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国林科技:臭氧设备用于芯片清洗与薄膜沉积

九方智讯 11-27 08:39

11月13日有投资者向国林科技(300786)提问:公司2023年2月9日互动易回复:公司目前研制的光伏用高浓度臭氧水机主要用于生产HJT异质结类型电池板,主要在制绒,清洗和薄膜沉积工序应用。这是公司以前的回复风格,直接诚恳。请公司按照一致性原则,就公司目前研制的存储芯片用臭氧设备的具体技术工艺和使用场景进行介绍。谢谢!

11月27日公司回答表示:尊敬的投资者,您好。国林半导体所研制臭氧发生器以及各类功能水设备可应用于存储芯片制造工艺中的清洗与薄膜沉积环节。感谢您的关注。

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