北方华创科技集团股份有限公司

募集资金存放、管理与实际使

用情况审核报告

大信专审字[2026]第1-01208号

大信会计师事务所（特殊普通合伙）

WUYIGE CERTIFIED PUBLIC ACCOUNTANTS LLP.大信会计师事务所 WUYIGE Certified Public Accountants.LLP 电话 Telephone：+86（10）82330558

北京市海淀区知春路 1 号 Room 2206 22/F Xueyuan International Tower 传真 Fax： +86（10）82327668

学院国际大厦 22 层 2206 No.1 Zhichun Road Haidian Dist. 网址 Internet： www.daxincpa.com.cn

邮编 100083 Beijing China 100083

募集资金存放、管理与实际使用情况审核报告

大信专审字[2026]第1-01208号

北方华创科技集团股份有限公司全体股东：

我们接受委托，对后附的北方华创科技集团股份有限公司（以下简称“北方华创集团”）《2025年度募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告》（以下简称“募集资金存放、管理与实际使用情况专项报告”）进行了审核。

一、董事会的责任

按照中国证券监督管理委员会《上市公司募集资金监管规则》等文件的规定编制募集资

金存放、管理与实际使用情况专项报告，并保证其内容真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏是北方华创集团董事会的责任。

二、注册会计师的责任

我们的责任是在实施审核工作的基础上对北方华创集团编制的募集资金存放、管理与实际使用情况专项报告发表审核意见。我们按照《中国注册会计师其他鉴证业务准则第3101号—历史财务信息审计或审阅以外的鉴证业务》的规定执行了审核业务。该准则要求我们计划和实施审核工作，以对北方华创集团编制的募集资金存放、管理与实际使用情况专项报告是否不存在重大错报获取合理保证。在审核过程中，我们实施了包括询问、检查有关资料与文件、抽查会计记录等我们认为必要的审核程序。我们相信，我们的审核工作为发表审核意见提供了合理的基础。

三、审核意见

- 1 -大信会计师事务所 WUYIGE Certified Public Accountants.LLP 电话 Telephone：+86（10）82330558

北京市海淀区知春路 1 号 Room 2206 22/F Xueyuan International Tower 传真 Fax： +86（10）82327668

学院国际大厦 22 层 2206 No.1 Zhichun Road Haidian Dist. 网址 Internet： www.daxincpa.com.cn

邮编 100083 Beijing China 100083

我们认为，北方华创集团编制的募集资金存放、管理与实际使用情况专项报告符合相关规定，在所有重大方面公允反映了2025年度募集资金存放、管理与实际使用的情况。

四、其他说明事项

本报告仅供北方华创集团年度报告披露时使用，不得用作其他目的。我们同意将本报告作为北方华创集团年度报告的必备文件，随其他文件一起报送并对外披露。因使用不当造成的后果，与执行本审核业务的注册会计师及会计师事务所无关。

大信会计师事务所（特殊普通合伙）中国注册会计师：

中国·北京中国注册会计师：

二〇二六年四月十七日

-2-北方华创科技集团股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告北方华创科技集团股份有限公司关于2025年度

募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告

根据中国证监会发布的《上市公司募集资金监管规则》、深圳证券交易所颁布的《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第1号——主板上市公司规范运作（2025年修订）》及相关公告

格式规定，北方华创科技集团股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）编制了2025年度募集资金存放与使用情况专项报告。

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金金额、资金到账时间根据中国证券监督管理委员会《关于核准北方华创科技集团股份有限公司非公开发行股票的批复》（证监许可[2019]1949号）核准，非公开发行人民币普通股（A股）32642401股，每股发行价为人民币61.27元，募集资金总额为人民币1999999909.27元，扣除各项发行费用

18676795.76元，实际募集资金净额为人民币1981323113.51元。

该次募集资金到账时间为2019年11月18日，募集资金到位情况已经中审亚太会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具中审亚太验字（2019）010631-2号验资报告。

根据中国证券监督管理委员会《关于核准北方华创科技集团股份有限公司非公开发行股票的批复》（证监许可[2021]2710号）核准，非公开发行人民币普通股（A股）27960526股，每股发行价为人民币304.00元，募集资金总额为人民币8499999904.00元，扣除各项发行费用

