司已根据相关法律法规、规范性文件的规定，与保荐人及存放募集资金的商业银行签署了募集资金专户监管协议，对募集资金采取专户储存管理。

二、募集资金投资项目的基本情况根据《深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》，公司本次募集资金投资项目及募集资金使用计划如下：

1单位：万元

序拟使用募集资项目内容项目投资总额号金金额

1沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目16573.2414000.00

半导体与真空装备核心零部件智能化生产运

269696.9669000.00

营基地项目

3研发与前沿技术创新中心项目36267.0735000.00

4营销及技术支持中心项目12378.8612000.00

5补充流动资金16900.0016900.00

合计151816.13146900.00

注：由于公司扣除发行费用后，公司本次募集资金净额为人民币141375.76万元，募集资金净额低于募集资金承诺投资总额，因此公司对补充流动资金项目的投资金额进行了相应的调整，补充流动资金项目调整后的投资总额为人民币11375.76万元，拟使用募集资金金额为人民币11375.76万元。

三、以自筹资金预先投入募投项目和已支付发行费用的情况及置换安排

（一）以自筹资金预先投入募投项目的情况及置换安排

募集资金到位前，为顺利推进募投项目建设，公司根据项目进度的实际情况，使用自筹资金对募投项目进行了预先投入。截至2026年4月15日，公司以自筹资金预先投入募投项目的实际投资额为5948.31万元，公司将进行置换。本次置换具体情况如下：

2单位：万元

序拟投入募集资金金额自筹资金预先拟置换金募投项目名称号（调整后）投入金额额沈阳半导体射频电源系统产

114000.005948.315948.31

业化建设项目半导体与真空装备核心零部

269000.00--

件智能化生产运营基地项目研发与前沿技术创新中心项

335000.00--

目

4营销及技术支持中心项目12000.00--

5补充流动资金11375.76--

合计141375.765948.315948.31

（二）以自筹资金预先支付发行费用情况及置换安排

在募集资金到位前，公司先行以自筹资金支付发行费用，截至2026年4月

15日，公司已用自筹资金支付发行费用金额为595.26万元（不含增值税），公司

将使用募集资金进行等额置换。具体情况如下：

单位：万元序发行费用金额（不含增以自筹资金已支付金额本次置换项目名称号值税）（不含增值税）金额

1承销及保荐费用11711.01400.00400.00

2审计及验资费用1518.0095.0095.00

3律师费用874.0851.8951.89

4信息披露费用538.68--

发行手续费及其

548.3748.3748.37

他费用

合计14690.13595.26595.26

注：上述数据如存在尾差，系四舍五入所致。

（三）募集资金置换总额公司本次使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资

金总额为6543.57万元，其中，置换已预先投入募投项目的自筹资金金额为5948.31万元，置换已支付发行费用的自筹资金金额为595.26万元（不含增值税）。天健会计师事务所（特殊普通合伙）已对上述以自筹资金预先投入募投项目和已支付发行费用的情况进行了鉴证，并出具了《关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的鉴证报告》（天健

3审〔2026〕3-229号）。

四、已履行的审批程序

（一）审计委员会审议情况

公司于2026年4月25日召开第一届董事会审计委员会第十三次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换募投项目预先投入的自筹资金及已支付发行费用的议案》。审计委员会认为：公司本次使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金事项已履行了必要的审议程序，置换时间距募集资金到账时间不超过6个月，未改变募集资金用途，不影响募集资金投资计划的正常进行，不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形；符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定，相关决策和审议程序合法、合规。因此，董事会审计委员会同意此事项并提交董事会审议。

（二）董事会审议情况公司于2026年4月25日召开第一届董事会第十五次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换募投项目预先投入的自筹资金及已支付发行费用的议案》，同意公司使用募集资金置换预先投入募投项目的自筹资金5948.31万元和预先

支付的发行费用595.26万元（不含增值税）。公司本次募集资金置换时间距募集资金到账时间未超过6个月，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规的要求。该事项无需提交股东会审议。

五、专项意见说明

（一）会计师事务所鉴证意见天健会计师事务所（特殊普通合伙）认为：恒运昌公司管理层编制的《以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的专项说明》符合《上市公司募集资金监管规则》（证监会公告〔2025〕10号）和《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作（2025年5月修订）》（上证发〔2025〕69号）的规定，如实反映了恒运昌公司以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的

4实际情况。

六、保荐人意见经核查，本保荐人认为：公司本次使用募集资金置换预先投入募投项目的自筹资金及已支付发行费用的事项已经公司董事会、董事会审计委员会审议通过，履行了必要的审批程序，且置换时间距募集资金到账时间未超过6个月，符合《上市公司募集资金监管规则》等相关法律法规的规定，内容及审议程序合法合规。本次募集资金置换行为不影响募投项目的正常实施，不存在改变或变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形。

综上，保荐人对公司使用募集资金置换募投项目预先投入的自筹资金及已支付发行费用的事项无异议。

（以下无正文）

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