招商证券股份有限公司

关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

使用部分闲置募集资金进行现金管理的核查意见

招商证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）作为矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称“矽电股份”或“公司”）首次公开发行股票并在

创业板上市的保荐机构，根据《上市公司募集资金监管规则》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等有关规定，对矽电股份使用部分闲置募集资金进行现金管理的事项进行了核查，并出具本核查意见，具体情况如下：

一、本次募集资金的基本情况经中国证券监督管理委员会《关于同意矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕138号）同意注册，并经深圳证券交易所同意，公司首次向社会公开发行人民币普通股股票10431819股，每股面值1.00元，发行价格为人民币52.28元/股。本次募集资金总额为人民币54537.55万元，扣除发行费用后，实际募集资金净额为人民币46352.87万元。

上述募集资金已于2025年3月17日划至公司募集资金专项账户，容诚会计师事务所（特殊普通合伙）已对公司募集资金的到位情况进行了审验，并于当日出具《验资报告》（容诚验字[2025]100Z0015号）。公司依照相关规定对募集资金的存放和使用进行专户管理，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金三方监管协议》。

二、募集资金使用情况根据《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票并在创业板上市招股说明书》及第二届董事会第十六次会议和第二届监事会第十三次会议审

议通过《关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的议案》的相关内容，公司本次发行募集资金投资项目调整后的募集资金使用计划如下：

1单位：万元

调整前拟投入募调整后募集资金序号项目拟投资总额集资金金额拟投资额探针台研发及产业基地建设

126127.0826127.0821700.00

项目

2分选机技术研发项目8005.718005.716600.00

3营销服务网络升级建设项目5454.725454.724500.00

4补充流动资金16000.0016000.0013552.87

合计55587.5155587.5146352.87

注：如上表各分项之和与合计数在尾数上存在差异，均系由四舍五入造成。

目前，公司正按照募集资金使用计划，稳步推进募集资金投资项目建设。由于募集资金投资项目建设需要一定周期，根据募集资金投资项目建设进度，部分募集资金短期内处于暂时闲置状态。为进一步提高公司募集资金使用效率，在确保募集资金安全、不影响募集资金投资项目建设和公司正常经营的前提下，将合理、灵活利用闲置募集资金进行现金管理，以增加投资收益，为公司和股东获取更多的投资回报。

三、本次使用部分闲置募集资金进行现金管理的基本情况

（一）投资目的本次使用暂时闲置募集资金进行现金管理是在确保不影响募集资金投资项

目建设、不变相改变募集资金使用用途、不影响公司正常运营及确保资金安全并

有效控制风险的前提下，为进一步提高资金使用效率和收益，以更好地实现公司现金的保值增值，保障公司全体股东的利益。

（二）额度及期限

公司拟使用不超过人民币3亿元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理，使用期限自2025年年度股东会会议审议通过之日起12个月内有效，在上述额度及有效期内，资金可循环滚动使用。闲置募集资金现金管理到期后将及时归还至募集资金专户。

（三）投资品种

公司将按照相关规定严格控制风险，对投资产品进行严格评估，拟使用部分

2闲置募集资金购买安全性高、流动性好、风险低、投资期限不超过12个月或可

转让、可提前支取的保本型产品，包括但不限于结构性存款、大额存单等，且上述产品不得进行质押，产品专用结算账户不得存放非募集资金或用作其他用途。

开立或注销产品专用结算账户的，公司将及时公告。

（四）实施方式

在有效期和额度范围内，按照公司《资金理财管理制度》进行管理，包括但不限于：选择合格的理财机构、理财产品品种、明确投资金额、投资期限、谈判

沟通合同或协议等；在上述投资额度范围内，授权董事长签署相关合同文件，公司财务部负责组织实施和管理。该授权自2025年度股东会审议通过之日起12个月内有效。

（五）现金管理收益的分配公司使用部分闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将严格按照中国证券监督管理委员会及深圳证券交易所关于募集资金监管措施的要求进行管理和使用。

（六）信息披露

公司将按照《上市公司募集资金监管规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》及公司《募集资金使用管理制度》

