结论与建议：

伴随中美贸易摩擦升级，先进制程的产能问题已经成为制约中国AI 产业发展的最核心问题，因此我们预计2H25 开始，中国半导体产业有望迎来先进工艺扩张的结构性契机。公司作为国内半导体设备平台型公司，承载中国半导体产业崛起的希望，有望在中国发展先进制程的过程中受益。目前股价对应2025-27 年PE 分别为32 倍、23 倍和18 倍，给予买进评级。

中美科技脱钩，半导体先进制程需求迫切：美国持续施压中国半导体产业，继今年禁运H20 后，近期BIS 又进一步限制三大EDA 厂商对于中国企业的服务支持。因此，短期来看，中国在高阶GPU 产品、存储产品的需求缺口或被放大，而国产芯片受制于先进制程产能不足难以迅速填补需求，因此我们预计2H25 开始，中国半导体产业有望迎来新一轮先进工艺产能扩张。公司作为国内半导体设备平台型公司，承载中国半导体产业崛起的希望，有望在中国发展先进制程的过程中受益。

收购芯源微，补强涂胶显影短板：公司支付32 亿元收购芯源微17.9%的股权（按6.25 收盘价计算该部分市值约38 亿元），收购价格相对较低，目前已成为芯源微第一大股东及实际控制人。通过该收购，公司补强涂胶显影、清洗设备领域的短板，提升行业竞争力，长期影响正面。

1Q25 保持高增长：得益于成熟产品市占率的稳步提升，同时等离子体刻蚀设备（CCP）、原子层沉积设备（ALD）等多款新产品实现关键技术突破，1Q25 公司实现营收82 亿元，YOY 增长37.9%；实现净利润15.8亿元，YOY 增长38.8%，QOQ 增长36.4%，业绩保持高速增长态势。

盈利预测：考虑到对于芯源微股权的收购带来的利润贡献，我们上调今明两年盈利预测5.3%和4.5%。预计公司2025-27 年净利润74.1 亿元、99.8 亿元和128 亿元，YOY 增长32%、增长35%和增长28%，EPS13.88元、18.69 元和23.99，目前股价对应2025-27 年PE 分别为32 倍、23倍和18 倍，给予买进的评级。

风险提示：科技摩擦加剧致使晶圆厂需求下降