2023 年6 月30 日，荷兰政府宣布对阿斯麦TWINSCAN NXT:2000i 及后续DUV 光刻机实施出口许可证管制，该政策将于2023 年9 月1 日正式实施。

中国大陆晶圆厂或将进一步提高半导体设备和零部件的国产化率，相关国产厂商有望深度受益。

支撑评级的要点

光刻机限制政策落地，半导体设备和零部件国产化率有望加速提升。荷兰政府宣布对TWINSCAN NXT:2000i 及后续DUV 光刻机实施出口许可证管制。短期来看，中国大陆晶圆厂先进制程扩产受到限制。长期来看，中国大陆晶圆厂将被迫进一步提高半导体设备和零部件的国产化率。

西方的限制政策旨在打压中国大陆先进制程，零部件成为中国大陆破局关键点。先进制程主要适用于CPU、GPU、SoC、AI 等芯片。西方希望通过对中国大陆先进制程的打压来保持对华科技优势。先进制程的突破依赖于设备的升级，设备的升级依赖于零部件技术的迭代。半导体设备零部件有望在本次国产替代浪潮中深度受益。

投资建议

富创精密。富创精密是国内平台型半导体设备零部件厂商，公司在半导体设备零部件的国产化进程中处于相对领先的位置。我们预计2022 年中国大陆半导体设备零部件市场规模约856 亿元，富创精密市占率约1.8%，富创精密市占率提升的空间依然较大。

新莱应材。新莱应材的半导体级超高纯、高纯管、阀、泵等产品正在国内头部设备厂、晶圆厂的认证过程中，公司有望深度受益于半导体设备零部件的国产化浪潮。我们预计2022 年中国大陆半导体设备气体、液体、真空系统市场规模约160~170 亿元，新莱应材的泛半导体级产品营业收入7.11 亿元，新莱应材泛半导体级产品增长的空间依然较大。

富乐德。中国大陆领先的泛半导体设备清洗服务商。海外先进设备限制背景下，中国大陆晶圆厂现有设备维护需求日益增长。公司设备零部件翻新业务亦有望贡献第二增长曲线。

评级面临的主要风险

半导体设备零部件厂商相关产品的研发和验证进展不及预期。

行业竞争格局恶化，价格战加剧。

中美关系缓和，海外先进半导体设备限制政策放松。