智通财经APP获悉，11月14日，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司(简称：恒运昌)通过上交所科创板上市委会议。中信证券为其保荐机构，拟募资15.5亿元。

招股书显示，恒运昌是一家半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。

等离子体由于具有独特的光、热、电物理特性以及高活性、高能量的特点，为半导体精密制造提供了不可替代的工艺基础。如今等离子体工艺广泛应用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等芯片制造的重要环节，并随着先进封装技术的发展应用于更多工艺环节中。

根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场规模为 65.6 亿元，其中国产化率不足12%。2024年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，恒运昌的市场份额位列第一，市场地位领先。

公司自主研发的第二代产品Bestda系列等离子体射频电源系统可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列等离子体射频电源系统可支撑7-14 纳米制程。公司产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际、长江存储等国内晶圆厂。

报告期内，公司收入主要来自于半导体设备行业，公司前五大客户产生的收入占主营业务收入的比例分别为73.54%、80.39%、90.62%及89.37%，其中，公司向第一大客户拓荆科技的销售收入占比分别为 45.23%、58.16%、63.13%及 62.06%，客户集中度较高。

实际控制人方面，此次发行前，乐卫平直接持有恒运昌 23.0866%的股份表决权，并通过恒运昌投资、投资中心、投资发展中心分别间接控制恒运昌 25.8179%、20.7787%和 3.1895%的股份表决权，合计控制恒运昌72.8727%的股份表决权。

公司发行募集资金扣除发行费用后

财务方面，于2022年度、2023年度、2024年度以及2025年1-6月，恒运昌实现营业收入约为1.58亿元、3.25亿元、5.41亿元、3.04亿元人民币;同期，净利润为2618.79万元、7982.73万元、1.42亿元、6934.76万元人民币。