11月24日有投资者向精测电子(300567)提问：董秘您好，请问子公司北京精测半导体研发的准分子激光器，是否采用 Ar （氩） 和 F₂（氟气） 混合气体放电方案产生 193nm 深紫外激光？
11月27日公司回答表示：您好！北京精测半导体目前研发的准分子激光器未采用该技术路线。感谢您对公司的关注，谢谢！
精测电子：未采用该技术路线
九方智讯 11-27 17:23
精测电子 --%
11月24日有投资者向精测电子(300567)提问：董秘您好，请问子公司北京精测半导体研发的准分子激光器，是否采用 Ar （氩） 和 F₂（氟气） 混合气体放电方案产生 193nm 深紫外激光？
11月27日公司回答表示：您好！北京精测半导体目前研发的准分子激光器未采用该技术路线。感谢您对公司的关注，谢谢！
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