47913170.30元，实际募集资金净额为人民币8452086733.70元。

该次募集资金到账时间为2021年10月14日，募集资金到位情况已经中审亚太会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具中审亚太验字（2021）010990号验资报告。

（二）本年度使用金额及年末余额

1.2019年度非公开发行募集资金项目

截至2025年12月31日，本公司募集资金项目累计使用募集资金人民币1982232993.51元，其中：以前年度使用1978534181.34元，本年度使用3698812.17元。

公司本年度募集资金专户收到银行利息170439.08元，支出银行手续费530.00元，累计收到银行利息27984961.56元，累计支出银行手续费24140.79元。以前年度使用闲置募集资金暂时补-1-北方华创科技集团股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告

充流动资金金额为500000000.00元，已全部归还。截至2025年12月31日，公司募集资金专户余额为26368881.07元。

2.2021年度非公开发行募集资金项目

截至2025年12月31日，本公司募集资金项目累计使用募集资金人民币7198289675.06元，其中：以前年度使用6732662188.80元，本年度使用465627486.26元。

公司本年度募集资金专户收到银行利息3421511.33元，支出银行手续费241.55元，累计收到银行利息126408533.37元，支出银行手续费13403.32元。以前年度使用闲置募集资金暂时补充流动资金金额为7280000000.00元，已全部归还，本年度董事会批准闲置募集资金暂时补充流动资金金额为1250000000.00元。截至2025年12月31日，公司募集资金专户余额为

127317398.46元。

二、募集资金存放和管理情况

（一）募集资金管理情况

本公司已按照《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《上市公司证券发行管理办法》、《上市公司募集资金监管规则》、《深圳证券交易所股票上市规则》和《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第1号——主板上市公司规范运作（2025年修订）》及《北方华创科技集团股份有限公司募集资金管理办法》(以下简称“管理制度”)，对募集资金实行专户存储制度，对募集资金的存放、使用、项目实施管理、投资项目的变更及使用情况进行监督管理，保证资金的使用与募集说明书承诺一致。

（二）募集资金三方监管协议情况

1.2019年度非公开募集资金项目

（1）2019年11月，公司分别与保荐机构中信建投证券股份有限公司、中国民生银行股份有

限公司北京分行、北京农村商业银行股份有限公司朝阳支行、上海浦东发展银行股份有限公司

北京分行签订了《募集资金三方监管协议》，对募集资金实行专户存储。中国民生银行股份有限公司北京分行专项账户为631558756，北京农村商业银行股份有限公司朝阳支行专项账户为

0101000103000023178，上海浦东发展银行股份有限公司北京分行专项账户为

91090078801900001440。

（2）2019年12月，公司与北京华创博达电子有限公司、保荐机构中信建投证券股份有限公

-2-北方华创科技集团股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告

司、中信银行股份有限公司北京分行签订了《募集资金四方监管协议》，对募集资金实行专户存储。中信银行股份有限公司北京分行专项账户为8110701013101776174。

（3）2020年1月，公司分别与北京北方华创微电子装备有限公司、保荐机构中信建投证券

股份有限公司、中国农业银行股份有限公司北京经济技术开发区支行、中信银行股份有限公司

北京分行签订了《募集资金四方监管协议》，对募集资金实行专户存储。中国农业银行股份有限公司北京经济技术开发区支行专项账户为11220101040069015，中信银行股份有限公司北京分行专项账户为8110701012901773616。

（4）2020年2月，公司分别与北京北方华创微电子装备有限公司、保荐机构中信建投证券

股份有限公司、国家开发银行股份有限公司北京市支行、中国民生银行股份有限公司北京分行、

招商银行股份有限公司北京朝阳公园支行签订了《募集资金四方监管协议》，对募集资金实行专户存储。国家开发银行股份有限公司北京市支行专项账户为11001560003681370000，中国民生银行股份有限公司北京分行专项账户为631664545，招商银行股份有限公司北京朝阳公园支行专项账户为110921892710901。

