招商证券股份有限公司

关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

2025年度内部控制评价报告的核查意见

招商证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）作为矽电半导体设备（深圳）

股份有限公司（以下简称“矽电股份”或“公司”）首次公开发行股票并在创业板上

市的保荐机构，根据《深圳证券交易所创业板股票上市规则》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等有关规定，就《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司2025年度内部控制评价报告》出具核查意

见如下：

一、内部控制评价结论

根据公司财务报告内部控制重大缺陷的认定情况，于内部控制评价报告基准日，不存在财务报告内部控制重大缺陷。董事会认为，公司已按照企业内部控制规范体系和相关规定的要求在所有重大方面保持了有效的财务报告内部控制。

根据公司非财务报告内部控制重大缺陷认定情况，于内部控制评价报告基准日，公司未发现非财务报告内部控制重大缺陷。

自内部控制评价报告基准日至内部控制评价报告发出日之间未发生影响内部控制有效性评价结论的因素。

二、内部控制评价工作情况

（一）内部控制评价范围

公司按照风险导向原则确定纳入评价范围的主要单位、业务和事项以及高风险领域。纳入评价范围的主要单位包括：公司、全资子公司及控股子公司。纳入评价范围单位资产总额占公司合并财务报表资产总额的100%，营业收入合计占公司合并财务报表营业收入总额的100%。

纳入评价范围的主要业务和事项包括：组织架构、发展战略、人力资源、企

业文化、资金活动、采购业务、资产管理、销售业务、研发管理、财务报告、合

1同管理、信息系统管理、关联交易、对外担保、重大投资。重点关注的高风险领

域主要包括：资金活动、资产管理、销售业务、采购业务。

上述纳入评价范围的单位、业务和事项以及高风险领域涵盖了公司经营管理

的主要方面，不存在重大遗漏。

（二）内部控制评价工作依据及内部控制缺陷认定标准公司依据企业内部控制规范体系、《深圳证券交易所上市公司自律监管指引

第2号——创业板上市公司规范运作》等规定，组织开展内部控制评价工作。

公司内部控制评价主要程序：制定内部控制评价方案、实施内部控制测试、

认定内部控制缺陷、内部控制测试结果沟通、内部控制评价工作汇报、编制内部控制评价报告。

公司内部控制评价主要方法：综合运用个别访谈、穿行测试、实地查验、抽

样、比较分析等方法，充分收集公司内部控制设计和运行是否有效的证据，按照评价的具体内容，如实填写评价工作底稿，研究分析内部控制缺陷。

公司董事会根据企业内部控制规范体系对重大缺陷、重要缺陷和一般缺陷的

认定要求，结合公司规模、行业特征、风险偏好和风险承受度等因素，区分财务报告内部控制和非财务报告内部控制，研究确定了适用于公司的内部控制缺陷具体认定标准，并与以前年度保持一致。公司确定的内部控制缺陷认定标准如下：

1.财务报告内部控制缺陷认定标准

公司确定的财务报告内部控制缺陷评价的定量标准具体如下：

指标名称重大缺陷重要缺陷一般缺陷

资产总额错报≥资产总额的3%资产总额的0.5%≤错报＜资产总额的3%错报＜资产总额的0.5%

营业收入错报≥营业收入的5%营业收入的1%≤错报＜营业收入的5%错报＜营业收入的1%

利润总额错报≥利润总额的10%利润总额的5%≤错报＜利润总额的10%错报＜利润总额的5%公司确定的财务报告内部控制缺陷评价的定量标准按照上述指标孰低原则进行确定。

公司确定的财务报告内部控制缺陷评价的定性标准如下：

重大缺陷：（1）控制环境无效；（2）公司审计委员会和内部审计机构对内

部控制的监督无效；（3）发现董事、高级管理人员重大舞弊；（4）公司对已经

2公布的财务报表进行重大更正；（5）已经发现并报告给管理层的重大缺陷在合

理的时间后未加以改正；（6）其他可能影响报表使用者正确判断的重大缺陷。

重要缺陷或一般缺陷：其他情形按影响重要性水平分别确定为重要缺陷或一般缺陷。

2.非财务报告内部控制缺陷认定标准

公司确定的非财务报告内部控制缺陷评价的定量标准参照财务报告内部控制缺陷评价的定量标准执行。

公司确定的非财务报告内部控制缺陷评价的定性标准如下：

重大缺陷：（1）违反国家法律、法规或规范性文件；（2）缺乏决策程序或

决策程序不科学，导致重大失误；（3）重要业务缺乏制度控制或制度系统性失

败；（4）内部控制评价的结果特别是重大或重要缺陷未得到整改；（5）其他对公司影响重大的情形。

重要缺陷或一般缺陷：其他情形按影响程度分别确定为重要缺陷或一般缺陷。

（三）内部控制缺陷认定及整改情况

1.财务报告内部控制缺陷认定及整改情况

根据上述财务报告内部控制缺陷的认定标准，报告期内公司不存在财务报告内部控制重大缺陷、重要缺陷。

2.非财务报告内部控制缺陷认定及整改情况

根据上述非财务报告内部控制缺陷的认定标准，报告期内未发现公司非财务报告内部控制重大缺陷、重要缺陷。

三、其他内部控制相关重大事项说明报告期内公司无其他内部控制相关重大事项说明。

四、公司关于内部控制的声明

按照企业内部控制规范体系的规定，建立健全和有效实施内部控制，评价其有效性，并如实披露内部控制评价报告是公司董事会的责任。审计委员会对董事会建立和实施内部控制进行监督。经理层负责组织领导企业内部控制的日常运行。

3公司董事会、审计委员会及董事、高级管理人员保证本报告内容不存在任何虚假

记载、误导性陈述或重大遗漏，并对报告内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带法律责任。

公司内部控制的目标是合理保证经营管理合法合规、资产安全、财务报告及

相关信息真实完整，提高经营效率和效果，促进实现发展战略。由于内部控制存在的固有局限性，故仅能为实现上述目标提供合理保证。此外，由于情况的变化可能导致内部控制变得不恰当，或对控制政策和程序遵循的程度降低，根据内部控制评价结果推测未来内部控制的有效性具有一定的风险。

五、审计机构对公司内部控制的意见

容诚会计师事务所（特殊普通合伙）出具了《内部控制审计报告》（容诚审字[2026]100Z4091 号），其内部控制审计意见为：“我们认为，矽电股份于 2025年12月31日按照《企业内部控制基本规范》和相关规定在所有重大方面保持了有效的财务报告内部控制。”六、保荐机构核查程序及核查意见保荐机构查阅了公司股东会、董事会会议记录、《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司2025年度内部控制评价报告》、容诚会计师事务所（特殊普通合伙）

出具的《内部控制审计报告》（容诚审字[2026]100Z4091号）以及各项业务和管

理规章制度；从公司内部控制环境、内部控制制度的建设及实施等情况对其内部

控制制度的完整性、合理性及有效性进行了核查。

经核查，保荐机构认为，矽电股份已经建立了较为完善的法人治理结构和较为完备的公司治理及内部控制规章制度，现有的内部控制制度符合有关法律法规和监管部门对上市公司内控制度管理的规范要求，公司在所有重大方面保持了与公司业务及管理相关的有效内部控制，公司2025年度内部控制评价报告真实、客观地反映了其内部控制制度的建设及运行情况。

4（本页无正文，为《招商证券股份有限公司关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司2025年度内部控制评价报告的核查意见》之签章页）

保荐代表人：

胡洋洋包晓磊招商证券股份有限公司

2026年4月22日