招商证券股份有限公司

关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

2025年度募集资金存放与使用情况的核查意见

招商证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）作为矽电半导体设备（深圳）

股份有限公司（以下简称“矽电股份”或“公司”）首次公开发行股票并在创业板上

市的保荐机构，根据《上市公司募集资金监管规则》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等有关规定，对矽电股份2025年度募集资金存放与使用情况进行了专项核查，并出具本核查意见，具体情况如下：

一、公司募集资金的基本情况

（一）实际募集资金金额和资金到账时间经中国证券监督管理委员会《关于同意矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕138号）同意注册，并经深圳证券交易所同意，公司首次向社会公开发行人民币普通股股票10431819股，每股面值1.00元，发行价格为人民币52.28元/股。本次募集资金总额为人民币54537.55万元，扣除发行费用后，实际募集资金净额为人民币46352.87万元。

上述募集资金已于2025年3月17日划至公司募集资金专项账户，容诚会计师事务所（特殊普通合伙）已对公司募集资金的到位情况进行了审验，并于当日出具《验资报告》（容诚验字[2025]100Z0015号）。

（二）募集资金使用和节余情况

项目金额（万元）

募集资金总额54537.55

减：发行费用8184.68

募集资金净额46352.87

加：尚未置换的发行费用1742.49

加：尚未支付的发行费用2062.19

募集资金专户初始到账金额50157.55

1减：本期项目投入5780.92

减：置换预先投入募投项目的自筹资金5436.99

减：置换预先支付发行费用的自筹资金1742.49

减：支付的发行费用2062.19

减：现金管理余额31600.00

加：利息收入322.04

截至2025年12月31日募集资金专户余额3857.00

注：以上数据如有尾差，为四舍五入所致，下同。

二、募集资金存放和管理情况

（一）募集资金管理情况

为了规范募集资金的管理和使用，提高资金使用效率和效益，保护投资者权益，公司根据《公司法》《证券法》《上市公司募集资金监管规则》和《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等法律、法

规和规范性文件的规定，结合公司实际情况，制定了《募集资金使用管理制度》，对募集资金的存放和使用进行专户管理。

公司及保荐机构分别与招商银行深圳分行、浦发银行深圳分行、农业银行深圳龙岗支行、中国民生银行深圳分行签署了《募集资金三方监管协议》（因部分支行无签署权限，故由其上级分行或支行与公司及保荐机构签订《募集资金三方监管协议》），明确了各方的权利和义务。

《募集资金三方监管协议》与深圳证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，三方监管协议得到了切实履行。

（二）募集资金专户存储情况

截至2025年12月31日，本公司有5个募集资金专户，募集资金存放情况如下：

开户行名称账户专户余额（万元）

招商银行深圳龙岗支行7559048535100010.01

招商银行深圳龙岗支行7559048535108881251.35

浦发银行深圳龙岗支行790700788019000029131423.42

农业银行深圳爱联支行41024000040069173626.96

2中国民生银行深圳龙城支行650166602555.25

合计3857.00

三、2025年度募集资金的实际使用情况

（一）募投项目资金使用情况公司2025年年度募集资金使用情况详见附表1《2025年年度募集资金使用情况对照表》。

（二）募投项目的实施地点、实施方式变更情况

截至2025年12月31日，公司不存在募投项目实施地点、实施方式变更的情况。

（三）募投项目先期投入及置换情况

公司于2025年4月27日召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金，合计置换金额为人民币7179.48万元，其中，置换以自筹资金预先投入募投项目金额5436.99万元，置换以自筹资金预先支付部分发行费用（不含增值税）金额1742.49万元。保荐机构对此出具了专项核查意见，容诚会计师事务所（特殊普通合伙）出具了《关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的鉴证报告》（容诚专字[2025]100Z1189号）。

公司于2025年4月14日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的议案》，同意公司在募投项目的实施期间，根据实际需要并经相关审批后，先以自有资金方式支付募投项目的相关款项，后续以募集资金等额置换，定期从募集资金专户划转等额资金至公司非募集资金账户，该部分等额置换资金视同募投项目使用资金。报告期内，公司以募集资金等额置换使用自有资金支付募投项目所需资金金额合计857.01万元。