2.2021年度非公开募集资金项目

（1）2021年11月，公司与保荐机构中信建投证券股份有限公司、招商银行股份有限公司北

京分行签订了《募集资金三方监管协议》，对募集资金实行专户存储。招商银行股份有限公司北京东三环支行专项账户为110905991910888。

（2）2021年11月，公司及子公司北京北方华创微电子装备有限公司分别与保荐机构中信

建投证券股份有限公司、中国民生银行股份有限公司北京分行、中信银行股份有限公司北京分

行、中国农业银行股份有限公司北京经济技术开发区分行、招商银行股份有限公司北京分行、华夏银行股份有限公司北京知春支行、国家开发银行北京市分行签订了《募集资金三方监管协议》，对募集资金实行专户存储。中国民生银行股份有限公司北京中关村支行专项账户为

633614158，中信银行股份有限公司北京酒仙桥支行专项账户为8110701012602171290，中国农业

银行股份有限公司北京经济技术开发区分行营业部专项账户为11220101040071797，招商银行股

份有限公司北京东三环支行专项账户为110921892710503，中信银行股份有限公司北京酒仙桥支

行专项账户为8110701013802171307，华夏银行股份有限公司北京知春支行专项账户为

10276000001112751，国家开发银行北京市分行专项账户为11001560004387620000。

（3）2021年11月，公司及子公司北京华创博达电子有限公司与保荐机构中信建投证券股份有限公司、上海浦东发展银行股份有限公司北京建国路支行签订了《募集资金三方监管协-3-北方华创科技集团股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告议》，对募集资金实行专户存储。上海浦东发展银行股份有限公司北京建国路支行专项账户为

91090078801100002358。

（三）募集资金专户存储情况

1.2019年度非公开募集资金项目

截至2025年12月31日，募集资金存放专项账户的存款余额如下(单位：人民币元)：

存放银行银行账户账号存款方式余额

上海浦东发展银行股份有限公司北京建国路支行91090078801900001440活期761857.55

北京农村商业银行股份有限公司朝阳支行0101000103000023178活期182875.57

中国民生银行股份有限公司北京新源里支行631558756活期272082.42

中国民生银行股份有限公司北京中关村支行631664545活期3434086.59

中信银行股份有限公司北京酒仙桥支行8110701012901773616活期38768.17

中国农业银行股份有限公司北京经济技术开发区支行11220101040069015活期17188081.77

招商银行股份有限公司北京朝阳公园支行110921892710901活期140077.74

国家开发银行股份有限公司北京市支行11001560003681370000活期4351051.26中信银行股份有限公司北京酒仙桥支行8110701013101776174活期

合计————26368881.07

2.2021年度非公开募集资金项目

截至2025年12月31日，募集资金存放专项账户的存款余额如下(单位：人民币元)：

存放银行银行账户账号存款方式余额

招商银行股份有限公司北京东三环支行110905991910888活期2321795.30

中国民生银行股份有限公司北京中关村支行633614158活期7693880.47

中信银行股份有限公司北京酒仙桥支行8110701012602171290活期109652.36中国农业银行股份有限公司北京经济技术开发区分行营业部11220101040071797活期

招商银行股份有限公司北京东三环支行110921892710503活期6260104.80

中信银行股份有限公司北京酒仙桥支行8110701013802171307活期51396.89

华夏银行股份有限公司北京知春支行10276000001112751活期6323.12

国家开发银行股份有限公司北京市支行11001560004387620000活期161760.79

上海浦东发展银行股份有限公司北京建国路支行91090078801100002358活期110712484.73

合计————127317398.46

三、本年度募集资金的实际使用情况

-4-北方华创科技集团股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告

（一）募集资金使用情况募集资金使用情况表详见本报告附件1。

（二）募集资金投资项目先期投入及置换情况

截至2019年12月31日，公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的实际投资额为人民币

284867554.45元，其中高端集成电路装备研发及产业化项目已投入229857609.18元，高精密电

子元器件产业化基地扩产项目已投入55009945.27元。募集资金到位后，公司以284867554.45元募集资金置换预先已投入募投项目的自筹资金。上述事项已经中审亚太会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具中审亚太审字（2019）010679号专项审核报告。2020年2月21日，公司第七届董事会第二次会议审议通过了《关于以募集资金置换预先已投入募集资金投资项目自筹资金的议案》，并于2020年3月23日前置换完毕。

