募集资金年度存放与使用情况鉴证报告

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

容诚专字[2026]100Z1468 号

容诚会计师事务所(特殊普通合伙)

中国·北京目录序号内容页码

1募集资金年度存放、管理与使用情况鉴证报告1-3

2募集资金年度存放、管理与使用情况专项报告1-4

3募集资金使用情况对照表1容诚会计师事务所（特殊普通合伙）

总所：北京市西城区阜成门外大街22号

1幢10层1001-1至1001-26(100037)

TEL:010-6600 1391 FAX:010-6600 1392

E-mail:bj@rsmchina.com.cn

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容诚专字[2026]100Z1468号

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司全体股东：

我们审核了后附的矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称矽电股份公司）董事会编制的2025年度《关于募集资金年度存放、管理与使用情况的专项报告》。

一、对报告使用者和使用目的的限定

本鉴证报告仅供矽电股份公司年度报告披露之目的使用，不得用作任何其他目的。我们同意将本鉴证报告作为矽电股份公司年度报告必备的文件，随其他文件一起报送并对外披露。

二、董事会的责任

按照中国证券监督管理委员会《上市公司募集资金监管规则》、深圳证券交易所《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》及《深圳证券交易所创业板上市公司自律监管指南第2号——公告格式》的

规定编制《关于募集资金年度存放、管理与使用情况的专项报告》是矽电股份公

司董事会的责任这种责任包括保证其内容真实、准确、完整，不存在虚假记录、误导性陈述或重大遗漏。

三、注册会计师的责任我们的责任是对矽电股份公司董事会编制的上述报告独立地提出鉴证结论。

四、工作概述我们按照《中国注册会计师其他鉴证业务准则第3101号－历史财务信息审计或审阅以外的鉴证业务》的规定执行了鉴证业务。该准则要求我们计划和实施鉴证工作，以对鉴证对象信息是否不存在重大错报获取合理保证。在鉴证过程中，

1我们实施了包括检查会计记录等我们认为必要的程序。我们相信，我们的鉴证工

作为发表意见提供了合理的基础。

五、鉴证结论我们认为，后附的矽电股份公司2025年度《关于募集资金年度存放、管理与使用情况的专项报告》在所有重大方面按照上述《上市公司募集资金监管规则》

及交易所的相关规定编制，公允反映了矽电股份公司2025年度募集资金实际存放、管理与使用情况。

2（此页无正文，为矽电股份公司容诚专字[2026]100Z1468 号鉴证报告之签字盖章页。）容诚会计师事务所中国注册会计师：

（特殊普通合伙）陈谋林（项目合伙人）

中国注册会计师：

索立松

中国·北京中国注册会计师：

王芸芸

2026年4月22日

3矽电半导体设备（深圳）股份有限公司募集资金年度存放、管理与使用情况专项报告

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

关于募集资金年度存放、管理与使用情况的专项报告

根据中国证券监督管理委员会《上市公司募集资金监管规则》、深圳证券交易所《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》及《深圳证券交易所创业板上市公司自律监管指南第2号——公告格式》的规定，将矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称公司）2025年度募集资金存放、管理与使用情况报

告如下：

一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金金额、资金到位时间经中国证券监督管理委员会《关于同意矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2025]138号）文件批复，由主承销商招商证券股份有限公司采用网上向持有深圳市场非限售 A 股股份和非限售存托凭证市值的社会

公众投资者定价发行的方式，公开发行人民币普通股股票10431819.00股，每股发行价格为人民币52.28元。截至2025年3月17日止，本公司实际已向社会公众公开发行人民币普通股股票10431819.00股，募集资金总额为人民币545375497.32元，扣除各项发行费用合计人民币81846830.67元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币

463528666.65元。上述资金到位情况业经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）“容诚验字[2025]100Z0015号”《验资报告》验证。本公司对募集资金采取了专户存储制度。

（二）募集资金使用及结余情况

2025年度，公司募集资金使用情况为：（1）上述募集资金到位前，截至2025年3月17日止，公司利用自筹资金对募集资金项目累计已投入5436.99万元，募集资金到位后，公司以募集资金置换预先已投入募集资金投资项目的自筹资金5436.99万元；（2）直接投入募集资金项目5780.92万元。2025年度公司累计使用募集资金11217.91万元，扣除累计已使用募集资金后，募集资金余额为35134.96万元，募集资金专用账户利息收入322.04万元，募集资金专户2025年12月31日余额合计为35457.00万元。

二、募集资金存放和管理情况

1矽电半导体设备（深圳）股份有限公司募集资金年度存放、管理与使用情况专项报告根据有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，公司制定了《募集资金管理办法》，对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，以在制度上保证募集资金的规范使用。

2025年3月14日，公司与上海浦东发展银行股份有限公司深圳龙岗支行（以下简称“浦发龙岗支行”）和招商证券股份有限公司（以下简称“招商证券”）签署《募集资金三方监管协议》，在浦发龙岗支行开设募集资金专项账户（账号：79070078801900002913）。三方监管协议与深圳证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，三方监管协议的履行不存在问题。

2025年3月13日，公司与招商银行股份有限公司深圳龙岗支行（以下简称“招商龙岗支行”）和招商证券股份有限公司（以下简称“招商证券”）签署《募集资金三方监管协议》，在招商龙岗支行开设募集资金专项账户（账号：755904853510001）。三方监管协议与深圳证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，三方监管协议的履行不存在问题。

2025年3月13日，公司与招商银行股份有限公司深圳龙岗支行（以下简称“招商龙岗支行”）和招商证券股份有限公司（以下简称“招商证券”）签署《募集资金三方监管协议》，在招商龙岗支行开设募集资金专项账户（账号：755904853510888）。三方监管协议与深圳证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，三方监管协议的履行不存在问题。