（四）用暂时闲置募集资金临时补充流动资金情况

3截至2025年12月31日，公司不存在使用暂时闲置募集资金临时补充流动资金的情况。

（五）用暂时闲置募集资金进行现金管理情况公司于2025年4月14日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第

十三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司在不影响募集资金投资项目建设和公司正常经营的情况下，使用不超过人民币3亿元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理，使用期限自董事会审议通过之日起12个月内有效，在上述额度及有效期内，资金可循环滚动使用。

公司于2025年4月27日召开第二届董事会第十七次会议及第二届监事会第

十四次会议，审议通过了《关于增加闲置募集资金现金管理额度的议案》，同意公司在原已批准不超过人民币3亿元（含本数）额度的基础上增加1亿元（含本数）的募集资金用于现金管理，即合计使用不超过人民币4亿元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理，使用期限自2024年年度股东大会审议通过之日起12个月内有效，在上述额度及有效期内，资金可循环滚动使用。

截至2025年12月31日，公司使用部分暂时闲置募集进行现金管理的情况如下：。

产品名购买金额期末余额预期年化是否如签约方产品起息日产品到期日称（万元）（万元）收益率期归还浦发银行深圳结构性2025年6月2025年6月

4500.0001.95%是

龙岗支行存款3日30日招商银行深圳结构化2025年5月2025年8月0

10000.002.25%是

龙岗支行存款8日8日浦发银行深圳大额存2025年5月2025年120

1000.003.00%是

龙岗支行单15日月23日中国民生银行结构性2025年5月2025年8月0

3500.001.80%是

深圳龙城支行存款30日29日浦发银行深圳结构性2025年7月2025年100

4500.001.90%是

龙岗支行存款7日月9日农业银行深圳定期存2025年6月2025年9月0

3000.000.80%是

爱联支行款13日13日农业银行深圳定期存2025年6月2025年120

13000.001.00%是

爱联支行款13日月13日

招商银行深圳结构化2025年8月2025年117600.0001.80%是

4产品名购买金额期末余额预期年化是否如

签约方产品起息日产品到期日称（万元）（万元）收益率期归还龙岗支行存款14日月14日招商银行深圳结构化2025年8月2025年110

4400.001.80%是

龙岗支行存款21日月21日中国民生银行结构性2025年9月2025年120

3500.001.85%是

深圳龙城支行存款4日月4日农业银行深圳定期存2025年9月2026年3月

3000.003000.001.00%未到期

爱联支行款18日18日浦发银行深圳结构性2025年102026年4月

4500.004500.001.85%未到期

龙岗支行存款月20日20日招商银行深圳结构化2025年112026年2月

7600.007600.001.65%未到期

龙岗支行存款月18日27日中国民生银行结构性2025年122026年3月

3500.003500.001.74%未到期

深圳龙城支行存款月12日12日农业银行深圳定期存2025年122026年6月

13000.0013000.001.00%未到期

爱联支行款月16日16日

合计86600.0031600.00//

（六）节余募集资金使用情况

截至2025年12月31日，公司不存在节余募集资金。

（七）超募资金使用情况

截至2025年12月31日，公司不存在超募资金。

（八）尚未使用的募集资金用途及去向

截至2025年12月31日，尚未使用的募集资金合计为35457.00万元，其中闲置募集资金经批准用于现金管理的余额为31600.00万元，存放在募集资金专户余额为3857.00万元。

（九）募集资金使用的其他情况公司于2025年4月14日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于部分募集资金投资项目增加实施主体暨新增募集资金专户的议案》，同意公司新增矽旺科技（深圳）有限公司（以下简称“矽旺科技”）为募集资金投资项目“探针台研发及产业基地建设项目”的实施主体。

除上述情形外，公司不存在募集资金使用的其他情况。

5四、变更募投项目的资金使用情况

截至2025年12月31日，公司不存在变更募投项目的情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司严格按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并及时、准确、完整地披露了公司募集资金存放及实际使用情况，不存在募集资金使用及管理违规的情形。

六、会计师事务所对募集资金年度存放和使用情况专项报告的鉴证意见

容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对公司2025年度募集资金存放与使用情况进行了鉴证并出具了《募集资金年度存放、管理与使用情况鉴证报告》（容诚专字[2026]100Z1468），其鉴证结论为：“我们认为，后附的矽电股份公司 2025年度《关于募集资金年度存放、管理与使用情况的专项报告》在所有重大方面按

