矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

内部审计制度

第一章总则

第一条为了健全矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下称“公司”

或“本公司”）的内部审计制度，有效开展内部审计工作，发挥内部审计监督、管理、服务职能，根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《中华人民共和国审计法》《中国内部审计准则第1101号——内部审计基本准则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等法

律、法规、规章、规范性文件以及《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司章程》（以下称“公司章程”）的有关规定，结合公司实际情况，制定本制度。

第二条本制度所称内部审计，是指公司审计合规部门依据国家有关法律法

规和本制度的规定，对公司内部控制和风险管理的有效性、财务信息的真实性和完整性以及经营活动的效率和效果进行监督和评价活动。

第三条本制度所称被审计对象，系指公司各内部机构、直属分支机构控股子公司及其直属分支机构以及上述机构相关责任人员。

第二章审计合规部及人员设置

第四条公司设立审计合规部作为公司内部审计的执行机构，审计合规部对

董事会负责，向审计委员会报告工作。审计合规部在对公司业务活动、风险管理、内部控制、财务信息等情况进行检查监督过程中，应当接受审计委员会的监督指导。

第五条公司审计合规部根据业务规模等工作需要配置一定数量的内部审计人员，并按公司发展规划、逐步建立多层次、多功能的内部审计监察体系。

第六条审计合规部设负责人1名，全面负责审计合规部的日常审计工作。

该负责人必须专职。

第七条内部审计人员应当具备下列基本的专业能力：

（一）掌握内部审计准则及内部审计程序；

（二）通晓内部审计内容及内部审计操作技术；

1/7（三）熟悉本公司生产经营流程及相关的经济业务知识；

（四）了解本公司各项管理制度和财务会计原则。

第八条内部审计人员应坚持实事求是的原则，必须忠于职守、客观公正、廉洁奉公、保守秘密、谦虚谨慎、平等待人；不得滥用职权、徇私舞弊、玩忽职守。

第九条内部审计人员办理审计事项，与被审计对象或者审计事项有利害关系的，应当回避。

第十条审计合规部应当保持独立性，不得置于财务部门的领导之下，或者与财务部门合署办公。

第十一条公司各内部机构或职能部门、控股子公司以及具有重大影响的参

股公司应当配合审计合规部依法履行职责，不得妨碍审计合规部的工作，不得拒绝、阻挠、破坏或者打击报复。

第三章内部审计工作的职责

第十二条审计合规部应当履行下列主要职责：

（一）对本公司各内部机构、控股子公司以及对公司具有重大影响的参股公

司的内部控制制度的完整性、合理性及其实施的有效性进行检查和评估；

（二）对本公司各内部机构、控股子公司以及对公司具有重大影响的参股公

司的会计资料及其他有关经济资料，以及所反映的财务收支及有关的经济活动的合法性、合规性、真实性和完整性进行审计，包括但不限于财务报告、业绩预告、业绩快报、自愿披露的预测性财务信息等；

（三）协助建立健全反舞弊机制，确定反舞弊的重点领域、关键环节和主要内容，并在内部审计过程中关注和检查可能存在的舞弊行为，发现公司相关重大问题或线索的，应当立即向审计委员会直接报告；

（四）至少每季度向董事会或者审计委员会报告一次，内容包括但不限于内部审计计划的执行情况以及内部审计工作中发现的问题；

（五）积极配合审计委员会与会计师事务所、国家审计机构等外部审计单位

进行沟通，并提供必要的支持和协作。

第十三条审计委员会应当督导审计合规部至少每半年对下列事项进行一次检查，出具检查报告并提交审计委员会：

2/7（一）公司募集资金使用、提供担保、关联交易、证券投资与衍生品交易等

高风险投资、提供财务资助、购买或者出售资产、对外投资等重大事件的实施情况；

（二）公司大额资金往来以及与董事、高级管理人员、控股股东、实际控制人及其关联人资金往来情况。

第十四条公司内部控制评价的具体组织实施工作由审计合规部负责。

第十五条内部审计应当涵盖公司经营活动中与财务报告和信息披露事务

相关的所有业务环节，包括：销货与收款、采购及付款、存货管理、固定资产管理、资金管理、投资与融资管理、人力资源管理、信息系统管理和信息披露事务管理等。审计合规部可以根据公司所处行业及生产经营特点，对上述内部审计所涵盖的业务环节进行调整。

