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《半导体洁净室性能检测评价方法》团体标准发布 华康洁净参编

上海证券报 06-22 23:01

上证报中国证券网讯华康洁净6月22日发布消息称,近日,公司参与起草的《半导体洁净室性能检测评价方法》团体标准(T/CIET 2176—2025)正式发布。为半导体洁净室性能检测评价领域提供了系统性的标准,为行业树立了统一的技术标尺。

据介绍,这一团体标准规定了半导体洁净室性能评价的通用要求、评价内容、评价结论与等级及检测报告,涵盖洁净度、温度、相对湿度、风速、风量、静压差、照度、噪声等共性技术指标,以及气流流型、过滤器标准渗漏过滤率、微振动、防静电、化学污染物、气密性等特性技术指标,为半导体洁净室的性能检测与评价提供了系统化、规范化的技术依据,也为半导体企业选择合适的洁净室供应商提供了重要参考,有助于推动整个行业向更加规范、高效的方向发展。

华康洁净表示,作为该标准的核心参编单位之一,公司深度参与半导体洁净室标准体系的构建,彰显了硬核的技术实力。

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