证券代码：301629证券简称：矽电股份公告编号：2026-036

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

2026年半年度募集资金存放与使用情况的专项报告

本公司及董事会全体成员保证信息披露内容的真实、准确和完整，没有虚假记载、误导性陈述或重大遗漏。

根据《上市公司募集资金监管规则》和《深圳证券交易所上市公司自律监管

指引第2号——创业板上市公司规范运作》的相关规定，矽电半导体设备（深圳）

股份有限公司（以下简称“公司”）编制了2026年半年度募集资金存放与使用

情况专项报告，现将具体情况报告如下：

一、募集资金基本情况

(一)实际募集资金金额和资金到账时间经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）《关于同意矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕138号）核准，并经深圳证券交易所同意，公司首次公开发行人民币普通股（A股）1043.18万股，每股面值人民币1.00元，每股发行价格为52.28元，募集资金总额为54537.55万元，扣除发行费用（不含税）之后实际募集资金净额

46352.87万元。

上述募集资金已于2025年3月17日划至公司指定账户，容诚会计师事务所（特殊普通合伙）已于2025年3月17日对本次发行的募集资金到位情况进行了审验，并出具了《验资报告》（容诚验字[2025]100Z0015号）。

(二)募集资金使用和节余情况

项目金额（万元）

募集资金总额54537.55

减：发行费用8184.68

募集资金净额46352.87加：尚未置换的发行费用1742.49

加：尚未支付的发行费用2062.19

募集资金专户初始到账金额50157.55

减：以前年度项目投入5780.92

减：本期项目投入10140.21

减：置换预先投入募投项目的自筹资金5436.99

减：置换预先支付发行费用的自筹资金1742.49

减：支付的发行费用2062.19

减：现金管理余额23500.00

加：利息收入542.73

截至2026年6月30日募集资金专户余额2037.47

注：以上数据如有尾差，为四舍五入所致，下同。

二、募集资金存放和管理情况

(一)募集资金管理情况

为了规范募集资金的管理和使用，提高资金使用效率和效益，保护投资者权益，公司根据《公司法》《证券法》《上市公司募集资金监管规则》和《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等法律、

法规和规范性文件的规定，结合公司实际情况，制定了《募集资金使用管理制度》，对募集资金的存放和使用进行专户管理。

公司及保荐券商招商证券股份有限公司分别与招商银行深圳分行、浦发银行深圳分行、农业银行深圳龙岗支行、中国民生银行深圳分行签署了《募集资金三方监管协议》（因部分支行无签署权限，故由其上级分行或支行与公司及保荐机构签订《募集资金三方监管协议》），明确了各方的权利和义务。具体内容详见公司于 2025年 4月 1日在巨潮资讯网（www.cninfo.com.cn）披露的《关于签订募集资金三方监管协议的公告》（公告编号：2025-001）。

《募集资金三方监管协议》与深圳证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，三方监管协议得到了切实履行。

(二)募集资金专户存储情况

截至2026年6月30日，本公司有5个募集资金专户，募集资金存放情况如下：开户行名称账户专户余额（万元）

招商银行深圳龙岗支行7559048535100010.01

招商银行深圳龙岗支行755904853510888557.10

浦发银行深圳龙岗支行79070078801900002913370.37

农业银行深圳爱联支行410240000400691731083.75

中国民生银行深圳龙城支行65016660226.24

合计2037.47

三、2026年半年度募集资金的实际使用情况

(一)募投项目资金使用情况公司2026年半年度募集资金使用情况详见本报告附件《2026年半年度募集资金使用情况对照表》。

(二)募投项目的实施地点、实施方式变更情况

截至2026年6月30日，公司不存在募投项目实施地点、实施方式变更的情况。

(三)募投项目先期投入及置换情况

公司于2025年4月27日召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金，合计置换金额为人民币7179.48万元，其中，置换以自筹资金预先投入募投项目金额5436.99万元，置换以自筹资金预先支付部分发行费用（不含增值税）金额1742.49万元。保荐机构招商证券股份有限公司对此出具了专项核查意见，容诚会计师事务所（特殊普通合伙）出具了《关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的鉴证报告》（容诚专字[2025]100Z1189 号）。具体内容详见公司于 2025年 4月 29日在巨潮资讯网（www.cninfo.com.cn）披露的《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的公告》（公告编号：2025-019）。

公司于2025年4月14日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的议案》，同意公司在募投项目的实施期间，根据实际需要并经相关审批后，先以自有资金方式支付募投项目的相关款项，后续以募集资金等额置换，定期从募集资金专户划转等额资金至公司非募集资金账户，该部分等额置换资金视同募投项目使用资金。具体内容详见公司于2025年4月16日在巨潮资讯网（http://www.cninfo.com.cn）披露的《关于使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的公告》（公告编号：2025-005）。报告期内，公司以募集资金等额置换使用自有资金支付募投项目所需资金金额合计1555.99万元。