2025年3月17日，公司与中国民生银行股份有限公司深圳龙城支行（以下简称“民生龙城支行”）和招商证券股份有限公司（以下简称“招商证券”）签署《募集资金三方监管协议》，在民生龙城支行开设募集资金专项账户（账号：650166602）。三方监管协议与深圳证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，三方监管协议的履行不存在问题。

2025年3月12日，公司与中国农业银行股份有限公司深圳爱联支行（以下简称“农行爱联支行”）和招商证券股份有限公司（以下简称“招商证券”）签署《募集资金三方监管协议》，在农行爱联支行开设募集资金专项账户（账号：41024000040069173）。

三方监管协议与深圳证券交易所三方监管协议范本不存在重大差异，三方监管协议的履行不存在问题。

2矽电半导体设备（深圳）股份有限公司募集资金年度存放、管理与使用情况专项报告

截至2025年12月31日止，募集资金存储情况如下：

金额单位：人民币万元银行名称银行帐号余额

上海浦东发展银行股份有限公司深圳龙岗支行790700788019000029135923.42

招商银行股份有限公司深圳龙岗支行7559048535100010.01

招商银行股份有限公司深圳龙岗支行7559048535108888851.35

中国民生银行股份有限公司深圳龙城支行6501666024055.25

中国农业银行股份有限公司深圳爱联支行4102400004006917316626.96

合计35457.00

三、2025年度募集资金的实际使用情况

截至2025年12月31日止，公司实际投入相关项目的募集资金款项共计人民币

11217.91万元，各项目的投入情况及效益情况详见附表1。

四、改变募集资金投资项目的资金使用情况

截至2025年12月31日止，公司募集资金投资项目未发生改变。

五、募集资金使用及披露中存在的问题

公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求存放、使用及管理募集资金，并对募集资金使用相关信息及时、真实、准确、完整地进行了披露，不存在募集资金存放、使用、管理及披露的违规情形。

六、保荐机构专项核查报告的结论性意见

2026年4月20日，招商证券股份有限公司针对本公司2025年度募集资金存放与使用情况出具了《招商证券股份有限公司关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司2025年度募集资金存放与使用情况的核查意见》，专项核查报告认为，公司2025年度募集资金存放与使用符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《深圳证券交易所上市公司自律监管指引

第2号——创业板上市公司规范运作》等法律法规、规范性文件的规定，对募集资金进

行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，募集资金不存在被控股股东和实际控制人占用的情形，不存在未经履行审议程序擅自补充流动资金、改变实施地点等情形，不存在违规使用募集

3矽电半导体设备（深圳）股份有限公司募集资金年度存放、管理与使用情况专项报告资金的情形。

附表1：募集资金使用情况对照表

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司董事会

2026年4月22日

4附表1：

2025年度募集资金使用情况对照表

单位：万元本年度投入募集

募集资金总额54537.5511217.91资金总额

报告期内改变用途的募集资金总额-已累计投入募集

累计改变用途的募集资金总额-11217.91资金总额

累计改变用途的募集资金总额比例-是否已改募集资金截至期末截至期末投资进项目达到预承诺投资项目和超募募集资金本年度投本年度实现的是否达到项目可行性是否发生

变项目（含承诺投资累计投入度（%）(3)＝定可使用状

资金投向净额（1）入金额效益预计效益重大变化部分改变）总额金额(2)(2)/(1)态日期承诺投资项目探针台研发及产业基2028年03否26127.0821700.005157.455157.4523.77不适用不适用否地建设项目月23日

2028年03

分选机技术研发项目否8005.716600.00730.71730.7111.07不适用不适用否月23日营销服务网络升级建2028年03否5454.724500.00478.37478.3710.63不适用不适用否设项目月23日

补充流动资金否16000.0013552.874851.384851.3835.80————————

承诺投资项目小计——55587.5146352.8711217.9111217.9124.20————————超募资金投向

1-1超募资金投向小计------————————

合计——55587.5146352.8711217.9111217.9124.20————————未达到计划进度或预计收益的情况和原因不适用（分具体项目）项目可行性发生重大不适用变化的情况说明

超募资金的金额、用途不适用及使用进展情况募集资金投资项目实不适用施地点变更情况公司于2025年4月14日召开第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于部分募集资金投资项目增加实募集资金投资项目实施主体暨新增募集资金专户的议案》，同意公司新增矽旺科技（深圳）有限公司（以下简称“矽旺科技”）为募集资金投资项目“探针台施方式调整情况研发及产业基地建设项目”的实施主体，同时矽旺科技新增开立募集资金专户，用于“探针台研发及产业基地建设项目”投入募集资金的存放、管理和使用。

公司于2025年4月27日召开第二届董事会第十七次会议及第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募募集资金投资项目先投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金，合计置换金期投入及置换情况额为人民币7179.48万元，其中，置换以自筹资金预先投入募投项目金额5436.99万元，置换以自筹资金预先支付部分发行费用（不含增值税）金额1742.49万元。

用闲置募集资金暂时不适用补充流动资金情况公司于2025年4月27日召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事会第十四次会议，审议通过了《关于增加闲置募集资金现金管理额用闲置募集资金进行度的议案》，同意公司在原已批准不超过人民币3亿元（含本数）额度的基础上增加1亿元（含本数）的募集资金用于现金管理，即合计现金管理情况

使用不超过人民币4亿元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理。

项目实施出现募集资不适用金节余的金额及原因

1-2尚未使用的募集资金截至2025年12月31日，尚未使用的募集资金合计为35457.00万元，其中闲置募集资金经批准用于现金管理的余额为31600.00万元，

用途及去向存放在募集资金专户余额为3857.00万元。

募集资金使用及披露中存在的问题或其他不适用情况