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南大光电:扩产项目采用新技术提升纯度至5.5N

九方智讯 11-21 16:45

11月15日有投资者向南大光电(300346)提问:公司领导您好,请问贵公司5.5N级别高纯三氟化氮是否可以打破7nm以下国外特气垄断的局面?

11月21日公司回答表示:感谢您的关注!公司在建的“年产2000吨高纯电子级三氟化氮扩产项目”,计划采用全新技术工艺和生产装置,将三氟化氮纯度提升至5.5N,保障满足终端市场对芯片性能提升的高要求。

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