矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

2025年度独立董事述职报告

本人向旭家，担任矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称“公司”）独立董事，于2025年11月任期届满离任。2025年度在任期间，本人严格遵守《公司法》《证券法》《上市公司独立董事管理办法》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》及《公司章程》等相关规定，始终秉持独立、客观、勤勉、尽责的原则履行职责，离职前已完整完成年度履职工作。现将2025年度履职情况报告如下：

一、独立董事的基本情况向旭家，男，1969年4月出生，中国国籍，无永久境外居留权，毕业于西南政法大学经济法专业，硕士学位。2001年至2008年，任国浩律师（深圳）事务所律师、合伙人；2008年，任北京德恒（深圳）律师事务所律师；2008年至

2013年，历任富德生命人寿保险股份有限公司合规负责人、董事会秘书；2013年至2015年，历任生命保险资产管理有限公司总经理、董事长；2014年至2015年，任富德控股（集团）有限公司总裁；2015年至2019年，任广东维摩律师事务所律师、管理合伙人；2019年至2023年，任东莞怡合达自动化股份有限公司独立董事；2021年至2024年，任深南金科股份有限公司独立董事；2019年至今，任北京市安理（深圳）律师事务所合伙人；2019年12月至2025年11月，任矽电股份独立董事；兼任富德保险控股股份有限公司董事、大晟时代文化投资股份

有限公司独立董事、宏工科技股份有限公司独立董事。

除在公司担任独立董事职务外，本人及配偶、父母、子女和其他主要社会关系未在公司或公司附属企业担任任何职务，也未在公司主要股东担任任何职务，与公司及主要股东之间不存在任何利害关系或其他可能妨碍进行独立客观判断的关系，符合《上市公司独立董事管理办法》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》中对独立董事独立性的要求。

二、独立董事年度履职概况

（一）出席董事会及股东大会情况本报告期现场出席以通讯方委托出席缺席董事出席股东董事姓名应参加董董事会次式参加董董事会次会次数大会次数事会次数数事会次数数向旭家707002

2025年度在任期间，本人积极参与公司治理，关注公司经营管理、财务运

作、内部控制及重大决策事项，严格履行审议、监督、建言职责。认真出席公司董事会、股东大会，对各项议案进行充分审阅与审慎表决。在董事会会议中，重点关注公司经营决策、财务信息、内控管理、人事变动、信息披露等关键事项，充分运用专业能力提出合理意见；在股东大会中，认真监督会议程序合规性，听取股东诉求，保障股东依法行使权利，确保公司决策公开、公平、公正。

（二）参与董事会专门委员会情况

报告期内，本人作为审计委员会、薪酬与考核委员会、提名委员会成员，严格依照专门委员会工作规程履行职责，对核心事项进行专业把关与监督，具体出席会议及审议议案情况如下：

异议事项具委员会名召开会召开日期会议内容体情况（如称议次数

有）2025/1/261、《关于审议2024年1-12月无财务报表的议案》1《.关于公司<2024年年度报告>

及<2024年年度报告摘要>的议案》2《.关于公司2024年度利润分配预案的议案》3.《关于公司<2024年度内部控制自我评价报告>的议案》4.《关于公司<董事会审计委员

2025/4/22会对会计师事务所2024年度履无

职情况评估及履行监督职责情审计委员5况报告>的议案》会5《.关于续聘2025年度审计机构的议案》6.《关于公司<2025年第一季度报告>的议案》7.《关于公司<2024年内审工作总结暨2025年工作计划报告>的议案》1.《关于公司<2025年半年度报告>及<2025年半年度报告摘

2025/8/28要>的议案》2.《关于公司<2025无年上半年内审工作总结暨2025年下半年工作计划报告>的议案》异议事项具委员会名召开会召开日期会议内容体情况（如称议次数

有）2025/9/301.《关于变更公司财务负责人的无议案》1.《关于公司〈2025年第三季度报告〉的议案》2025/10/272.《关于公司〈2025年第三季度无内审工作总结暨2025年第四季度内审工作计划报告〉的议案》1《.关于确认2024年度董事薪酬并拟定2025年度薪酬方案的议2025/4/22案》2.无《关于确认2024年度高级管理薪酬与考人员薪酬并拟定2025年度薪酬2核委员会方案的议案》1.《关于公司第三届董事会董事