截至2021年10月31日，公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的实际投资额为人民币505323466.50元，其中半导体装备产业化基地扩产项目（四期）已投入38878297.90元，高端半导体装备研发项目已投入464504668.60元，高精密电子元器件产业化基地扩产项目（三期）已投入1940500.00元。募集资金到位后，公司以505323466.50元募集资金置换预先已投入募投项目的自筹资金。上述事项已经中审亚太会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具中审亚太审字（2021）011090号专项审核报告。2021年12月10日，公司第七届董事会第十五次会议审议通过了《关于以募集资金置换预先已投入募集资金投资项目自筹资金的议案》，并于

2021年12月22日前置换完毕。

（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况2020年7月23日，公司第七届董事会第六次会议审议通过了《关于全资子公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司使用闲置募集资金不超过50000万元暂时补充流动资金，使用期限为自董事会审议通过之日起不超过12个月。截至2021年5月31日，已全部归还。

2021年12月10日，公司第七届董事会第十五次会议审议通过了《关于全资子公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司使用闲置募集资金不超过250000万元暂时补充流动资金，使用期限为自董事会审议通过之日起不超过12个月。截至2022年10月18日，已全部归还。

-5-北方华创科技集团股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告2022年10月28日，公司第七届董事会第二十五次会议审议通过了《关于全资子公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司使用闲置募集资金不超过250000万元暂时补充流动资金，使用期限为自董事会审议通过之日起不超过12个月。截至2023年10月13日，已全部归还。

2023年10月30日，公司第八届董事会第七次会议审议通过了《关于全资子公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司使用闲置募集资金不超过120000万元暂时补充流动资金，使用期限为自董事会审议通过之日起不超过12个月。使用期限内补充流动资金98000万元，截至2024年10月08日，已全部归还。

2024年10月29日，公司第八届董事会第十七次会议审议通过了《关于全资子公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司使用闲置募集资金不超过130000万元暂时补充流动资金，使用期限为自董事会审议通过之日起不超过12个月。截至2025年10月17日，已全部归还。

2025年10月30日，公司第八届董事会第二十八次会议审议通过了《关于全资子公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司使用闲置募集资金125000万元暂时补充流动资金，使用期限为自董事会审议通过之日起不超过12个月。截至2025年12月31日，已补充流动资金125000万元。

（四）项目实施出现募集资金结余的金额及原因

截至2022年6月30日，北京华创博达电子有限公司已将高精密电子元器件产业化基地扩产项目的账户注销，账户剩余金额（含利息收入）共4098.87元，扣除手续费后结余4094.37元已转入北京华创博达电子有限公司基本户。

四、改变募集资金投资项目的资金使用情况

本公司2025年度募集资金投资项目未发生变更，也无对外转让或置换的情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

本公司董事会认为本公司已按中国证监会《上市公司募集资金监管规则》、深圳证券交易所颁布的《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第1号——主板上市公司规范运作（2025-6-北方华创科技集团股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告年修订）》的相关规定及公告格式要求及时、真实、准确、完整地披露了本公司募集资金的

存放及使用情况，不存在募集资金管理违规的情况。本公司对募集资金的投向和进展情况均如实履行了披露义务。

附件：1.募集资金使用情况对照表北方华创科技集团股份有限公司

二〇二六年四月十七日

-7-北方华创科技集团股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告

附表1：

募集资金使用情况对照表

单位：人民币万元

募集资金总额1049999.98本年度投入募集资金总额46932.63报告期内变更用途的募集资金总额

累计变更用途的募集资金总额已累计投入募集资金总额918052.27累计变更用途的募集资金总额比例截至期末投入进

承诺投资项目和超募是否已变更项目募集资金承调整后投本年度投截至期末累计%项目达到预定可使本年度实是否达到项目可行性是否(1)(2)度（）(3)＝资金投向（含部分变更）诺投资总额资总额入金额投入金额用状态日期现的效益预计效益发生重大变化

(2)/(1)承诺投资项目

1.高端集成电路装备

否176238.02176238.02369.88176351.64100.062023年12月31日55973.32是否研发及产业化项目

2.高精密电子元器件

否21782.2321782.2321871.66100.412021年12月31日8657.06是否产业化基地扩产项目

3.半导体装备产业化基地扩产项目（四否348339.00348339.0012501.73228318.5865.542025年12月31日82393.25是否期）