(四)用暂时闲置募集资金临时补充流动资金情况

截至2026年6月30日，公司不存在使用暂时闲置募集资金临时补充流动资金的情况。

(五)用暂时闲置募集资金进行现金管理情况公司于2026年4月20日召开第三届董事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司在不影响募集资金投资项目建设和公司正常经营的情况下，使用不超过人民币3亿元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理，使用期限自2025年年度股东会审议通过之日起12个月内有效，在上述额度及有效期内，资金可循环滚动使用。具体内容详见公司于2026年 4月 22日在巨潮资讯网（www.cninfo.com.cn）披露的《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的公告》（公告编号：2026-013）。

截至2026年6月30日，公司使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理的情况如下：

产品名购买金额期末余额预期年化是否如签约方产品起息日产品到期日称（万元）（万元）收益率期归还农业银行深圳定期存2025年9月2026年3月

3000.0001.00%是

爱联支行款18日18日浦发银行深圳结构性2025年102026年4月

4500.0001.85%是

龙岗支行存款月20日20日招商银行深圳结构性2025年112026年2月

7600.0001.65%是

龙岗支行存款月18日27日中国民生银行结构性2025年122026年3月

3500.0001.74%是

深圳龙城支行存款月12日12日产品名购买金额期末余额预期年化是否如签约方产品起息日产品到期日称（万元）（万元）收益率期归还农业银行深圳定期存2025年122026年6月

13000.0001.00%是

爱联支行款月16日16日

2026年1月2026年1月浦发银行深圳结构性

4日30日1400.000

1.90%是

龙岗支行存款

2026年2月2026年3月

浦发银行深圳结构性

9日9日1400.000

1.65%是

龙岗支行存款

2026年3月2026年4月

招商银行深圳结构性

7600.0001.65%是

龙岗支行存款3日3日年月年月浦发银行深圳结构性2026320264

16日16日1200.000

1.65%是

龙岗支行存款年月年月

中国民生银行结构性20263202640.9%-1.9深圳龙城支行存款19日20日

4000.000%是

年农业银行深圳结构性20263月2026年4月

23日20日3000.000

1.16%是

爱联支行存款

2026年4月2026年6月

招商银行深圳结构性1.55%龙岗支行存款10日10日

3000.000是

2026年4月2026年10

农业银行深圳大额存1.10%

16日月21日2000.002000.00未到期爱联支行单

浦发银行深圳结构性2026年5月2026年5月

5000.0001.90%是

龙岗支行存款6日29日

2026年5月2026年5月中国民生银行结构性

1日15日4000.000

1.53%是

深圳龙城支行存款

2026年5月2026年5月

中国民生银行结构性

16日31日4000.000

1.53%是

深圳龙城支行存款

2026年6月2026年9月

中国民生银行结构性

5日4日4000.004000.00

1.77%未到期

深圳龙城支行存款

2026年6月2026年9月

浦发银行深圳结构性

5500.005500.001.65%未到期

龙岗支行存款8日8日

2026年6月2026年农业银行深圳大额存12

16日月16日12000.0012000.00

1.10%未到期

爱联支行单产品名购买金额期末余额预期年化是否如签约方产品起息日产品到期日称（万元）（万元）收益率期归还

合计89700.0023500.00//

(六)节余募集资金使用情况

截至2026年6月30日，公司不存在节余募集资金。

(七)超募资金使用情况

截至2026年6月30日，公司不存在超募资金。

(八)尚未使用的募集资金用途及去向

截至2026年6月30日，尚未使用的募集资金合计为25537.47万元，其中闲置募集资金经批准用于现金管理的余额为23500.00万元，存放在募集资金专户余额为2037.47万元。

(九)募集资金使用的其他情况公司于2025年4月14日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于部分募集资金投资项目增加实施主体暨新增募集资金专户的议案》，同意公司新增矽旺科技（深圳）有限公司（以下简称“矽旺科技”）为募集资金投资项目“探针台研发及产业基地建设项目”的实施主体，同时矽旺科技拟新增开立募集资金专户，用于“探针台研发及产业基地建设项目”投入募集资金的存放、管理和使用。具体内容详见公司于2025年4月16日在巨潮资讯网（www.cninfo.com.cn）披露的《关于部分募集资金投资项目增加实施主体暨新增募集资金专户的公告》（公告编号：2025-007）。

2026年7月15日，公司与全资子公司矽旺科技与开户银行上海浦东发展银行股份有限公司深圳分行、保荐机构招商证券股份有限公司签署了《募集资金三方监管协议》，并开立了募集资金专户。具体内容详见公司于2026年7月16日在巨潮资讯网（www.cninfo.com.cn）披露的《关于新增募集资金专户并签订募集资金三方监管协议的公告》（公告编号：2026-031）。

除上述情形外，公司不存在募集资金使用的其他情况。

四、变更募投项目的资金使用情况截至2026年6月30日，公司不存在变更募投项目的情况。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司严格按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并及时、准确、完整地披露了公司募集资金存放及实际使用情况，不存在募集资金使用及管理违规的情形。

