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关于成都超纯应用材料股份有限公司

以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的

鉴证报告目 录

一、以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的鉴证报告…第 1—2页

二、以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的专项说明…第 3—5页

三、附件………………………………………………………………第 6—9页

（一）本所营业执照复印件……………………………………… 第 6页

（二）本所执业证书复印件……………………………………… 第 7页

（三）执业注册会计师资格证书复印件………………………第 8—9页关于成都超纯应用材料股份有限公司以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的鉴证报告

天健审〔2026〕11-505 号

成都超纯应用材料股份有限公司全体股东：

我们鉴证了后附的成都超纯应用材料股份有限公司（以下简称超纯股份公司）

管理层编制的《以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的专项说明》。

一、对报告使用者和使用目的的限定本鉴证报告仅供超纯股份公司为以募集资金置换预先投入募投项目及支付

发行费用的自筹资金之目的使用，不得用作任何其他目的。

二、管理层的责任超纯股份公司管理层的责任是提供真实、合法、完整的相关资料，按照《上市公司募集资金监管规则》（证监会公告〔2025〕10 号）和《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第 2 号——创业板上市公司规范运作（2026 年修订）》（深证上〔2026〕548 号）的要求编制《以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的专项说明》，并保证其内容真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏。

三、注册会计师的责任我们的责任是在实施鉴证工作的基础上对超纯股份公司管理层编制的上述说明独立地提出鉴证结论。

四、工作概述我们按照中国注册会计师执业准则的规定执行了鉴证业务。中国注册会计师执业准则要求我们计划和实施鉴证工作，以对鉴证对象信息是否不存在重大错报获取合理保证。在鉴证过程中，我们实施了包括核查会计记录等我们认为必要的程序。我们相信，我们的鉴证工作为发表意见提供了合理的基础。

五、鉴证结论我们认为，超纯股份公司管理层编制的《以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的专项说明》符合《上市公司募集资金监管规则》（证监会公告〔2025〕10 号）和《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第 2 号——创业板上市公司规范运作（2026 年修订）》（深证上〔2026〕548 号）的规定，如实反映了超纯股份公司以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的实际情况。

天健会计师事务所（特殊普通合伙） 中国注册会计师：

中国·杭州 中国注册会计师：

二〇二六年八月二十一日成都超纯应用材料股份有限公司以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的专项说明

根据《上市公司募集资金监管规则》（证监会公告〔2025〕10 号）和《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第 2 号——创业板上市公司规范运作（2026 年修订）》（深证上〔2026〕548 号）的规定，将本公司以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的具体情况专项说明如下。

一、募集资金基本情况根据中国证券监督管理委员会《关于同意成都超纯应用材料股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2026〕1207 号），本公司由主承销商华泰联合证券有限责任公司采用向参与战略配售的投资者定向配售、网下向符合条件的网下投资者询价配售

及网上向持有深圳市场非限售 A 股股份和非限售存托凭证市值的社会公众投资者定价发行

相结合的方式，向社会公众公开发行人民币普通股（A 股）股票 25461539 股，发行价为每股人民币 65.99 元，共计募集资金 1680206958.61 元，坐扣承销费 98492624.48元后的募集资金为1581714334.13元，已由主承销商华泰联合证券有限责任公司于2026年 8 月 6 日汇入本公司募集资金监管账户。另减除保荐费用、审计及验资费用、律师费用、用于本次发行的信息披露费用、发行手续费及其他费用等与发行权益性证券直接相关的新

增外部费用 24522936.85 元后，公司本次募集资金净额为 1557191397.28 元。上述募集资金到位情况业经天健会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并由其出具《验资报告》（天健验〔2026〕11-26 号）。

二、发行申请文件承诺募集资金投资项目情况

本公司《首次公开发行股票并在创业板上市招股说明书》披露的募集资金项目及募集

资金使用计划如下：

金额单位:人民币万元募集资金

项目名称 总投资额 土地投资 建设投资 设备投资投资额半导体设备核心光学

34895.00 34895.00 900.00 10356.00 18349.00

零部件产业化项目半导体材料及表面处

31737.00 31737.00 900.00 10356.00 16291.00

理产业化项目眉山基地产能扩建项

20900.00 17780.00 1600.00 15920.00

目总部及研发中心建设

16056.00 16056.00 450.00 5685.00 4768.00

项目

补充流动资金项目 12000.00 12000.00

合 计 115588.00 112468.00 2250.00 27997.00 55328.00（续上表）

铺底流动资 项目备案

项目名称 软件投资 预备费 研发费用

金 或核准文号川投资备半导体设备核心光学

50.00 1440.00 3800.00 〔2504-510122-04-01-

零部件产业化项目

602785〕FGQB-0215 号

川投资备半导体材料及表面处

50.00 1340.00 2800.00 〔2504-510122-04-01-

理产业化项目

602785〕FGQB-0215 号

川投资备眉山基地产能扩建项

880.00 2500.00 〔2506-511422-07-02-

目

115013〕JXQB-0448 号

川投资备总部及研发中心建设

298.00 520.00 4335.00 〔2504-510122-04-01-

项目

602785〕FGQB-0215 号

补充流动资金项目

合 计 398.00 4180.00 4335.00 9100.00

三、自筹资金预先投入募集资金投资项目情况

截至 2026 年 8 月 6日，本公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的实际投资金额为 9919.08 万元，具体情况如下：

金额单位:人民币万元

项目名称 总投资额 自筹资金实际投入金额 占总投资的比例（%）半导体设备核心光学零部

34895.00 4688.62 13.44

件产业化项目

附件 1

本复印件仅供成都超纯应用材料股份有限公司天健审〔2026〕11-505 号报告后附之用，证明天健会计师事务所（特殊普通合伙）合法经营，他用无效且不得擅自外传。

附件 2

本复印件仅供成都超纯应用材料股份有限公司天健审〔2026〕11-505 号报告后附之用，证明天健会计师事务所（特殊普通合伙）具有合法执业资质，他用无效且不得擅自外传。

附件 3

本复印件仅供成都超纯应用材料股份有限公司天健审〔2026〕11-505 号报告后附之用，证明李元良是中国注册会计师，他用无效且不得擅自外传。

本复印件仅供成都超纯应用材料股份有限公司天健审〔2026〕11-505 号报告后附之用，证明刘佳鑫是中国注册会计师，他用无效且不得擅自外传。