第十六条内部审计人员获取的审计证据应当具备充分性、相关性和可靠性。

内部审计人员应当将获取审计证据的名称、来源、内容、时间等信息清晰、完整地记录在工作底稿中。

第十七条内部审计人员应当保持严谨的工作态度，在被审计对象提供的资

料真实齐全的情况下，应客观反映所发现的问题，并及时报告审计委员会或董事会。被审计部门未如实提供全部审计所需资料影响内部审计人员做出判断的，追究相关人员责任。

第十八条审计合规部应当在每次审计结束后，建立内部审计档案，对工作

中形成的审计档案定期或长期保管，在每年度结束后及时进行归档。内部审计档案销毁必须经董事会同意并经董事长签字后方可进行。

第十九条内部审计工作报告、工作底稿及相关资料保管期限为五年。

第四章内部审计工作的权限

第二十条审计合规部的主要权限有：

（一）召开与内部审计事项相关的会议；

（二）检查内部审计范围和内容中的有关事项；

（三）根据内部审计工作的需要，要求有关部门按时报送计划、预算、报表和有关文件资料等；

（四）对审计事项的有关问题，向有关单位或者（及）个人进行调查，并

3/7取得证明材料；

（五）对正在进行的严重违反财经法规、公司规章制度或严重失职可能造

成重大经济损失的行为，有权做出制止决定并及时报告董事会；对已经造成重大经济损失和影响的行为，向董事会提出处理的建议；

（六）提出纠正、处理违反财经法规行为的意见以及改进经济管理、提高经济效益的建议；

（七）对阻挠、破坏内部审计工作以及拒绝提供有关资料的部门和人员，报董事会核准并经董事长批准可采取必要的临时措施，并提出追究有关人员责任的建议；

（八）在审计过程中发现可能转移、隐匿、篡改、毁弃会计凭证、会计账

簿、会计报表以及其他与审计事项有关的资料的，经董事会批准，审计合规部有权暂时予以封存；

（九）对审计工作中发现的重大问题及时向董事会报告。

第二十一条审计合规部每年应当至少向董事会或者审计委员会提交一次内部审计报告。

审计合规部对审查过程中发现的内部控制缺陷，应当督促相关责任部门制定整改措施和整改时间，并进行内部控制的后续审查，监督整改措施的落实情况。

审计合规部在审查过程中如发现内部控制存在重大缺陷或者重大风险，应当及时向董事会或者审计委员会报告。

第二十二条内部审计资料未经董事会同意，不得泄露给其他任何组织或个人。

第二十三条审计合规部履行职责所必须的费用支出，应予以充分保证，并列入公司年度财务预算。

第五章内部审计工作程序

第二十四条审计合规部应根据公司业务风险状况、整体战略规划和管理需要，确定审计工作重点，拟定年度审计工作计划，报董事会审计委员会批准后实施。审计工作计划至少每年制定一次，若有增加或减少等调整可在季度、半年度报告审计委员会。

第二十五条对已列入年度审计工作计划的项目由审计合规部自主安排

4/7开展审计工作，其他审计工作依据公司董事会、审计委员会等授权部门委托开展审计工作。

第二十六条因审计工作需要，审计合规部可请求公司管理层协调相关部门给予协助。

第二十七条内部审计工作应严格按照规定的审计程序进行：

（一）实施内部审计前应制定内部审计方案，向被审计对象发出内部审计通知书。审计通知书内容应包括审计的范围、内容、时间和方式，审计组成员名单，对被审计对象配合审计工作需提供的有关资料及其他要求；

（二）审计人员对被审计对象的有关资料进行认真细致的调查、询问，综合

运用座谈、检查、抽样和分析性复核等审计方法，获取充分、相关、可靠的审计证据，以支持审计结论和审计建议，并将收集的审计证据和形成的审计结论和审计建议记录于审计工作底稿；

（三）审计人员应在实施必要的审计程序后编写审计报告。审计报告的编

制应当以经核实的审计证据为依据，做到客观、完整、清晰并体现重要性原则。

审计报告应清晰表述审计发现、结论和建议，并附具必要的证明材料。

（四）审计报告需征求被审计单位意见。审计人员应对被审计单位就审计

报告提出异议的问题进行核实、沟通，认为需要修改或调整审计报告的，可作必要的修改或调整；持保留意见的需将书面的异议文件与审计报告同时报送审计委员会；

（五）审计报告经审计委员会批准后，被审计单位应对整改事项进行确认，并就整改措施与责任分工达成共识。审计合规部应进行日常跟踪监督审计报告处理意见执行情况。

第二十八条如为避免股东利益和公司财产损失等特殊原因而采取突击审计，可不按上述审计程序执行。

第六章监督管理与罚则

第二十九条审计委员会参与对内审负责人的考核。根据公司的激励与约束制度，对公司内部审计人员的工作进行监督、考核，以评价其工作绩效，对于做出显著成绩的内部审计人员可以向董事会提议给予表扬和奖励；对模范遵守企

业规章制度、做出显著成绩的、非常配合内部审计工作的部门和个人，审计合规

5/7部负责人可以向董事会、总经理提出给予表扬和奖励的建议。

第三十条公司各部门和各控股子公司、分支机构（如有）的负责人及财务

人员应严肃对待内部审计工作，认真安排、如实提供有关资料和文件，接受审计监督。被审计单位有下列情形之一的，由被审计单位主要负责人或相关上级主管领导责令改正，由公司对直接负责的主管人员和其他直接责任人员进行处理：

（一）拒绝或拖延提供审计事项有关的文件、会计资料等证明材料的；

（二）阻扰内部审计人员行使职权，抗拒审计监督检查的；

（三）提供资料不真实、不完整的，弄虚作假，隐瞒事实真相的；

（四）拒不纠正审计发现问题的；

（五）整改不力、屡审屡犯的；

（六）接受审计过程中违反国家法规或者公司管理规定的其他情形。

第三十一条内部审计人员因履行职责受到打击、报复、陷害的，公司应

当及时采取保护措施，并对相关责任人员进行处理；涉嫌犯罪的，移交司法机关依法追究刑事责任。

第七章附则

第三十二条本制度未尽事宜，按照国家有关法律、法规、规章、规范性

文件及公司章程的规定执行。若国家有关法律、法规、规章、规范性文件对内部审计工作作出不同规定的，适用新的相关规定，并及时修改本制度。

第三十三条本制度自董事会审议通过之日起生效，修改时亦同。本制度由公司董事会负责解释。

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

2025年12月25日

6/77/7