特此公告。

附表：《2026年半年度募集资金使用情况对照表》

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

2026年8月25日附表：2026年半年度募集资金使用情况对照表

单位：万元本年度投入募集

募集资金总额54537.5510140.21资金总额报告期内改变用途的募集资金总额0已累计投入募集

累计改变用途的募集资金总额021358.12资金总额

累计改变用途的募集资金总额比例0%项目达项目可行承诺投资项是否已改变截至期末到预定募集资金承诺投调整后投本年度投截至期末投资进本年度实是否达到性是否发目和超募资项目（含部分累计投入可使用资总额资总额（1）入金额度（%）(3)=(2)/(1)现的效益预计效益生重大变金投向改变）金额(2)状态日化期承诺投资项目探针台研发2028年及产业基地否26127.0821700.001626.376783.8231.26%03月23不适用不适用否建设项目日

2028年

分选机技术

否8005.716600.00107.32838.0312.70%03月23不适用不适用否研发项目日营销服务网2028年络升级建设否5454.724500.0058.23536.6011.92%03月23不适用不适用否项目日2028年补充流动资

否1600013552.878348.2913199.6897.39%03月23不适用不适用否金日承诺投资项

55587.5146352.8710140.2121358.1246.08%————

目小计

合计55587.5146352.8710140.2121358.1246.08%————未达到计划进度或预计收益的情况不适用和原因（分具体项目）项目可行性发生重大变不适用化的情况说明超募资金的

金额、用途不适用及使用进展情况募集资金投资项目实施不适用地点变更情况募集资金投公司于2025年4月14日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于部分募集资金投资项目增加实资项目实施施主体暨新增募集资金专户的议案》，同意公司新增矽旺科技（深圳）有限公司（以下简称“矽旺科技”）为募集资金投资项目“探针台方式调整情 研发及产业基地建设项目”的实施主体，同时矽旺科技拟新增开立募集资金专户，用于“探针台研发及产业基地建设项目”投入募集资金况 的存放、管理和使用。具体内容详见公司于 2025 年 4月 16 日在巨潮资讯网（http://www.cninfo.com.cn）披露的《关于部分募集资金投资项目增加实施主体暨新增募集资金专户的公告》（公告编号：2025-007）。

2026年7月15日，公司与全资子公司矽旺科技与开户银行上海浦东发展银行股份有限公司深圳分行、保荐机构招商证券股份有限公司签

署了《募集资金三方监管协议》，并开立了募集资金专户。具体内容详见公司于 2026年 7月 16日在巨潮资讯网（www.cninfo.com.cn）披露的《关于新增募集资金专户并签订募集资金三方监管协议的公告》（公告编号：2026-031）。

公司于2025年4月27日召开第二届董事会第十七次会议及第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金，合计置换金额为人民币7179.48万元，其中，置换以自筹资金预先投入募投项目金额5436.99万元，置换以自筹资金预先支付部分发行费用（不含增值税）金额 1742.49 万元。具体内容详见公司于 2025 年 4 月 29日在巨潮资讯网（http://www.cninfo.com.cn）披露的《关于使用募集资募集资金投金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的公告》（公告编号：2025-019）。

资项目先期公司于2025年4月14日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于使用自有资金支付募投项目部投入及置换分款项并以募集资金等额置换的议案》，同意公司在募投项目的实施期间，根据实际需要并经相关审批后，先以自有资金方式支付募投项情况

目的相关款项，后续以募集资金等额置换，定期从募集资金专户划转等额资金至公司非募集资金账户，该部分等额置换资金视同募投项目使用资金。具体内容详见公司于 2025年 4月 16日在巨潮资讯网（http://www.cninfo.com.cn）披露的《关于使用自有资金支付募投项目部分款项并以募集资金等额置换的公告》（公告编号：2025-005）。报告期内，公司以募集资金等额置换使用自有资金支付募投项目所需资金金额合计1555.99万元。

用闲置募集资金暂时补不适用充流动资金情况

公司于2026年4月20日召开第三届董事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司在不用闲置募集影响募集资金投资项目建设和公司正常经营的情况下，使用不超过人民币3亿元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理，使用期限自2025资金进行现年年度股东会审议通过之日起12个月内有效，在上述额度及有效期内，资金可循环滚动使用。具体内容详见公司于2026年4月22日在巨金管理情况 潮资讯网（www.cninfo.com.cn）披露的《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的公告》（公告编号：2026-013）。

截至2026年6月30日，公司闲置资金经批准用于现金管理的余额为23500.00万元，具体参见“三、2026年半年度募集资金的实际使用情况”之“(五)用暂时闲置募集资金进行现金管理情况”项目实施出现募集资金不适用节余的金额及原因尚未使用的

截至2026年6月30日，尚未使用的募集资金合计为25537.47万元，其中闲置募集资金经批准用于现金管理的余额为23500.00万元，存募集资金用

放在募集资金专户余额为2037.47万元。

途及去向募集资金使用及披露中不适用存在的问题或其他情况