【百傲化学回复上交所关于增资控股芯慧联的监管函：为国内少数能够供应匹配先进制程工艺的黄光制程设备的企业之一】10月29日电，百傲化学回复上交所关于增资控股芯慧联的监管函称，芯慧联主要从事半导体专用设备的研发、生产及销售。经过多年研发及经营的积累，标的公司目前已形成涵盖黄光制程设备、湿法清洗设备、半导体产线用自动化设备、半导体设备综合化服务、关键零部件及耗材、电镀金设备在内的6大业务板块。芯慧联系国内少数能够供应匹配先进制程工艺的黄光制程设备的企业之一。芯慧联基于对先进制程工艺设备在技术、工艺、开发流程等方面的深度理解，以及核心技术团队人员多年在国际大型半导体设备企业中工作所积累的行业经验和行业资源，可为下游晶圆厂客户提供涵盖组装、翻新、改造在内的综合化服务，满足下游客户定制化产线工艺需求。同时，为推动半导体设备的国产化供给进程，芯慧联持续在涂胶显影机、湿法清洗设备、半导体产线用自动化设备等方面开展自主研发，并均已取得了一定成果，在湿法清洗设备和半导体产线用自动化设备方面已经取得了商业化收入。