矽电半导体设备（深圳）股份有限公司独立董事

关于独立董事专门会议2025年第二次会议议案的审核意见

根据《上市公司独立董事管理办法》《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司独立董事工作制度》等有关规定，公司独立董事专门会议于2025年4月22日召开2025年第二次会议，全体独立董事出席了会议。独立董事本着认真、负责的态度，基于独立、审慎、客观的立场，对于以下议案及其材料进行了认真审核，并形成一致审核意见如下：

一、《关于续聘2025年度审计机构的议案》；

经审查，公司独立董事认为：容诚会计师事务所具有证券、期货业务从业资格，具备足够的独立性、专业胜任能力和投资者保护能力，以往担任公司审计机构期间，项目人员认真负责，能够恪尽职守，遵循独立、客观、公正的职业准则，表现了良好的专业水准，为公司提供了高质量的审计服务，出具的审计报告客观、公正地反映了公司的财务状况和经营成果。因此，为保证公司审计工作的顺利进行，维护公司及股东利益，尤其是中小股东利益，独立董事一致同意聘任其为公司2025年度审计机构，并同意将本事项提交董事会和股东大会审议。

二、《关于公司使用闲置自有资金进行委托理财的议案》；

经审查，公司独立董事认为：公司在不影响正常经营且有效控制风险的前提下使用部分闲置自有资金进行委托理财，该事项符合相关法律法规的规定，有利于提高闲置资金的使用效率，增加公司收益，为股东创造更好的回报，符合公司和全体股东的利益，不存在损害公司及全体股东特别是中小股东利益的情形。独立董事同意公司使用闲置自有资金进行委托理财，并同意将该议案提交董事会和股东大会审议。

三、《关于增加闲置募集资金现金管理额度的议案》经审查，公司独立董事认为：公司在不影响募集资金投资项目建设的情况下，使用部分闲置的募集资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、风险低、投资期限不超过12个月或可转让、可提前支取的保本型产品，有利于提高募集资金的使用效率，为公司及股东获取更多投资回报。公司本次增加闲置募集资金现金管理额度的决策程序符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》以及公司《募集资金使用管理制度》等相关规定，符合公司和全体股东的利益，不存在损害公司及全体股东尤其是中小股东利益的情形。

独立董事一致同意公司增加闲置募集资金现金管理额度。

四、《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》经审查，公司独立董事认为：公司本次以募集资金置换预先已投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金，有利于提高募集资金使用效率，内容及审议程序符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》等有关法律、法规和规范性文件的规定，置换时间距离募集资金到账时间未超过6个月。本次募集资金置换行为没有与募集资金投资项目的实施计划相抵触，不影响募集资金投资项目的正常进行，不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情况。公司独立董事一致同意公司使用募集资金置换预先已投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金。

（以下无正文，为《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司独立董事关于独立董事专门会议2025年第二次会议议案的审核意见》签署页）（本页无正文，为《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司独立董事关于独立董事专门会议2025年第二次会议议案的审核意见》签署页）向旭家李平赵英

2025年4月29日