等相关要求，做好相关信息披露工作。

（七）关联关系说明

公司拟向不存在关联关系的金融机构购买投资产品，本次使用闲置募集资金进行现金管理不会构成关联交易。

四、投资风险及风险控制措施

（一）投资风险

虽然公司拟投资产品安全性高、流动性好，且经过严格的评估，但金融市场受宏观经济的影响较大，不排除受市场波动的影响，面临收益风险、政策风险、市场风险、流动性风险、不可抗力风险等理财产品常见的风险，公司将根据经济

3形势以及金融市场的变化适时适量的介入，因此短期投资的实际收益不可预期。

（二）风险控制措施

1、公司利用闲置募集资金购买投资产品时，将选择安全性高、流动性好的

投资产品，明确好投资产品的金额、品种、期限以及双方的权利义务和法律责任等。

2、公司财务部将及时与银行核对账户余额，做好财务核算工作，一旦发现

存在可能影响公司资金安全的风险因素将及时采取保全措施，控制投资风险，并对所投资产品的资金使用和保管进行实时分析和跟踪。

3、公司内审部门负责投资理财产品与保管情况的审计监督，定期对募集资

金使用与保管情况开展内部检查。

4、公司独立董事、董事会审计委员会有权对资金使用情况进行监督和检查，

必要时可以聘请专业机构进行审计。

5、公司将严格根据法律法规及深圳证券交易所规范性文件的有关规定，及

时履行信息披露义务。

五、对公司的影响

公司坚持规范运作、防范风险、谨慎投资的原则，本次拟使用暂时闲置募集资金进行现金管理是在确保不影响募集资金投资项目建设和公司正常经营的情

况下进行的，不存在直接或间接变相改变募集资金用途情况损害公司及全体股东利益的情形，不会对公司经营、财务状况产生不利影响。

公司将严格遵守《上市公司募集资金监管规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》及公司《募集资金使用管理制度》等相关规定，通过适度的现金管理，提高募集资金使用效率，以实现公司与全体股东利益的最大化。

六、审议程序及专项意见

（一）独立董事专门会议审议情况

4公司于2026年4月13日召开第三届董事会独立董事专门会议第一次会议，

审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，公司独立董事认为：公司在不影响募集资金投资项目建设的情况下，使用部分闲置的募集资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、风险低、投资期限不超过12个月或可转让、可提前支取的保本型产品，有利于提高募集资金的使用效率，为公司及股东获取更多投资回报。公司本次使用募集资金进行现金管理的决策程序符合《上市公司募集资金监管规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》以及公司《募集资金使用管理制度》等相关规定，符合公司和全体股东的利益，不存在损害公司及全体股东尤其是中小股东利益的情形。

（二）董事会审议情况公司于2026年4月20日召开第三届董事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司在不影响公司正常运作以及募投项目建设的前提下，使用不超过人民币3亿元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、风险低、投资期限不超过12个月或可转让、可提前支取的保本型产品。上述额度自董事会审议通过之日起

12个月内有效，在上述额度及有效期内，资金可循环滚动使用。闲置募集资金

现金管理到期后将及时归还至募集资金专户。同时，授权公司管理层在上述额度范围内行使该项投资决策权，公司财务部负责组织实施和管理。

七、保荐机构核查意见经核查，保荐机构认为：

矽电股份使用部分闲置募集资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、风险低、投资期限不超过12个月或可转让、可提前支取的保本型产品，该事项已经公司董事会、独立董事专门会议审议通过，且该事项拟提交公司2025年年度股东会审议，符合《上市公司募集资金监管规则》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等相关法律法规的规定要求，不存在变相改变募集资金用途的情况，不存在损害公司及股东利益的情形。保荐机构对本次使用部分闲置募集资

5金进行现金管理事项无异议。

6（本页无正文，为《招商证券股份有限公司关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司使用部分闲置募集资金进行现金管理的核查意见》之签章页）

保荐代表人：

胡洋洋包晓磊招商证券股份有限公司

2026年4月22日