2025/10/27及高级管理人员薪酬方案的议无案》2025/4/221、《关于提名公司非独立董事无候选人的议案》2025/9/301、《关于审核公司财务负责人提名委员无3候选人任职资格的议案》会1、《关于提名第三届董事会非2025/10/24独立董事候选人的议案》2无、《关于提名第三届董事会独立董事候选人的议案》

（三）审计委员会履职情况

本人在审计委员会履职期间，出席了5次审计委员会会议，重点围绕公司财务信息质量、内部控制有效性、内部审计效能、审计机构执业质量等核心领域开

展监督与审议工作。通过对各期定期报告的严格审核，确保公司财务数据真实、准确、完整，信息披露符合监管要求；持续跟踪内部审计工作计划制定、执行及整改落实情况，推动内部审计监督作用有效发挥；对财务负责人变更事项进行审慎核查，保障公司财务管理团队稳定合规；对审计机构履职情况进行全面评估，对续聘事项进行独立判断，确保公司外部审计工作独立、客观、专业，夯实公司财务规范运作基础。

（四）薪酬与考核委员会履职情况

本人作为薪酬与考核委员会主任委员，在薪酬与考核委员会履职期间，召集并主持了2次薪酬与考核委员会会议，坚持公平、合规、激励与约束并重的原则，对公司董事及高级管理人员薪酬相关事项进行审慎审议。结合公司经营业绩、行业薪酬水平、岗位职责与履职成效，审核薪酬确认及薪酬方案制定事项，确保薪酬体系与公司发展目标相匹配，薪酬决策程序合法合规，充分发挥薪酬机制的正向激励作用，促进管理层勤勉履职，维护公司与全体股东长远利益。

（五）提名委员会履职情况

本人在提名委员会履职期间，出席了3次提名委员会会议，严格按照上市公司治理规范及公司实际需求，对董事、高级管理人员候选人进行全面审慎审核。

重点核查候选人任职资格、专业能力、职业操守、合规记录及独立性等关键事项，确保提名程序规范、候选人资质优良，为公司优化治理结构、提升董事会运作效能提供坚实的人才保障。

（六）2025年度现场履职情况

2025年度在任期间，本人严格按照监管要求及公司治理需要，合理安排时

间深入公司现场开展履职工作，通过现场参会、实地调研、沟通问询、查阅资料等方式，全面掌握公司经营管理、财务运作、内部控制及业务开展实际情况，确保履职判断独立、客观、精准。累计现场工作天数18天。

本人多次与公司管理层了解业务进展，与管理层、财务部门、内审部门保持常态化沟通，对公司重大事项、关键风险点进行实地核查与持续跟踪，切实保障独立董事履职的有效性与针对性，满足上市公司独立董事现场履职相关要求。

（七）与会计师事务所的沟通情况

报告期内，本人与会计师事务所进行积极沟通，及时关注审计工作进展及审计工作存在的问题，全面深入了解公司审计的真实、准确情况，在年报编制过程中发挥了重要的监督审核作用，维护了审计结果的客观、公正。

（八）保护股东权益方面所做的工作

1、报告期内，本人持续关注公司信息披露工作，督促公司严格执行有关规定，保证公司公开信息的真实、准确、及时、完整。

2、本人按照有关法律、法规、《公司章程》和《独立董事工作制度》等制

度的规定勤勉尽责，按时参加公司董事会，对于每一个需提交董事会审议的议案，都进行认真的审核，必要时向公司相关部门及人员进行询问，利用自己的专业知识独立、公正、客观发表自己的意见与观点，充分发挥工作中的独立性。

3、报告期内，认真研究相关法律、法规和各项规章制度，加深对相关法规尤其是涉及到规范公司法人治理结构以及保护股东权益等相关法规的认识和理解，不断提高自己的履职能力，在专业领域为公司的科学决策和风险防范提供更好的意见和建议。

（九）上市公司配合独立董事工作情况

在本人履职过程中，公司积极配合本人工作，及时提供相关材料并答复本人提出的问题，为本人做出独立判断和规范履职提供了充分保障。同时，对于本人的建议和意见，公司都能予以积极回应和采纳三、独立意见发表情况

