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关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

2024年年度股东大会的

法律意见书

信达会字（2025）第156号

致：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

广东信达律师事务所（以下简称“本所”）接受矽电半导体设备（深圳）股

份有限公司（以下简称“公司”）委托，指派律师出席并见证公司2024年年度股东大会（以下简称“本次股东大会”），并依据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、

《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）等有关规定，就本次股东大会的召集和召开程序、召集人资格、出席会议人员资格、会议表决程序及表决结果等事项出具本法律意见书。

为出具本法律意见书，本所律师审查了公司本次股东大会的有关文件和材料。

本所律师得到公司如下保证，即其已提供了本所律师认为出具本法律意见书所必需的材料，所提供的原始材料、副本、复印件等材料、口头证言均符合真实、准确、完整的要求，有关副本、复印件材料与正本原始材料一致。

1广东信达律师事务所法律意见书

为出具本法律意见书，本所律师特作如下声明：

1、在本法律意见书中，本所律师仅对本次股东大会的召集和召开程序、召

集人资格、出席会议人员资格、会议表决程序及表决结果是否符合《公司法》等

法律、法规、规范性文件及《公司章程》的规定发表意见，不对会议审议的议案内容以及该等议案所表述的事实或数据的真实性、准确性和完整性发表意见。

2、本所律师无法对网络投票过程进行见证，参与本次股东大会网络投票的

股东资格、网络投票结果均由相应的证券交易所交易系统和互联网投票系统予以认证。

3、本所及本所律师依据《证券法》《律师事务所从事证券法律业务管理办法》和《律师事务所证券法律业务执业规则（试行）》等规定及本法律意见书出

具日以前已经发生或者存在的事实，严格履行了法定职责，遵循了勤勉尽责和诚实信用原则，进行了充分的核查验证，保证本法律意见书所认定的事实真实、准确、完整，所发表的结论性意见合法、准确，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并承担相应法律责任。

4、本所同意将本法律意见书作为本次股东大会的公告材料，随同其他会议

文件一并报送有关机构并公告。除此以外，未经本所同意，本法律意见书不得为任何其他人用于任何其他目的。

鉴此，本所律师根据有关法律法规的要求，按照律师行业公认的业务标准、道德规范和勤勉尽责精神，出席了本次股东大会，并对本次股东大会召集和召开的有关事实以及公司提供的文件进行了核查验证，现出具法律意见如下：

一、本次股东大会的召集和召开程序

2025 年 4 月 29 日，公司董事会在巨潮资讯网（http://www.cninfo.com.cn）上刊载了《矽电半导体设备（深圳）股份有限公司关于召开2024年年度股东大会的通知》。该通知载明了会议召开的时间、地点、方式，以及会议召集人和股权登记日等内容，符合《公司法》等相关法律、法规、规范性文件及《公司章程》

2广东信达律师事务所法律意见书的规定。

2025年5月19日下午14点30分，公司本次股东大会的现场会议在广东省

深圳市龙岗区龙城街道腾飞路9号创投大厦三楼三号会议室召开，会议实际召开的时间、地点符合会议通知及相关公告所载明的内容。

根据本次股东大会的会议通知及相关公告，本次股东大会的网络投票时间为：

通过深圳证券交易所交易系统进行网络投票的具体时间为2025年5月19日的

交易时间，即9:15-9:25、9:30-11:30和13:00-15:00；通过深圳证券交易所互联网投票系统投票的具体时间为2025年5月19日9:15至15:00期间的任意时间。

本所律师认为，本次股东大会的召集和召开程序符合《公司法》等相关法律、法规、规范性文件及《公司章程》的规定。

二、本次股东大会的召集人资格本次股东大会由公司董事会召集。公司董事会具备召集本次股东大会的资格。

三、本次股东大会出席、列席人员的资格

（一）出席本次股东大会的股东及委托代理人

1、出席本次股东大会现场会议的股东共计4名，代表公司有表决权股份数

为15296944股，占股权登记日公司有表决权股份总数的36.6593%。

经本所律师核查，上述股东出席本次股东大会现场会议并行使投票表决权的资格合法有效。

2、根据深圳证券交易所提供的数据，通过网络投票方式参加本次股东大会

投票的股东共计128名，代表公司有表决权股份数为13645332股，占股权登记日公司有表决权股份总数的32.7012%。

本所律师无法对网络投票股东资格进行核查，以上通过网络投票系统进行投票的股东资格，由网络投票系统提供机构深圳证券交易所验证其身份。

根据上述信息，通过现场出席和网络投票方式出席本次股东大会投票的股东

3广东信达律师事务所法律意见书

共计132名，代表公司有表决权股份数为28942276股，占股权登记日公司有表决权股份总数的69.3606%。其中，参加本次股东大会投票的中小股东共计126名，代表公司有表决权股份数为7662974股，占股权登记日公司有表决权股份总数18.3644%。

（二）出席、列席本次股东大会的其他人员

1、公司董事、监事、部分高级管理人员通过现场及视频方式出席、列席了本次股东大会。

2、本所律师列席了本次股东大会。

本所律师认为，上述人员均有资格出席、列席本次股东大会。

四、本次股东大会的表决程序和表决结果

（一）经本所律师核查，本次股东大会所审议的议案与会议通知所述内容相符，本次股东大会没有对会议通知中未列明的事项进行表决，也未出现修改原议案和提出新议案的情形。

（二）本次股东大会根据公司章程的规定进行表决、计票和监票，会议主持

人当场公布表决结果，出席股东大会的股东没有对表决结果提出异议。

（三）本次股东大会审议通过了如下议案：

1、《关于公司<2024年年度报告>及<2024年年度报告摘要>的议案》

表决结果：同意28910976股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的

99.8919%；反对21000股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0726%；

弃权10300股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0356%。

中小股东表决结果：同意7631674股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的99.5915%；反对21000股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.2740%；弃权10300股（其中，因未投票默认弃权0股），

