晶瑞电材在互动平台表示，公司共有5台光刻机，分别用于紫外宽谱、g线、i线、KrF和ArF产品的研发以及量产，ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中，部分样品已开展客户送样验证工作。
晶瑞电材:ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中
第一财经 2024-07-22
晶瑞电材 --%
晶瑞电材在互动平台表示，公司共有5台光刻机，分别用于紫外宽谱、g线、i线、KrF和ArF产品的研发以及量产，ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中，部分样品已开展客户送样验证工作。
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