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华工科技:12英寸高端晶圆激光加工装备已导入头部客户

九方智讯 07-29 15:27

7月7日有投资者向华工科技(000988)提问:晶圆厂扩产潮的大背景下,请问贵司的晶圆切割设备是否已经批量出货?

7月29日公司回答表示:投资者您好,面向第三代化合物半导体领域,公司通过自主研发+产业链合作的形式,开发了覆盖前、后道制程的10套装备,包括晶圆表面切割智能装备、晶圆隐形切割智能装备、晶圆改质智能装备、全自动晶圆退火装备、晶圆衬底及外延量测装备等产品。目前,公司自主研发的12英寸高端晶圆激光加工装备已成功导入半导体行业头部客户。感谢您对公司的关注。

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