10月27日有投资者向聚光科技(300203)提问:你好!公司工业分析产品对光刻胶有用吗,且已进入了半导体光刻胶产业链吗,谢谢
10月31日公司回答表示:感谢您对公司的关注,公司推出的EXPEC 7350s型 ICP-MS/MS系统在半导体检测领域已成功构建覆盖高纯湿化学品、光刻胶、硅烷、晶圆体/表金属残留以及高纯石英材料等关键材料的痕量杂质分析检测整体解决方案体系,目前该技术平台已在产业链上游实现规模化应用。谢谢!
聚光科技:ICP-MS/MS系统用于半导体检测
九方智讯 2025-10-31
聚光科技 --%
10月27日有投资者向聚光科技(300203)提问:你好!公司工业分析产品对光刻胶有用吗,且已进入了半导体光刻胶产业链吗,谢谢
10月31日公司回答表示:感谢您对公司的关注,公司推出的EXPEC 7350s型 ICP-MS/MS系统在半导体检测领域已成功构建覆盖高纯湿化学品、光刻胶、硅烷、晶圆体/表金属残留以及高纯石英材料等关键材料的痕量杂质分析检测整体解决方案体系,目前该技术平台已在产业链上游实现规模化应用。谢谢!
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