4广东信达律师事务所法律意见书

占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.1344%。

2、《关于公司<2024年度董事会工作报告>的议案》

表决结果：同意28912776股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的

99.8981%；反对19200股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0663%；

弃权10300股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0356%。

中小股东表决结果：同意7633474股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的99.6150%；反对19200股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.2506%；弃权10300股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.1344%。

3、《关于公司<2024年度监事会工作报告>的议案》

表决结果：同意28912976股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的

99.8988%；反对19000股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0656%；

弃权10300股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0356%。

中小股东表决结果：同意7633674股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的99.6176%；反对19000股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.2479%；弃权10300股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.1344%。

4、《关于公司2024年度利润分配预案的议案》

表决结果：同意28906376股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的

99.8760%；反对27800股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0961%；

弃权8100股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0280%。

中小股东表决结果：同意7627074股，占出席本次股东大会中小股东有效

5广东信达律师事务所法律意见书

表决权股份总数的99.5315%；反对27800股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.3628%；弃权8100股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.1057%。

5、《关于续聘2025年度审计机构的议案》

表决结果：同意28912376股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的

99.8967%；反对19600股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0677%；

弃权10300股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0356%。

中小股东表决结果：同意7633074股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的99.6098%；反对19600股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.2558%；弃权10300股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.1344%。

6、《关于公司使用闲置自有资金进行委托理财的议案》

表决结果：同意28909476股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的

99.8867%；反对22500股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0777%；

弃权10300股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0356%。

中小股东表决结果：同意7630174股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的99.5720%；反对22500股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.2936%；弃权10300股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.1344%。

7、《关于增加闲置募集资金现金管理额度的议案》

表决结果：同意28911776股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的

99.8946%；反对20200股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0698%；

弃权10300股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会有效表决

6广东信达律师事务所法律意见书

权股份总数的0.0356%。

中小股东表决结果：同意7632474股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的99.6020%；反对20200股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.2636%；弃权10300股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.1344%。

8、《关于确认2024年度董事薪酬并拟定2025年度薪酬方案的议案》

表决结果：同意28909376股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的

99.8863%；反对22300股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0771%；

弃权10600股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0366%。

中小股东表决结果：同意7630074股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的99.5707%；反对22300股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.2910%；弃权10600股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.1383%。

9、《关于确认2024年度监事薪酬并拟定2025年度薪酬方案的议案》

表决结果：同意28910076股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的

99.8887%；反对22300股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0771%；

弃权9900股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0342%。

中小股东表决结果：同意7630774股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的99.5798%；反对22300股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.2910%；弃权9900股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.1292%。

10、《关于变更非独立董事的议案》

表决结果：同意28913176股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的

7广东信达律师事务所法律意见书

99.8995%；反对19500股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0674%；

弃权9600股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0332%。

中小股东表决结果：同意7633874股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的99.6203%；反对19500股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.2545%；弃权9600股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.1253%。

11、《关于变更注册资本、公司类型、修订<公司章程>并办理工商变更登记的议案》

表决结果：同意28913676股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的

99.9012%；反对19000股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0656%；

弃权9600股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0332%。

中小股东表决结果：同意7634374股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的99.6268%；反对19000股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.2479%；弃权9600股（其中，因未投票默认弃权0股），占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.1253%。

本议案经出席本次股东大会的股东所持有效表决权股份总数的三分之二以上通过。

12、《关于修订<独立董事工作制度>的议案》

表决结果：同意28913476股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的

99.9005%；反对19200股，占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0663%；

弃权9600股（其中，因未投票默认弃权500股），占出席本次股东大会有效表决权股份总数的0.0332%。

中小股东表决结果：同意7634174股，占出席本次股东大会中小股东有效

8广东信达律师事务所法律意见书

表决权股份总数的99.6242%；反对19200股，占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.2506%；弃权9600股（其中，因未投票默认弃权500股），占出席本次股东大会中小股东有效表决权股份总数的0.1253%。

根据表决结果，本次股东大会的上述议案均获得通过。

经查验，本所律师认为，本次股东大会的表决程序符合相关法律、法规及规范性文件的规定，亦符合《公司章程》的有关规定。

五、结论意见

综上所述，本所律师认为，本次股东大会的召集和召开程序符合《公司法》和《公司章程》等的规定；会议召集人具备召集本次股东大会的资格；出席及列

席会议的人员均具备合法资格；本次股东大会的表决程序符合《公司法》等相关

法律、法规、规范性文件及《公司章程》的规定，表决结果合法有效。

本法律意见书正本二份，无副本，经本所负责人、经办律师签字并加盖本所公章后生效。

（以下无正文）

9广东信达律师事务所法律意见书（本页无正文，为《广东信达律师事务所关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司2024年年度股东大会的法律意见书》的签章页）

广东信达律师事务所（盖章）

负责人：经办律师：

李忠李佳霖

经办律师：

陈丹年月日