【摘要】

2021年下游晶圆厂积极扩产推动了半导体设备招标采购量的增长，而22年仍将是本土晶圆产线加速落地的一年。去年12月华虹的可观招标量体现晶圆厂的旺盛扩产意愿和22年设备市场的景气度持续。此外，在当前仍旧较低的国产化率基数上，我们看到越来越多的国产设备厂商涌现。

我们认为在扩产+国产化两大动力叠加作用下，设备板块有望维持高增，相关标的：北方华创、中微公司、万业企业、芯源微。

根据采招网数据，我们选取本土晶圆厂龙头中芯国际（绍兴）、长江存储、华虹宏力（包括华虹半导体、上海华力）作为代表，统计了前道晶圆制造、量测设备，后道封测设备中标结果。结果显示，2021年上半年的设备采购高峰主要出现在1月和4 月，主要订单分别来自华虹无锡和长江存储FAB1。

下半年7 月和9 月同样出现采购高峰，分别为91台和110台，Q3共计243台，同比增长334%，由长存贡献主要增量。2021 年招标完成总数899 台，同比增长54%。

从中标结果上看，国产设备占比在2021 年以来有可观的同比提高。11月超过40%，尽管受限于样本容量数据波动较大，但21 年整体招标采购国产化率达到21%。

分设备种类来看，清洗、去胶、涂胶显影、后道封装设备国产比例在2021 年有显著提高（国产量测设备主要来自二手翻新厂商吉姆西，实际仍为进口设备），除这几类以外，干法刻蚀、CMP已经实现较高比例的国产替代，在20-21 年维持了较高的国产化率。

华虹（华虹半导体/上海华力）

华虹方面，2021 年截止12 月31 日共计采购设备267 台，招标完成集中在1 月，主要由华虹无锡贡献。其中，共计47 台为国产设备，国产化率18%。值得注意的是，华虹无锡在12月以来公布了大量新增招标。

据统计，12月华虹公布了292 台晶圆厂设备的新增招标。包括光刻7 台，涂胶显影9台，薄膜沉积58 台，刻蚀49 台，炉管80 台，离子注入18 台，CMP20 台，清洗26 台，去胶20 台，以及3 台后道封装设备和2 台辅助设备，采购主体为华虹无锡。

继去年1 月的采购高峰以来，2021年华虹共完成设备采购263 台，而12 月公布新增招标数量超过去年全年招标采购量，足见22 年初的扩产力度极为可观。据测算，此批设备对应大约12 寸2-3 万片月产能。

长江存储

长江存储方面，2021 年截止12 月31 日共计完成招标475 台，招标完成集中在4、7、9月，与其扩产节奏有关。其中，共计71 台为国产设备，国产化率15%。

中芯绍兴

中芯绍兴方面，2021 年截止12 月31 日共计完成招标157 台，招标完成集中在2、3 月，与其扩产节奏有关。其中，共计70 台为国产设备，国产化率45%。

2021 年国产设备厂商中标明细

从中标结果来看，国产设备厂商中标数前几名为北方华创、盛美、中微、芯源微、屹唐、拓荆。此外，盛吉盛、吉姆西代表的二手设备厂商亦占有一定的市场份额。分品类来看：

1）北方华创在薄膜、刻蚀、炉管三大品类均有可观的中标量，为国内唯一。芯源微在涂胶显影、湿法设备（清洗、去胶、刻蚀）两大品类均有一定中标量。

2）盛美、屹唐各自在主力产品之外的拓品类上有少量出货，盛美拓展了其涂胶显影设备，于中芯绍兴中标1台。

3）中微、拓荆、华海清科凭借各自单一品类的专精实现较高中标量。

国内设备厂商设备中标量（台）

图片来源：民生证券

参考资料：

民生证券-半导体设备行业招标跟踪（ 2021年12月）：扩产持续，华虹再启大量招标-220104

本报告由研究助理协助资料整理，由投资顾问撰写。投资顾问：黄波（登记编号：A0740620120007）