中证报中证网讯据上交所网站消息，上海证券交易所上市审核委员会定于11月14日召开2025年第54次上市审核委员会审议会议。届时将审议深圳市恒运昌真空技术股份有限公司(简称“恒运昌”)的首发事项。招股书显示，恒运昌是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，公司半导体级等离子体射频电源系统目前已实现大规模收入，产品性能获得市场认可。

在半导体设备细分领域地位领先

招股书显示，恒运昌主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵，自研产品具体包括等离子体射频电源系统(等离子体射频电源及匹配器)、等离子体激发装置(远程等离子体源、射频离子源)、等离子体直流电源、配件(滤波器、阻抗调整器等)，引进产品主要包括真空获得、流体控制分别所需的真空泵、质量流量计等核心零部件;同时还为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务。根据《上海证券交易所科创板企业发行上市申报及推荐暂行规定》，公司所处行业属于“高端装备”，是国家重点鼓励、扶持的战略性新兴产业。

根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场规模为65.6亿元。中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场仍呈现海外巨头高度垄断的竞争格局。

恒运昌介绍，公司半导体级等离子体射频电源系统于2018年开始研发、2020年下半年开始批量交付，报告期内已实现大规模收入，产品性能获得市场认可。根据弗若斯特沙利文统计，2024年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，恒运昌的市场份额位列第一，市场地位领先。

截至报告期末，恒运昌拥有已授权发明专利108项，在申请发明专利133项。公司是国家高新技术企业、中国集成电路零部件创新联盟理事单位、国家专精特新重点“小巨人”、国家专精特新“小巨人”、广东省2024年制造业单项冠军。

研发创新驱动业绩高速增长

作为一家拟在科创板上市的“硬科技”，恒运昌在研发方面保持了较高强度的投入。招股书显示，过去三年，公司研发投入持续高增长，2022年至2024年研发投入分别达到2154.21万元、3696.37万元和5528万元，占营收比例均超10%。2025年上半年公司研发费用达4330.84万元，较上年同期增长72.63%。

恒运昌在招股书中表示，经过十多年的持续研发、不断创新和积累，公司以技术发展、行业需求为导向，围绕等离子体射频电源系统更快速、更精准、更稳定的应用要求和技术难点，构建了完善的技术体系，从测量、控制到架构形成了3大基石技术及8大产品化支撑技术，涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。

在核心产品方面，恒运昌聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关，历经十年，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了美系两大巨头MKS和AE长达数十年在国内的垄断格局。公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7至14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。

随着公司技术积累和持续的产品迭代，恒运昌近年来的营收和净利润实现高速增长。招股书显示，2022年至2024年，公司营业收入分别为15815.80万元、32526.85万元、54079.03万元，复合增长率为84.91%;归属于母公司股东的净利润分别为2618.79万元、7982.73万元、14154.02万元，复合增长率为131.87%。

面向未来，恒运昌表示，公司将抓住半导体产业链国产化的机遇，在国家政策大力支持下，持续致力于半导体设备核心零部件的研发生产，通过自主创新提高公司产品的技术先进性、丰富公司产品种类、扩大产品市场占有率。通过持续的技术创新与卓越的产品服务，公司致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司，并力争在未来跻身国际一流的半导体设备核心零部件全球供应商行列。