4.高端半导体装备研

否241420.00241420.0022755.54244069.82101.10——不适用不适用否发项目

5.高精密电子元器件

产业化基地扩产项目否73403.2373403.2311305.4864991.3088.542024年12月31日13057.41是否

（三期）

-8-北方华创科技集团股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告

6.补充上市公司流动

否181758.96181758.96182449.27100.38——不适用不适用否资金

承诺投资项目小计——1042941.441042941.4446932.63918052.27————160081.04————超募资金投向超募资金投向小计

合计——1042941.441042941.4446932.63918052.27————160081.04————

未达到计划进度或预计收益的情况和原因（分具体项目）不适用项目可行性发生重大变化的情况说明不适用

超募资金的金额、用途及使用情况进展不适用募集资金投资项目实施地点变更情况不适用募集资金投资项目实施方式调整情况不适用

截至2019年12月31日，公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的实际投资额为人民币284867554.45元，其中高端集成电路装备研发及产业化项目已投入229857609.18元，高精密电子元器件产业化基地扩产项目已投入55009945.27元。募集资金到位后，公司以284867554.45元募集资金置换预先已投入募投项目的自筹资金。上述事项已经中审亚太会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具中审亚太审字（2019）010679号专项审核报告。2020年2月21日，公司第七届董事会第二次会议审议通过了《关于以募集资金置换预先已投入募集资金投资项目自筹资金的议案》，并于2020年3月23日前置换完毕。

募集资金投资项目先期投入及置换情况截至2021年10月31日，公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的实际投资额为人民币505323466.50元，其中半导体装备产业化基地扩产项目（四期）已投入38878297.90元，高端半导体装备研发项目已投入464504668.60元，高精密电子元器件产业化基地扩产项目（三期）已投入1940500.00元。募集资金到位后，公司以505323466.50元募集资金置换预先已投入募投项目的自筹资金。上述事项已经中审亚太会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具中审亚太审字（2021）011090号专项审核报告。2021年12月10日，公司第七届董事会第十五次会议审议通过了《关于以募集资金置换预先已投入募集资金投资项目自筹资金的议案》，并于2021年12月22日前置换完毕。

-9-北方华创科技集团股份有限公司募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告2020年7月23日，公司第七届董事会第六次会议审议通过了《关于全资子公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司使用闲置募集资金不超过50000万元暂时补充流动资金，使用期限为自董事会审议通过之日起不超过12个月，截至2021年5月31日，已全部归还。

2021年12月10日，公司第七届董事会第十五次会议审议通过了《关于全资子公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司使用闲置募集资金不超过250000万元暂时补充流动资金，使用期限为自董事会审议通过之日起不超过12个月。截至2022年10月18日，已全部归还。

2022年10月28日，公司第七届董事会第二十五次会议审议通过了《关于全资子公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司使用闲置募集资金不超过250000万元暂时补充流动资金，使用期限为自董事会审议通过之日起不超过12个月。截至2023年10月13日，已全部归还。

用闲置募集资金暂时补充流动资金情况2023年10月30日，公司第八届董事会第七次会议审议通过了《关于全资子公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司使用闲置募集资金不超过120000万元暂时补充流动资金，使用期限为自董事会审议通过之日起不超过12个月。使用期限内补充流动资金98000万元，截至2024年10月08日，已全部归还。

2024年10月29日，公司第八届董事会第十七次会议审议通过了《关于全资子公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司使用闲置募集资金不超过130000万元暂时补充流动资金，使用期限为自董事会审议通过之日起不超过12个月。截至2025年10月17日，已全部归还。

2025年10月30日，公司第八届董事会第二十八次会议审议通过了《关于全资子公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司使用闲置募集资金125000万元暂时补充流动资金，使用期限为自董事会审议通过之日起不超过12个月。截至2025年12月31日，已补充流动资金125000万元。

用闲置募集资金进行现金管理情况不适用

截至2022年6月30日，北京华创博达电子有限公司已将高精密电子元器件产业化基地扩产项目的账户注销，账户剩余金额项目实施出现募集资金结余的金额及原因（含利息收入）共4098.87元，扣除手续费后结余4094.37元已转入北京华创博达电子有限公司基本户。

尚未使用募集资金用途及去向募集资金账户募集资金使用及披露中存在的问题或其他情况无