【精测电子：14nm先进制程工艺节点的明场缺陷检测设备已正式交付客户 正在顺利验收】11月27日电，精测电子在互动平台表示，在明场光学缺陷检测设备领域，公司目前已累计取得多台（套）正式订单，已实现小批量交付及验收。其中，14nm先进制程工艺节点的明场缺陷检测设备已正式交付客户，目前验收等相关工作进展顺利，设备运行情况良好；28nm制程工艺节点的明场缺陷检测设备已在客户端完成验收。明场光学缺陷检测设备等新产品，预计后续会成为公司业绩的核心驱动力。