2025年度在任期间，本人就公司定期报告、财务运作、内部控制、董事及

高管薪酬、审计机构聘任、人事任免等重大事项，均按照监管要求及时、明确发表独立意见，所有意见均为同意意见，无保留意见、反对意见及无法表示意见情形。本人认为，公司报告期内相关决策程序合法合规，财务信息真实可靠，内控体系健全有效，未发生损害公司及中小股东利益的事项。

四、独立董事年度履职重点关注事项的情况

（一）应当披露的关联交易

报告期内，公司未发生重大关联交易事项，日常经营性关联交易的决策程序未违反相关法律、法规及《公司章程》的规定，其公平性依据等价有偿、公允市价的原则定价，没有违反公开、公平、公正的原则，不存在损害公司和股东利益的情形。

（二）公司及相关方变更或者豁免承诺的方案公司在报告期内不存在该情形。

（三）被收购上市公司董事会针对收购所作出的决策及采取的措施公司在报告期内不存在该情形。

（四）披露财务会计报告及定期报告中的财务信息、内部控制评价报告

2025年任职期间内，公司严格依照《公司法》《证券法》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》等法律法规和规范性文件及《公司章程》的要求，按时编制并披露了《2024年年度报告》《2025年第一季度报告》《2024年度内部控制自我评价报告》，真实、完整地披露了报告期内的财务数据和关键事项，使投资者能够全面了解公司经营成果及内部控制状况。上述报告均已获得公司董事会审议通过，其中《2024年年度报告》经公司2024年年度股东大会审议通过。经核查，公司定期报告的编制、审议及披露流程符合监管要求，财务数据准确可靠，客观反映了报告期内公司的实际情况。

（五）聘用、解聘承办上市公司审计业务的会计师事务所

本人作为审计委员会委员，在聘任会计师事务所过程中，重点关注公司履行的审议程序的合法合规性和审计机构的资质。本人对拟聘会计师事务所进行了仔细的了解及审核，充分履行了相应的职责，同意了相关聘任议案。

（六）提名或者任免董事、聘任或者解聘高级管理人员

2025年度任职期间，公司董事会审议通过了变更非独立董事、变更财务负

责人、换届选举等相关议案，本人认真查阅拟选举人员的简历及其他相关资料，认为相关人员具备担任公司董事的资格和能力，能够胜任岗位的职责要求，提名和表决程序合法、有效。

（七）因会计准则变更以外的原因作出会计政策、会计估计或者重大会计差错更正公司在报告期内不存在该情形。

（八）董事、高级管理人员的薪酬

报告期内，本人作为董事会薪酬与考核委员会主任委员，认真审议了公司董事、高管薪酬方案，认为公司相关方案符合法律法规及《公司章程》的规定和公司实际业绩情况，有利于调动公司董事和高级管理人员的积极性，有利于公司的长远发展。报告期内公司不存在制定或者变更股权激励计划、员工持股计划，激励对象获授权益、行使权益条件成就，董事、高级管理人员在拟分拆所属子公司安排持股计划等情形。

五、其他工作情况

在任期内，本人严格按照履职要求，不存在以下情形：

无提议召开董事会或股东大会的情况；

无提议聘用或解聘会计师事务所的情况；

无独立聘请外部审计机构或咨询机构的情况。

六、任期总结与离职说明

本人在2025年度及整个独立董事任期内，始终恪守独立董事职责，坚守独立客观立场，勤勉尽责参与公司治理，认真完成各项履职工作，未发生任何违规违纪、失职失责情形。2025年11月任期届满离任，离职前已完成年度全部履职事项，相关工作平稳衔接。

在此，衷心感谢公司董事会、监事会、经营管理层及全体股东在本人任职期间的支持与配合。离任后，本人将持续关注公司发展，祝愿公司在半导体设备领域持续稳健发展，不断提升核心竞争力与经营效益，切实回报全体股东。

特此报告。

（以下无正文，为2025年度独立董事述职报告签署页）（此页为矽电半导体设备（深圳）股份有限公司2025年度独立董事述职报告签署页，无正文）独立董事：向旭家

2026年4月22日