照上述《上市公司募集资金监管规则》及交易所的相关规定编制，公允反映了矽电股份公司2025年度募集资金实际存放、管理与使用情况。”七、保荐机构核查意见经核查，保荐机构认为：

公司2025年度已按照《上市公司募集资金监管规则》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等相关法律法规的规定要求管理和使用募集资金，公司编制的《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司2025年度募集资金存放与使用情况的专项报告》中关于公司2025年度募集资金管理与使用情况的披露与实际情况相符。

6（本页无正文，为《招商证券股份有限公司关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司2025年度募集资金存放与使用情况的核查意见》之签章页）

保荐代表人：

胡洋洋包晓磊招商证券股份有限公司

2026年4月22日附表1：2025年年度募集资金使用情况对照表

单位：万元本年度投入募集

募集资金总额54537.5511217.91资金总额

报告期内改变用途的募集资金总额-已累计投入募集

累计改变用途的募集资金总额-11217.91资金总额

累计改变用途的募集资金总额比例-是否已改募集资金截至期末截至期末投资进项目达到预承诺投资项目和超募募集资金本年度投本年度实现的是否达到项目可行性是否发生

变项目（含承诺投资累计投入度（%）(3)＝定可使用状

资金投向净额（1）入金额效益预计效益重大变化部分改变）总额金额(2)(2)/(1)态日期承诺投资项目探针台研发及产业基2028年03否26127.0821700.005157.455157.4523.77不适用不适用否地建设项目月23日

2028年03

分选机技术研发项目否8005.716600.00730.71730.7111.07不适用不适用否月23日营销服务网络升级建2028年03否5454.724500.00478.37478.3710.63不适用不适用否设项目月23日

补充流动资金否16000.0013552.874851.384851.3835.80————————

承诺投资项目小计——55587.5146352.8711217.9111217.9124.20————————超募资金投向不适用

超募资金投向小计------————————

合计——55587.5146352.8711217.9111217.9124.20————————未达到计划进度或预计收益的情况和原因不适用（分具体项目）项目可行性发生重大不适用变化的情况说明

超募资金的金额、用途不适用及使用进展情况募集资金投资项目实不适用施地点变更情况公司于2025年4月14日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于部分募集资金投资项目增加实募集资金投资项目实施主体暨新增募集资金专户的议案》，同意公司新增矽旺科技（深圳）有限公司为募集资金投资项目“探针台研发及产业基地建设项目”的施方式调整情况实施主体。

公司于2025年4月14日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的议案》，同意公司在募投项目的实施期间，根据实际需要并经相关审批后，先以自有资金方式支付募投项目的相关款项，后续以募集资金等额置换，定期从募集资金专户划转等额资金至公司非募集资金账户，该部分等额置换资金视同募投项目募集资金投资项目先使用资金。

期投入及置换情况公司于2025年4月27日召开第二届董事会第十七次会议及第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金，合计置换金额为人民币7179.48万元，其中，置换以自筹资金预先投入募投项目金额5436.99万元，置换以自筹资金预先支付部分发行费用（不含增值税）金额1742.49万元。

用闲置募集资金暂时不适用补充流动资金情况

用闲置募集资金进行公司于2025年4月14日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现现金管理情况金管理的议案》，同意公司在不影响募集资金投资项目建设和公司正常经营的情况下，使用不超过人民币3亿元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理。

公司于2025年4月27日召开第二届董事会第十七次会议及第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于增加闲置募集资金现金管理额度的议案》，同意公司在原已批准不超过人民币3亿元（含本数）额度的基础上增加1亿元（含本数）的募集资金用于现金管理，即合计使用不超过人民币4亿元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理。

截至2025年12月31日，公司闲置资金经批准用于现金管理的余额为31600.00万元，具体参见“三、2025年度募集资金的实际使用情况”之“（五）用暂时闲置募集资金进行现金管理情况”项目实施出现募集资不适用金节余的金额及原因

尚未使用的募集资金截至2025年12月31日，尚未使用的募集资金合计为35457.00万元，其中闲置募集资金经批准用于现金管理的余额为31600.00万元，用途及去向存放在募集资金专户余额为3857.00万元。

募集资金使用及披露中存在的问题或其他不适用情况